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一种精密二维转台轴间位置误差的测量装置及方法制造方法及图纸
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下载一种精密二维转台轴间位置误差的测量装置及方法的技术资料
文档序号:22972859
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一种精密二维转台轴间位置误差的测量装置及方法,属于精密测量领域。所述的测量装置包括半导体激光器、光源固定基座、二维位置传感器、传感器固定座、连接板、二维角度调整架和XZ两轴平移升降台。所述的测量方法是使用固定在二维转台俯仰轴末端的激光器和二...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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