一种真空蒸镀设备制造技术

本发明专利技术涉及太阳能技术领域，具体涉及一种真空蒸镀设备。本发明专利技术提供的真空蒸镀设备，包括卷绕系统、固定端和移动端，所述卷绕系统固定在所述固定端上并伸出至所述第一腔体的外侧；所述移动端能够移动与所述固定端分离打开所述容纳腔，由于卷绕系统固定在所述固定端上，这样整个移动端的重量大大降低，移动时的惯性更小，因此移动更加平稳，移动过程中产生的震动更小；并且所述卷绕系统伸出至第一腔体的外侧，卷材与卷绕系统之间没有阻挡物，卷材的装载与卸载的动作实现起来更加简单；本申请提供的真空蒸镀设备同时实现了不用移动卷绕系统，并且卷材方便快速的装载与卸载，设备结构简单，能够达到快速高效生产的目的。

A vacuum evaporation equipment

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀设备
本专利技术涉及太阳能电池制造
，具体涉及一种真空蒸镀设备。
技术介绍
由于不锈钢箔密度较高，一卷不锈钢箔的重量可达1.5吨到2.5吨。因此对于卷对卷(roll－to－roll)设备的设计结构、基材卷的装载、加工完卷材的卸下都有更高要求。通常为了保证设备制作的精度，真空蒸镀设备的主架尽量采用固定的方式(不移动)，这样薄膜的加工精度，运动控制精度更容易实现，精度更容易把控，结构相对来说比较简单，这种方式的镀膜机主腔体通常采用门轴式开门方式或平移式开门方式，两种方式的门密封方向均为竖直方向，且腔体一面开口，卷材的装载和卸载需要将卷绕系统整体抽出。为了便于卷材的装载与卸载，大部分企业选择了平移式开门方式的镀膜，镀膜系统与门集成一体，采用平移式开门方式的镀膜机主要是为了在镀膜机主腔体外进行卷材的装载与卸载。主腔体外的卷材装载与卸载的动作相对于腔体内实现更容易，执行动作更简单、易控制。但是，由于平移式方式的镀膜机，卷绕控制部分会随着移动门板移动。对于设备的总体结构比较复杂、设备的制作精度要求很高，卷绕控制结构比较复杂。由于门板要实现较大载荷的移动，在移动速度控制非常严格。图1为现有技术中一种真空蒸镀设备的结构示意图，其中卷绕控制系统200设计在主腔体100内，卷绕控制系统200不可移动，当腔体门110打开时，卷绕控制系统200需要在门板打开侧进行卷材的装载与卸载，卷材的装载与卸载在设备腔体120内完成。这种设备结构简单，卷材的装载与卸载比较难实现。图2为现有技术中另一种真空蒸镀设备的结构示意图，其中卷绕控制系统200设计成可移动方式，卷绕控制系统200可以随着主门板110平移进出主腔体120。这样可以实现在卷材从上方以吊装的方式进行薄膜的装载与卸载。装载与卸载的动作实现起来比较简单。但由于卷绕控制系统自身比较重(18吨至15吨)，移动门板的移动速度，要尽量减小惯性的产生、不能产生振动。因此，移动的速度要保证低速和匀速。采用如图1的方案，无论采用四周哪个方向开门，卷材的装载与卸载动作比较复杂，卷材的装载于卸载非常难操作。采用图2的方案，虽然实现了腔体外的卷材装载与卸载，但由于动作要在真空环境下实现，且移动门板携带载荷较大，门的开启与关闭移动安全性及可靠性较低。
技术实现思路
(一)本专利技术目的在于提供一种新型真空蒸镀设备，实现设备卷绕系统固定到主腔体内，不用移动卷绕系统。保证设备设计结构简单，还能简单方便的实现卷材的方便快速的装载与卸载。(二)技术方案为了实现上述技术问题，本专利技术提供了一种真空蒸镀设备，包括卷绕系统、固定端和移动端，所述固定端与所述移动端可开合连接，所述固定端与所述移动端处于连接状态时共同围成一个密闭的容纳腔，所述容纳腔包括位于固定端内的第一腔体和位于所述移动端内的第二腔体，所述卷绕系统固定在所述固定端上并伸出至所述第一腔体的外侧。进一步地，所述固定端上固定有多个所述卷绕系统，至少两个所述卷绕系统伸出至所述第二腔体的外侧。进一步地，所述第一腔体和所述第二腔体均为一端开口的腔体，所述第一腔体的开口方向倾斜向上，所述第二腔体的开口方向倾斜向下，所述第一腔体和所述第二腔体的开口端相接形成密闭的所述容纳腔。进一步地，所述固定端包括第一立板、底板和两个第一侧板，所述第一立板的下端与所述底板的后端相连；两个所述第一侧板相对设于所述底板的两侧，下端分别与所述底板的相对的两个侧边相连，后端分别与所述第一立板的相对两个侧边相连。进一步地，所述移动端包括第二立板、顶板和两个第二侧板，所述第二立板的上端与所述顶板的前端相连；两个所述第二侧板相对设于所述底板的两侧，上端分别与所述顶板相对的两个侧边相连，前端分别与所述第二立板相对的两个侧边相连。进一步地，所述顶板、底板、第一立板和第二立板均为矩形板状结构，所述第一侧板和所述第二侧板均为直角三角板状结构；所述第一侧板的斜边朝上设置，所述第二侧板的斜边朝下设置，且所述第一侧板的斜边和所述第二侧板的斜边相互平行。进一步地，所述第一腔体的开口端设有第一密封法兰，所述第二腔体的开口端设有与所述第一密封法兰配合的第二密封法兰。进一步地，所述第一密封法兰和所述第二密封法兰之间设有至少一个密封圈；所述密封圈固定在所述第一密封法兰或第二密封法兰上。