一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行方法技术

本发明专利技术涉及一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行改造方法，具体方法如下：（1）在操作前先将相邻多晶炉串联；（2）正常运行状态下真空泵上的V8阀是打开的，V9阀是关闭的；（3）进行并接操作时，先将计划继续运行的主真空泵的V9阀打开，挂好标牌；（4）将准备停的辅真空泵的V8阀关闭，挂好标牌；（5）打开辅真空泵V9阀，挂好标牌；（6）将计划停用的辅泵关闭；（7）当并接的多晶炉中有一台运行结束时，需将停炉的多晶炉分离，恢复正常运行状态；（8）关闭主泵和辅泵的V9阀，挂好标牌。本发明专利技术直接减少真空泵的使用数量，从根本上减少能耗，降低故障发生频率。

A method to control the operation of multiple polycrystalline furnaces with one vacuum pump

【技术实现步骤摘要】
一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行方法
本专利技术属于多晶炉
，具体涉及一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行方法。
技术介绍
多晶炉运行周期较长（70小时左右），但仅仅在加热阶段（10小时左右），属于气体置换过程。而在熔化、长晶、退火、冷却阶段（60小时左），炉内气压稳定，进出气量小。因此，一台真空泵供给一台多晶炉台的模式会造成大量产能浪费。真空泵作为气体运输中必不可少的装置，运作过程不仅能耗高，且真空泵隶属机械油泵，运作过程中不仅消耗大量润滑油，且机械动作会产生声音，产生大量噪音污染；因此，在固定炉台情况下，增加利用率，减少真空泵的使用是十分必要的。同时，一台真空泵供给一台多晶炉台的模式，会使得每个真空泵都处于工作状态，真空泵长期不停运作滑阀之间一直长时间处于摩擦过程使滑阀寿命降低，停机检修等工作均会直接影响多晶炉设备机台效率。而当真空泵出现故障时只能停机维修；不仅直接影响产品质量，且如果气体无法得到有效排出会发生重大安全事故。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行改造方法，其特征在于：具体方法如下：/n（1）在操作前先将相邻多晶炉串联；/n（2）正常运行状态下真空泵上的V8阀是打开的，V9阀是关闭的；进行并接操作前，首先需确认机台状态，所并接设备必需都处于气体控制模式下；/n（3）进行并接操作时，先将计划继续运行的主真空泵的V9阀打开，挂好标牌；需要运行的真空泵称为主真空泵，停止运行的真空泵称为辅真空泵；/n（4）将准备停的辅真空泵的V8阀关闭，挂好标牌，关或开；手动阀顺时针是关闭，逆时针是打开；/n（5）打开辅真空泵V9阀，挂好标牌，观察炉内气压状况，是否符合配方设定值；/n（6）将计划停用的辅泵关闭；将V...

【技术特征摘要】
1.一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行改造方法，其特征在于：具体方法如下：
（1）在操作前先将相邻多晶炉串联；
（2）正常运行状态下真空泵上的V8阀是打开的，V9阀是关闭的；进行并接操作前，首先需确认机台状态，所并接设备必需都处于气体控制模式下；
（3）进行并接操作时，先将计划继续运行的主真空泵的V9阀打开，挂好标牌；需要运行的真空泵称为主真空泵，停止运行的真空泵称为辅真空泵；
（4）将准备停的辅真空泵的V8阀关闭，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵长洲，韩晓敏，孙永付，夏益民，
申请(专利权)人：扬州荣德新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32