气瓶柜强制供气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种气瓶柜强制供气装置，用于向工艺气体气瓶柜的气动阀供气，其包括：进气管；供气本体，连接于所述进气管；多个出气管，连接于所述供气本体。本实用新型专利技术提出的气瓶柜强制供气装置结构简单操作方便并且能够在很短时间内完成气瓶柜强制供气的操作。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体生产工艺领域，且特别涉及一种气瓶柜强制供气装置。
技术介绍
半导体生产工艺中需要大量使用数十种有毒的工艺气体。在这些有毒气体 输送和供给半导体芯片生产机台使用的过程中需要大量的气体供应钢瓶拒。在 每个气体供应钢瓶柜内有两个气体钢瓶， 一个处于供气状态而另一个处于备用 状态。当供气状态的钢瓶用空后另一侧备用钢瓶会自动切换投入使用。在实际 工作中往往会因为气瓶拒电力或控制系统发生问题而使供气钢瓶的几个气动阀 自行关闭并且不能及时恢复而引起供气中断，造成影响生产甚至芯片报废的问 题，这给企业经济上带来^f艮大的损失。现在大部分气瓶拒都没有强制供气装置，尽管 一些厂家的气瓶拒在发生问 题引起供气侧气动阀关闭时，可以通过控制器内部强制打开气路电磁阀的方式 实现强制供气，但是因为控制器位置较高并且内部空间狭小操作起来费时费力 也很不理想。
技术实现思路
为了克服目前气瓶拒没有强制供气装置或操作不便的不足，本技术提 出一种气瓶根强制供气装置，其结构简单操作方便并且能够在很短时间内完成 气瓶拒强制供气的操作。为了达到上述目的，本技术提出一种气瓶拒强制供气装置，用于向工艺气体气瓶拒的气动阀供气，其包括进气管；供气本体，连接于所述进气管； 多个出气管，连接于所述供气本体。 可选的，其中所述进气管具有手阀。可选的，其中所述进气管另一端连接于气源管道或者气源瓶。 可选的，其中所述进气管通过本体进气管接头与所述供气本体相连。 可选的，其中所述多个出气管包括两个带有手阀的自动出气管和两个不带 手阀的手动出气管。可选的，其中所述自动出气管通过本体短联接头与所述供气本体相连。 可选的，其中多个供气管连接于所述这些出气管。 可选的，其中所述气瓶拒强制供气装置固定于固定底板上。 本技术提出的气瓶拒强制供气装置，在给工艺气体气瓶拒的气动阀供 气的气瓶拒出现故障时，拔下气动阀上的气动管并把气瓶拒强制供气装置上的 供气管插上，再打开该装置进气管侧的供气手阀即可立即实现强制供气的要求， 将气源管道或者气源瓶的气体供给给气动阀。本技术的多个出气管可以包 括两个具有手阀的自动出气管和两个手动出气管，可适用于手动气拒和自动气 根，该装置可通过固定底板固定在墙上或者其他特定位置使用，也可移动使用。 本技术的气瓶拒强制供气装置结构筒单，操作方便且快捷迅速，解决了现 在气瓶拒实现强制供气动作时，操作不便，费时费力极容易影响生产的不足。附图说明图1所迷为本技术较佳实施例的结构示意图。具体实施方式为了更了解本技术的
技术实现思路
，特举具体实施例并配合所附图式说明 如下。请参考图1，图1所述为本技术较佳实施例的结构示意图。本技术提出一种气瓶拒强制供气装置，用于向工艺气体气瓶拒的气动阀供气，其包括 进气管100;供气本体200，其连接于所述进气管100;多个出气管300,连接 于所述供气本体200。其中所述进气管100具有手阀110用于控制进气管100的导通以及关闭， 而所述进气管100另一端连接于气源管道或者气源瓶，通常为氮气气源，其中 所述进气管100通过本体进气管接头120与所述供气本体200相连，以方便进气管100的安装与拆卸。当进气管100的手阀iio打开后，氮气气体通过进气管ioo进入到供气本体200中。所述多个出气管300包括两个带有手阀312的自动出气管310和两 个不带手阀的手动出气管320，因为工艺气体气瓶柜若为手动气拒时，其具有两 个气动阀并由手动控制供气，此时只需两个手动出气管320连接供气，并通过 进气管IOO上的手阀IIO控制供气，当工艺气体气弁瓦拒为自动气拒时，其具有 四个气动阀，此时需要将两个带有手阀312的自动出气管310和两个不带手阀 的手动出气管320都连接到自动气拒上，并打开自动出气管310的手阀312供 气，然后通过进气管IOO上的手阀IIO控制供气。