用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪制造技术

本实用新型专利技术涉及形貌测量仪技术领域，具体地说，涉及一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其包括安装基台，安装基台的上表面的边缘处设有若干个沉孔，安装基台的正下方设有白光干涉系统安装座，白光干涉系统安装座内设有位于沉孔正下方的螺孔，沉孔内设有与螺孔相配合的螺栓，白光干涉系统安装座内设有用于转动螺栓的螺栓驱动机构。本实用新型专利技术不仅可以对物体表面的形貌进行测量，并且在形貌测量仪出现了故障之后可通过驱动机构转动螺栓使得白光干涉系统安装座脱离与安装基座的连接，方便了人们对于白光干涉系统安装座中的白光显微干涉光学系统进行检查，方便了对于该用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪的维护与安装，从而方便了日常的使用。

White light interferometer for large size topography measurement

【技术实现步骤摘要】
用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪
本技术涉及形貌测量仪
，具体地说，涉及一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪。
技术介绍
表面形貌是制造产品和科学样件的重要质量特征，直接影响其功能特性；表面形貌测量，对于其功能质量分析和优化具有重要意义。功能结构性表面，如IC表面、MEMS表面、微镜阵列表面等，是一种尺度上微观、结构功能上宏观的特殊表面，具有表面不连续、精度高的特点。微结构尺寸、形位误差等特征参数直接关系到其功能特性、可靠性和稳定性，需要从制造工艺、质量与性能检测等多方面进行保证。微结构尺寸的高精度测量与分析评定，是保障微结构表面功能质量不可或缺的重要技术。随着制造工艺水平的发展，微纳表面结构特征的精细程度不断提升，分布的空间尺度也不断增大，呈现出微观和宏观尺度两级并行发展的趋势，主要表现两个方面。(1)微元器件的堆叠程度越来越高，结构性表面特征分布的型面跨度不断加大，例如多层次分布的微传感器系统、大曲率半径球面上的微镜阵列等，微纳制件的纵向尺度快速增长，从几十微米倍增至毫米级别。(2)高精度微结构特征在横向尺度上大范围的并行制造本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：包括安装基台(110)，安装基台(110)的上表面的边缘处设有若干个沉孔(111)，安装基台(110)的正下方设有白光干涉系统安装座(120)，白光干涉系统安装座(120)内设有位于沉孔(111)正下方的螺孔(310)，沉孔(111)内设有与螺孔(310)相配合的螺栓(320)，白光干涉系统安装座(120)内设有用于转动螺栓(320)的螺栓驱动机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：包括安装基台(110)，安装基台(110)的上表面的边缘处设有若干个沉孔(111)，安装基台(110)的正下方设有白光干涉系统安装座(120)，白光干涉系统安装座(120)内设有位于沉孔(111)正下方的螺孔(310)，沉孔(111)内设有与螺孔(310)相配合的螺栓(320)，白光干涉系统安装座(120)内设有用于转动螺栓(320)的螺栓驱动机构。


2.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：螺孔(310)内靠近螺孔(310)底端部的侧壁沿其周向向外扩张形成第一锥齿轮安装腔(330)，螺栓驱动机构包括可转动设置在第一锥齿轮安装腔(330)的第一锥齿轮(340)，第一锥齿轮(340)的中心处设有与螺栓(320)间隙配合的通孔510，螺栓(320)的端部穿过第一通孔(510)；螺栓(320)上设有若干个沿螺栓(320)长度方向设置且开口位于螺栓(320)底端的条形槽(410)，第一锥齿轮(340)上位于第一通孔(510)的侧壁处设有端部伸入条形槽(410)且与条形槽(410)间隙配合的限位块(520)，白光干涉系统安装座(120)内设有用于驱动第一锥齿轮(340)的第一锥齿轮驱动机构。


3.根据权利要求2所述的一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其特征在于：白光干涉系统安装座(120)内设有与第一锥齿轮安装腔(330)相通的第二锥齿轮安装腔(350)，第一锥齿轮驱动机构包括中可转动的设置在第二锥齿轮安装腔(350)中且与第一锥齿轮(340)相配合的第二锥...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孟哲，吴洋，梁正南，李恩全，
申请(专利权)人：宁波九纵智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33