【技术实现步骤摘要】
一种精密二维转台轴间位置误差的测量装置及方法
本专利技术属于精密测量领域，具体涉及一种使用半导体激光器与二维位置传感器测量二维转台轴间位置误差的装置及方法。
技术介绍
精密二维转台由方位轴和俯仰轴两个正交的精密回转轴系构成，是先进制造、测试计量和精密仪器等领域的关键功能部件，例如五轴机床、激光跟踪仪、经纬仪、机器人等。除了各旋转轴固有的几何误差和测角系统误差外，两轴间的位置误差也是重要误差，轴间位置误差包括：轴间不相交误差、轴间垂直度误差。目前针对转台精度影响因素的研究主要集中在单轴回转误差和角位置定位误差方面，而轴间不相交误差、轴间垂直度误差定量测量方法较少，通常采用建立复杂数学模型，多参数测量的方式进行间接测量，由于测量过程受其他项误差的影响，因此未知量拟合的准确性不能得到有效保证。
技术实现思路
本专利技术提出了一种测量二维转台轴间不相交误差(Δx)、轴间垂直度误差(α)的装置及方法。该方法使用固定在二维转台俯仰轴末端的激光器和二维位置传感器来测量两个指定位置上俯仰轴的旋转中心，通过比较两个...
【技术保护点】
1.一种精密二维转台轴间位置误差的测量装置，其特征在于，所述的测量装置包括半导体激光器(9)、光源固定基座(10)、二维位置传感器(8)、传感器固定座(7)、连接板(6)、二维角度调整架(11)和XZ两轴平移升降台(5)；所述半导体激光器(9)安装在光源固定基座(10)上，光源固定基座(10)与二维角度调整架(11)的一端连接，二维角度调整架(11)的另一端与二维转台俯仰轴(1)的端部相连，且半导体激光器(9)、光源固定基座(10)及二维角度调整架(11)能跟随二维转台俯仰轴(1)同步稳定转动，二维转台方位轴(2)竖直设置；二维位置传感器(8)设置于传感器固定座(7)中，传...
【技术特征摘要】
1.一种精密二维转台轴间位置误差的测量装置，其特征在于，所述的测量装置包括半导体激光器(9)、光源固定基座(10)、二维位置传感器(8)、传感器固定座(7)、连接板(6)、二维角度调整架(11)和XZ两轴平移升降台(5)；所述半导体激光器(9)安装在光源固定基座(10)上，光源固定基座(10)与二维角度调整架(11)的一端连接，二维角度调整架(11)的另一端与二维转台俯仰轴(1)的端部相连，且半导体激光器(9)、光源固定基座(10)及二维角度调整架(11)能跟随二维转台俯仰轴(1)同步稳定转动，二维转台方位轴(2)竖直设置；二维位置传感器(8)设置于传感器固定座(7)中，传感器固定座(7)通过连接板(6)安装在XZ两轴平移升降台(5)上，二维位置传感器(8)感测区域位于二维转台俯仰轴(1)的延长线上。
2.根据权利要求1所述的一种精密二维转台轴间位置误差的测量装置，其特征在于，所述二维角度调整架(11)与二维转台俯仰轴(1)的连接方式为螺纹连接、卡扣连接、磁力吸附或胶接。
3.采用权利要求1或2任一所述的测量装置进行误差测量的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1，测量指定位置1处俯仰轴的旋转中心O1；
步骤1-1：将二维位置传感器(8)固定在XZ两轴平移升降台(5)上，调整XZ两轴平移升降台(5)，使二维位置传感器(8)感测区域位于二维转台俯仰轴(1)的延长线上；
步骤1-2：将半导体激光器(9)装入光源固定基座(10)中，光源固定基座(10)的安装面连接二维角度调整架(11)，而后固定在二维转台俯仰轴(1)的端部A，且须使半导体激光器(9)、光源固定基座(10)及二维角度调整架(11)整体能跟随二维转台俯仰轴(1)正常转动；
步骤1-3：半导体激光器(9)与二维转台俯仰轴(1)整体绕二维转台俯仰轴(1)旋转，旋转过程中，虽然半导体激光器(9)不与二维转台俯仰轴(1)同轴，但是激光射在二维位置传感器(8)上的光点中心轨迹仍近似为一个圆，调整二维角度调整架(11)，使光点始终位于二维位置传感器(8...
【专利技术属性】
技术研发人员：娄志峰，高瑞，张记云，范光照，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。