【技术实现步骤摘要】
一种纯水预热系统
本技术涉及清洗设备
,具体是一种纯水预热系统。
技术介绍
在槽式自动清洗行业,根据工艺的需求,需要使用较高温度的热化学药剂对硅片进行化学腐蚀处理。为了节约设备准备时间,行业内通常是在设备配液前预先将纯水进行加热升温。目前的纯水预热系统有两种模式,一种是采用在线式工业热水机(常温水进入工业热水机,出来即为热水),另一种是采用预热桶将桶内的纯水预先加热到指定温度,然后再输送到设备槽体。但是上述的技术方案在实际使用时还存在以下不足:由于随着设备产能的不断提升,留给设备准备工作的时间也越来越短,在短时间内就需要大量的热水,如果采用工业热水机,则需要非常大的电功率,导致供电系统的成本较高;而传统的预热桶方式是采用单一的大泵(大流量泵)将热水传输到设备槽体,虽然能满足设备配液需要并降低成本,但是在工艺过程中往往还需要精准添加少量的热水进行参与,而目前配液所使用的大泵传输不能进行小剂量精准添加,进而降低了预热桶方式的安全性。因此,如何能有效解决现有的纯水预热系统成本较高且添加精度较低的问题,成为本行业较为棘 ...
【技术保护点】
1.一种纯水预热系统,包括用于对设备槽体(18)供水的预热桶(1)以及位于预热桶(1)内的加热管(6),其特征在于,所述预热桶(1)底部通过热水主管路(15)与设备槽体(18)相连;/n所述热水主管路(15)包括分别和预热桶(1)连通的第一流量泵管路(19)与第二流量泵管路(20),所述第一流量泵管路(19)上设有第一水泵(21),所述第二流量泵管路(20)上设有第二水泵(22)。/n
【技术特征摘要】
1.一种纯水预热系统,包括用于对设备槽体(18)供水的预热桶(1)以及位于预热桶(1)内的加热管(6),其特征在于,所述预热桶(1)底部通过热水主管路(15)与设备槽体(18)相连;
所述热水主管路(15)包括分别和预热桶(1)连通的第一流量泵管路(19)与第二流量泵管路(20),所述第一流量泵管路(19)上设有第一水泵(21),所述第二流量泵管路(20)上设有第二水泵(22)。
2.根据权利要求1所述的纯水预热系统,其特征在于,所述预热桶(1)内部对应设有多个液位传感器(7)与多个温度传感器(5);
所述预热桶(1)内还设有氮气鼓泡管(9),预热桶(1)顶部设有排气口(8);
所述预热桶(1)外侧中部设有进水管路(10),进水管路(10)上分别设有进水阀(11)与维修阀(12)。
3.根据权利要求1所述的纯水预热系统,其特征在于,所述预热桶(1)外侧上部设有高位溢流管路(4),所述高位溢流管路(4)远离预热桶(1)的一端与设置在预热桶...
【专利技术属性】
技术研发人员:戴洪烨,王相军,
申请(专利权)人:上海釜川自动化设备有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。