微机电泵模块制造技术

一种微机电泵模块，包含一微机电芯片。微机电芯片包含：一芯片本体，为一长方形态样，具有二长边以及二短边；多个微机电泵，设置于芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个第一连接点，设置于芯片本体，且电性连接微机电泵的第一电极；多个第二连接点，设置于芯片本体，且电性连接微机电泵的第二电极；至少一第一控制电极，设置于芯片本体，且电性连接第一连接点；以及至少一第二控制电极，设置于芯片本体，且电性连接第二连接点。至少一第一控制电极以及至少一第二控制电极分别设置在芯片本体的相对两侧。

【技术实现步骤摘要】
微机电泵模块
本案关于一种微机电泵模块，尤指一种利用新颖布局方式来降低芯片面积的微机电泵模块。
技术介绍
随着科技的日新月异，传统的流体输送装置已朝向装置微小化、流量极大化的方向进行。在应用上也愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热到近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影。而近年来微机电相关制程以一体成型的方式来达成流体输送装置的芯片化，如图1所示，传统微机电泵模块9包含一芯片本体90以及多个微机电泵91。多个微机电泵91一体成型设置于芯片本体90上，并且每一微机电泵91具有多个控制电极91a。然而，芯片化的流体输送装置所包含的控制电极91a往往占据很大的面积，使得芯片成本无法降低。因此如何利用创新的结构以减少控制电极91a所占据的面积，借以降低芯片成本，为目前需要解决的议题。
技术实现思路
本案的主要目的在于提供一种微机电泵模块，利用新颖的布局方式，使得控制电极数量极少化，借以降低整体芯片面积，进而降低芯片成本。为达上述目的，本案的较广义实施态样为提供一种微机电泵模块，包含一微机电芯片。微机电芯片包含：一芯片本体，为一长方形态样，具有二长边以及二短边；多个微机电泵，设置于芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个第一连接点，设置于芯片本体，且电性连接微机电泵的第一电极；多个第二连接点，设置于芯片本体，且电性连接微机电泵的第二电极；至少一第一控制电极，设置于芯片本体，且电性连接第一连接点；以及至少一第二控制电极，设置于芯片本体，且电性连接第二连接点。至少一第一控制电极以及至少一第二控制电极分别设置在芯片本体的相对两侧。【附图说明】图1为先前技术中微机电泵模块的示意图。图2为本案第一实施例的微机电泵模块的示意图。图3为本案第二实施例的微机电泵模块的示意图。图4为本案第三实施例的微机电泵模块的示意图。图5为本案第四实施例的微机电泵模块的示意图。图6为本案第五实施例的微机电泵模块的示意图。图7为本案第六实施例的微机电泵模块的示意图。图8为本案微机电泵的电性连接示意图。图9A为本案微机电泵模块的控制信号的第一态样示意图。图9B为本案微机电泵模块的控制信号的第二态样示意图。图9C为本案微机电泵模块的控制信号的第三态样示意图。图9D为本案微机电泵模块的控制信号的第四态样示意图。图9E为本案微机电泵模块的控制信号的第五态样示意图。图9F为本案微机电泵模块的控制信号的第六态样示意图。【具体实施方式】体现本案特征与优点的实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。请参阅图2，于本案第一实施例中，微机电泵模块100I包含一微机电芯片100。微机电芯片100包含一芯片本体10、多个微机电泵20、至少一第一控制电极30I、多个第一连接点31、至少一第二控制电极40I以及多个第二连接点41。芯片本体10为一长方形态样，且具有相对的二长边11以及相对的二短边12。微机电泵20设置于芯片本体10上，且每一个微机电泵20分别具有一第一电极21a以及一第二电极21b。第一连接点31设置于芯片本体10上，且分别电性连接微机电泵20的第一电极21a。第二连接点41设置于芯片本体10上，且每一第二连接点41电性连接相对应的多个微机电泵20的第二电极21b，例如但不限为电性连接相对应的两个多个微机电泵20的第二电极21b。至少一第一控制电极30I设置于芯片本体10上，且电性连接所有第一连接点31。至少一第二控制电极40I设置于芯片本体10上，且电性连接所有第二连接点41。至少一第一控制电极30I以及至少一第二控制电极40I分别设置在芯片本体10的相对两侧，且分别邻近芯片本体10的二短边12。至少一第一控制电极30I以及至少一第二控制电极40I与芯片本体10的二长边11距离相等。于本案第一实施例中，第一控制电极30I以及第二控制电极40I的数量分别各为一个，但不以此为限，第一控制电极30I以及第二控制电极40I的数量可依设计需求而变更。请参阅图3，于本案第二实施例中，微机电泵模块100II与本案第一实施例的微机电泵模块100I的结构大致相同，不同之处在于本案第二实施例中，第一控制电极30II以及第二控制电极40II与芯片本体10二长边11的距离不相等。芯片本体10的二长边11分别为第一长边11a以及第二长边11b。于本案第二实施例中，第一控制电极30II以及第二控制电极40II邻近第一长边11a而设置。于本案第二实施例中，第一控制电极30II以及第二控制电极40II的数量分别各为一个，但不以此为限，第一控制电极30II以及第二控制电极40II的数量可依设计需求而变更。