下载一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备的技术资料

文档序号:23087033

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本发明涉及一种用于芯片生产线测控系统的拾取设备,包括连接板、处理器、升降机构、升降板、吸管、吸盘、吸附机构和两个放置机构,放置机构包括横板、竖杆、限位框、转动杆、支杆、铰接组件和托板,吸附机构包括风机、滤网和清洁组件,清洁组件包括清洁杆、滑...
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