对象体研磨装置及对象体研磨方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种对象体研磨装置及对象体研磨方法。所述对象体研磨装置包括：工作台，其能够移动且能够用于配置对象体；研磨单元，其可旋转地位于工作台上，具有外壳部、设置于外壳部内且利用至少一个永磁铁向供应到对象体上的磁流变流体施加磁场以整列磁流变流体的磁场发生部及与磁场发生部相邻且利用电磁铁将永磁铁的磁场限制在外壳部内部的磁场限制部；磁流变流体供应部，其能够向对象体上供应磁流变流体；以及研磨液供应部，其向磁流变流体与对象体之间供应研磨用研磨液。因此，能够将大面积的对象体整体研磨均匀。

Object grinding device and method

【技术实现步骤摘要】
对象体研磨装置及对象体研磨方法
本专利技术的实施例涉及对象体研磨装置及对象体研磨方法。更具体来讲，涉及一种能够利用磁流变流体研磨对象体的边缘或表面的对象体研磨装置及对象体研磨方法。
技术介绍
磁流变流体是被施加磁场时具有数毫秒的反应速度的敏感物质。所述磁流变流体由羰基铁(carbonyliron)及用于分散羰基铁粉末的非磁性传递流体(carrierfluid)混合而成。所述磁流变流体应用于多种领域，尤其用于阻尼器(damper)、研磨(polishing)等领域。对现有的机械研磨装置及研磨方法来讲，研磨片在用相对高的压力加压对象体的表面的同时对所述对象体进行研磨。因此，可能出现所述对象体的表面出现划痕或对象体遭到残留应力破坏的情况。为了解决这些问题，利用磁流变流体的研磨装置使轮形态的部件以预定的速度旋转，并且在其上面涂布磁流变流体使得同时旋转。在此，向对象体及磁流变流体之间供应研磨液(slurry)。因此，随着所述研磨液接触所述对象体表面发生剪切力，以此执行研磨工程。但现有的利用磁流变流体的研磨方法可能会受到对象本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种对象体研磨装置，其特征在于，包括：/n工作台，其能够移动且能够用于配置对象体；/n研磨单元，其可旋转地位于所述工作台上，具有外壳部、设置于所述外壳部内且利用至少一个永磁铁向供应到所述对象体上的磁流变流体施加磁场以整列所述磁流变流体的磁场发生部及与所述磁场发生部相邻且利用电磁铁将所述永磁铁的磁场限制在所述外壳部的内部的磁场限制部；/n磁流变流体供应部，其能够向所述对象体上供应所述磁流变流体；以及/n研磨液供应部，其向所述磁流变流体与所述对象体之间供应研磨用研磨液。/n

【技术特征摘要】
20180627 KR 10-2018-00738611.一种对象体研磨装置，其特征在于，包括：
工作台，其能够移动且能够用于配置对象体；
研磨单元，其可旋转地位于所述工作台上，具有外壳部、设置于所述外壳部内且利用至少一个永磁铁向供应到所述对象体上的磁流变流体施加磁场以整列所述磁流变流体的磁场发生部及与所述磁场发生部相邻且利用电磁铁将所述永磁铁的磁场限制在所述外壳部的内部的磁场限制部；
磁流变流体供应部，其能够向所述对象体上供应所述磁流变流体；以及
研磨液供应部，其向所述磁流变流体与所述对象体之间供应研磨用研磨液。


2.根据权利要求1所述的对象体研磨装置，其特征在于：
所述永磁铁包括向水平方向排列的多个永磁铁。


3.根据权利要求1所述的对象体研磨装置，其特征在于，所述研磨单元还包括：
轭部，其支撑所述永磁铁及所述电磁铁；以及
磁场通道部，其起到所述永磁铁与所述电磁铁之间的磁场通道的功能。


4.根据权利要求3所述的对象体研磨装置，其特征在于：
所述永磁铁有多个，多个所述永磁铁排列成隔着向垂直方向延长的轭部具有相同极性。


5.根据权利要求4所述的对象体研磨装置，其特征在于：
多个所述永磁铁分别具有环形圈形状，排列成同心圆形态。


6.根据权利要求1所述的对象体研磨装置，其特征在于：
所述永磁铁垂直地排列成永磁铁的不同极性交替配置。

【专利技术属性】
技术研发人员：张道祥，洪侊杓，
申请(专利权)人：株式会社PDT，
类型：发明
国别省市：韩国;KR