请参阅图4，于本案第三实施例中，微机电泵模块100III与本案第二实施例的微机电泵模块100II的结构大致相同，不同之处在于本案第三实施例中，第一控制电极30III以及第二控制电极40III邻近第二长边11b而设置。于本案第三实施例中，第一控制电极30III以及第二控制电极40III的数量分别各为一个，但不以此为限，第一控制电极30III以及第二控制电极40III的数量可依设计需求而变更。请参阅图5，于本案第四实施例中，微机电泵模块100IV与本案第一实施例的微机电泵模块100I的结构大致相同，不同的处在于本案第四实施例中，每一第一连接点31电性连接相对应的多个微机电泵20的第一电极21a，例如但不限为电性连接相对应的两个微机电泵20的第一电21a；第一控制电极30IV以及第二控制电极40IV分别设置在芯片本体10的相对两侧，且分别邻近芯片本体10的二长边11；以及第一控制电极30IV以及第二控制电极40IV与芯片本体10的二短边12距离相等。于本案第四实施例中，第一控制电极30IV以及第二控制电极40IV的数量分别各为一个，但不以此为限，第一控制电极30IV以及第二控制电极40IV的数量可依设计需求而变更。请参阅图6，于本案第五实施例中，微机电泵模块100V与本案第四实施例的微机电泵模块100IV的结构大致相同，不同之处在于本案第五实施例中，芯片本体10的二短边12分别为第一短边12a以及第二短边12b，第一控制电极30V以及第二控制电极40V与芯片本体10的二短边12距离不相等，并且第一控制电极30V以及第二控制电极40V邻近第一短边12a而设置。于本案第五实施例中，第一控制电极30V以及第二控制电极40V的数量分别各为一个，但不以此为限，第一控制电极30V以及第二控制电极40V的数量可依设计需求而变更。请参阅图7，于本案第六实施例中，微机电泵模块100VI与本案第五实施例的微机电泵模块100V的结构大致相同，不同之处在于本案第六实施例中，第一控制电极30VI以及第二控制电极40VI邻近第二短边12b而设置。于本案第六实施例中，第一控制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电泵模块，其特征在于，包含：/n一微机电芯片，包含：/n一芯片本体，为一长方形态样，具有二长边以及二短边；/n多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；/n多个第一连接点，设置于该芯片本体，且电性连接该多个微机电泵的该第一电极；/n多个第二连接点，设置于该芯片本体，且电性连接该多个微机电泵的该第二电极；/n至少一第一控制电极，设置于该芯片本体，且电性连接该多个第一连接点；以及/n至少一第二控制电极，设置于该芯片本体，且电性连接该多个第二连接点；/n其中，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极分别设置在该芯片本体的相对两侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种微机电泵模块，其特征在于，包含：
一微机电芯片，包含：
一芯片本体，为一长方形态样，具有二长边以及二短边；
多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；
多个第一连接点，设置于该芯片本体，且电性连接该多个微机电泵的该第一电极；
多个第二连接点，设置于该芯片本体，且电性连接该多个微机电泵的该第二电极；
至少一第一控制电极，设置于该芯片本体，且电性连接该多个第一连接点；以及
至少一第二控制电极，设置于该芯片本体，且电性连接该多个第二连接点；
其中，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极分别设置在该芯片本体的相对两侧。


2.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个第一连接点分别电性连接该多个微机电泵的该第一电极。


3.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，每一该第一连接点电性连接相对应的多个该微机电泵的该第一电极。


4.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，每一该第二连接点电性连接相对应的多个该微机电泵的该第二电极。


5.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极分别邻近该芯片本体的该二短边。


6.如权利要求5所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一第一控制电极以及该至少一第二控制电极与该芯片本体的该二长边距离相等。


7.如权利要求5所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一第一控制电极以及该...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，余荣侯，张正明，戴贤忠，廖文雄，黄启峰，韩永隆，蔡长谚，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71