一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头制造技术

一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头，包括底座、力矩伺服电机、连接板、等离子体抛光头和小工具抛光头，底座上设有直线导轨，连接板设在力矩伺服电机前端与转子相连接，力矩伺服电机的定子固定在基板上并通过驱动机构沿直线导轨作竖直滑动，等离子体抛光头安装在连接板前端上部，小工具抛光头对应安装在连接板前端下部，等离子体抛光头和小工具抛光头在力矩伺服电机驱动下实现抛光时的摆动和转换。增设小工具抛光头，通过小工具抛光头辅助等离子体抛光有效减轻二次吸附物对光学元件表面影响，提高抛光质量；通过力矩伺服电机实现小工具抛光头与等离子体抛光头转换，工作效率高，精度高；配合其他数控轴运动，可用于大尺寸非球面光学元件加工。

A small tool assisted composite head for atmospheric plasma polishing

【技术实现步骤摘要】
一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头
本专利技术涉及光学元件表面超光滑精密加工
，具体涉及一种用于非球面光学元件抛光的小工具辅助大气等离子体复合抛光头。
技术介绍
等离子体抛光具有加工去除速率高，加工后表面精度高等优点，是一种光学元件表面超光滑精密加工手段。然而现有的大气等离子体抛光技术在对光学元件表面刻蚀过程中，由活性粒子和光学元件表面材料的部分化学生成物在光学元件表面会产生二次吸附，二次吸附物的存在不仅极大地影响了光学元件的抛光效率，还会影响光学元件表面质量和表面面形。因此需在传统等离子体抛光设备的基础上，研制新的抛光头来抑制和消除二次吸附物，以提高工作效率和光学元件的表面质量。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对上述的技术现状而提供一种精度高、效率高的小工具辅助大气等离子体复合抛光头，可有效抑制和消除等离子体抛光生成的二次吸附物对光学元件表面的影响。本专利技术解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头，其特征在于：包括一竖直设置的底座、力矩伺服电机、连接板、等离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头，其特征在于：包括一竖直设置的底座、力矩伺服电机、连接板、等离子体抛光头和小工具抛光头，底座上设有直线导轨，连接板设置在力矩伺服电机的前端与力矩伺服电机的转子相连接，力矩伺服电机的后端定子固定在基板上并通过驱动机构可沿直线导轨作竖直滑动，等离子体抛光头安装在连接板的前端上部，小工具抛光头对应安装在连接板的前端下部，等离子体抛光头和小工具抛光头可在力矩伺服电机的驱动下实现抛光时的摆动和转换。/n

【技术特征摘要】
1.一种小工具辅助大气等离子体复合抛光头，其特征在于：包括一竖直设置的底座、力矩伺服电机、连接板、等离子体抛光头和小工具抛光头，底座上设有直线导轨，连接板设置在力矩伺服电机的前端与力矩伺服电机的转子相连接，力矩伺服电机的后端定子固定在基板上并通过驱动机构可沿直线导轨作竖直滑动，等离子体抛光头安装在连接板的前端上部，小工具抛光头对应安装在连接板的前端下部，等离子体抛光头和小工具抛光头可在力矩伺服电机的驱动下实现抛光时的摆动和转换。


2.根据权利要求1所述的小工具辅助大气等离子体复合抛光头，其特征在于：所述直线导轨为平行设置的二条，分别竖直设置在底座的前端面左右两侧，基板的后端面上安装有四个与二条直线导轨配合滑动的滑块。


3.根据权利要求1所述的小工具辅助大气等离子体复合抛光头，其特征在于：所述驱动机构包括伺服电机、滚珠丝杠和丝杠螺母，底座的上端右侧设有伺服电机固定座，底座的下端右侧设有供滚珠丝杠的下端安装并转动的轴座，伺服电机固定在伺服电机固定座上，滚珠丝杠平行于直线导轨设置，滚珠丝杠的上端与伺服电机的输出端相连接，丝杠螺母套设在滚珠丝杠上与一过渡块固定连接，过渡块与基板的右侧相连接，当伺服电机转动时，带动滚珠丝杠旋转，通过丝杠螺母转换成纵向直线运动，带动基板沿直线导轨上下滑动。


4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭海林，王大森，聂凤明，裴宁，李晓静，张广平，张旭，
申请(专利权)人：中国兵器科学研究院宁波分院，
类型：发明
国别省市：浙江;33