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本发明涉及一种多晶炉台一台真空泵控制多台多晶炉运行改造方法，具体方法如下：（1）在操作前先将相邻多晶炉串联；（2）正常运行状态下真空泵上的V8阀是打开的，V9阀是关闭的；（3）进行并接操作时，先将计划继续运行的主真空泵的V9阀打开，挂好标牌...
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