其中所述自动出气管310可以通过本体短联接头311与所述供气本体200 相连，以便于自动出气管310的安装与拆卸。本技术较佳实施例中的进气 管100和多个出气管300可以都为不锈钢制成。同时该气瓶拒强制供气装置还 可以具有多个供气管400连接于所述这些出气管300，而这些供气管400可为供 气塑料管。同时所述气瓶拒强制供气装置还可以具有固定底板500，从而该气瓶拒强制 供气装置可以通过固定底板500四角上的圆孔用螺钉周定在墙上或其它特定的 位置使用，也可以移动使用，使用者可根据操作方便的实际情况设置合适的高 度和位置安装该气瓶拒强制供气装置，当需要在其他的工艺气体气瓶柜使用时 也可方便的拆卸下来移动到目的地安装。本装置中的进气管100的手阀110以及自动出气管310的手阀312通常都 是半导体生产中使用的高纯工艺气体专用手阀，其进气端和出气端一般通过氩 弧焊加工方法同外界管道相联接。同时强制供气本体200上相对于进气管100 的另一端具有圆孔螺丝堵头所堵的开孔，它的用途是解决因为此圆孔的深度尺 寸较大，若从一侧钻孔会存在加工工艺难度上的问题，开了此孔就可从两端钻 孔，加工完成再用螺丝堵头堵上，如此可方便地在供气本体200内部安装固定 供气管道。综上所述，本技术提出的气瓶拒强制供气装置，在给工艺气体气瓶根 的气动阀供气的气瓶拒出现故障时，拔下气动阀上的气动管并把气瓶柜强制供 气装置上的供气管插上，再打开该装置进气管侧的供气手阀即可立即实现强制供气的要求，将气源管道或者气源瓶的气体供给给气动阀。本技术的多个 出气管包括两个具有手阀的自动出气管和两个手动出气管可适用于手动气柜和 自动气拒，该装置可通过固定底板固定在墙上或者其他特定位置使用，也可移 动使用。本技术的气瓶拒强制供气装置结构简单，操作方便且快捷迅速， 解决了现在气瓶拒实现强制供气动作时，操作不便，费时费力极容易影响生产 的不足。虽然本技术已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本技术。 本技术所属
中具有通常知识者，在不脱离本技术的精神和范 围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本技术的保护范围当视权利要求 书所界定者为准。权利要求1. 一种气瓶柜强制供气装置，用于向工艺气体气瓶柜的气动阀供气，其特征在于包括进气管；供气本体，连接于所述进气管；多个出气管，连接于所述供气本体。2. 根据权利要求l所述的气瓶拒强制供气装置，其特征在于其中所述进气 管具有手阀。3. 根据权利要求1所述的气瓶柜强制供气装置，其特征在于其中所述进气 管另一端连接于气源管道或者气源瓶。4. 根据权利要求l所述的气瓶柜强制供气装置，其特征在于其中所述进气 管通过本体进气管接头与所述供气本体相连。5. 根据权利要求l所述的气瓶拒强制供气装置，其特征在于其中所述多个 出气管包括两个带有手阀的自动出气管和两个不带手阀的手动出气管。6. 根据权利要求5所述的气瓶拒强制供气装置，其特征在于其中所述自动 出气管通过本体短联接头与所述供气本体相连。7. 根据权利要求l所述的气瓶柜强制供气装置，其特征在于其中多个供气 管连接于所述这些出气管。8. 根据权利要求l所述的气瓶拒强制供气装置，其特征在于其中所述气瓶 拒强制供气装置固定于固定底板上。专利摘要本技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气瓶柜强制供气装置，用于向工艺气体气瓶柜的气动阀供气，其特征在于包括：　进气管；　供气本体，连接于所述进气管；　多个出气管，连接于所述供气本体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王东海，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]