进一步地，所述第一密封法兰和第二密封法兰均为倾斜的矩形框结构，所述第一密封法兰和所述第二密封法兰相互平行；所述第一密封法兰与水平方向的夹角为30-60°。进一步地，所述真空蒸镀设备还包括滑轨，所述移动端与所述滑轨滑动连接，并能够沿所述滑轨滑动以打开或闭合所述容纳腔。进一步地，所述滑轨水平设置，所述固定端固定在所述滑轨上，所述移动端在所述滑轨上沿水平方向滑动以打开或闭合所述容纳腔。进一步地，所述移动端与所述固定端铰接，所述移动端绕铰接处转动以打开或闭合所述容纳腔。进一步地，还包括蒸发机构和真空排气系统；所述蒸发机构固定在所述固定端上，并位于所述第一腔体内；所述真空排气系统设置在所述固定端或所述移动端上，并与所述容纳腔连通。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的真空蒸镀设备，包括卷绕系统、固定端和移动端，所述固定端与所述移动端处于连接状态时共同围成一个密闭的容纳腔，所述容纳腔包括位于固定端内的第一腔体和位于所述移动端内的第二腔体，所述卷绕系统固定在所述固定端上并伸出至所述第一腔体的外侧；所述移动端能够移动与所述固定端分离打开所述容纳腔，由于卷绕系统固定在所述固定端上，这样整个移动端的重量大大降低，移动时的惯性更小，因此移动更加平稳，移动过程中产生的震动更小，对于移动端移动时的控制更容易掌控；并且所述卷绕系统伸出至第一腔体的外侧，卷材与卷绕系统之间没有阻挡物，卷材与卷绕系统配合的操作空间更大；这样可以实现在卷材从上方以吊装的方式进行薄膜的装载与卸载，装载与卸载的动作实现起来更加简单；本申请提供的真空蒸镀设备同时实现了不用移动卷绕系统，并且卷材方便快速的装载与卸载，设备结构简单，能够达到快速高效生产的目的。附图说明本专利技术上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是现有技术中一种真空蒸镀设备的结构示意图；图2是现有技术中另一种真空蒸镀设备的结构示意图；图3是本申请真空蒸镀设备的移动端和固定端平移配合的结构示意图；图4是本申请真空蒸镀设备的移动端和固定端转动配合的结构示意图；图5是本申请真空蒸镀设备的密封圈固定在第一密封法兰上的结构示意图；图6是本申请真空蒸镀设备的密封圈固定在第二密封法兰上的结构示意图；图7是本申请一个实施例中所述第一侧板的示意图；图8是本申请另一个实施例中所述第一侧板的示意图；图9是本申请又一个实施例中所述第一侧板的示意图；图10是本申请一个实施例中所述第二侧板的示意图；图11是本申请另一个实施例中所述第二侧板的示意本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空蒸镀设备，其特征在于：包括卷绕系统、固定端和移动端，所述固定端与所述移动端可开合连接，所述固定端与所述移动端处于连接状态时共同围成一个密闭的容纳腔，所述容纳腔包括位于固定端内的第一腔体和位于所述移动端内的第二腔体，所述卷绕系统固定在所述固定端上并伸出至所述第一腔体的外侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀设备，其特征在于：包括卷绕系统、固定端和移动端，所述固定端与所述移动端可开合连接，所述固定端与所述移动端处于连接状态时共同围成一个密闭的容纳腔，所述容纳腔包括位于固定端内的第一腔体和位于所述移动端内的第二腔体，所述卷绕系统固定在所述固定端上并伸出至所述第一腔体的外侧。


2.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述固定端上固定有多个所述卷绕系统，至少两个所述卷绕系统伸出至所述第一腔体的外侧。


3.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述第一腔体和所述第二腔体均为一端开口的腔体，所述第一腔体的开口方向倾斜向上，所述第二腔体的开口方向倾斜向下，所述第一腔体和所述第二腔体的开口端相接形成密闭的所述容纳腔。


4.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述固定端包括第一立板、底板和两个第一侧板，所述第一立板的下端与所述底板的后端相连；
两个所述第一侧板相对设于所述底板的两侧，下端分别与所述底板的相对的两个侧边相连，后端分别与所述第一立板的相对两个侧边相连。


5.根据权利要求4所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述移动端包括第二立板、顶板和两个第二侧板，所述第二立板的上端与所述顶板的前端相连；
两个所述第二侧板相对设于所述底板的两侧，上端分别与所述顶板相对的两个侧边相连，前端分别与所述第二立板相对的两个侧边相连。


6.根据权利要求5所述的真空蒸镀设备，其特征在于：所述顶板、底板、第一立板和第二立板均为矩形板状结构，所述第一侧板和所述第二侧板均为直角三角板状结构；
所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈立国，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11