【技术实现步骤摘要】
一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法及测量装置
本专利技术涉及短相干光源干涉测量仪器的
，具体涉及一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法及测量装置。
技术介绍
短相干泰曼干涉仪的基本原理为短相干光源发出的光通过准直透镜形成平行光束，该平行光经分光棱镜分成参考光和测试光，参考光被第一参考镜反射后，沿原光路返回至分光棱镜，经分光棱镜反射至成像光路，而测试光经被测透明平板样品透射，经第二参考镜反射后，沿原路返回，经分光棱镜透射至成像光路，并与返回至成像光路的参考光形成干涉，由成像镜头成像至相机靶面，通过分析干涉图实现精确测量被测透明材料的面形、厚度、波像差等，短相干泰曼干涉仪的光学结构示意图如图1所示。短相干泰曼干涉仪因其参考光路与测试光路相互分开，可通过调整第一参考镜或第二参考镜与分光棱镜的距离，使被第一参考镜反射的参考光与被第二参考镜反射的测试光产生干涉，并且可以灵活在光路中增减及更换光学元器件。其短相干光源相干长度较短，可有效避免由于被测透明材料前表面返回的光与参考光、被测透明材料后表面返回的光与参考光分别产生干涉，而对...
【技术保护点】
1.一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法，其特征在于，在短相干泰曼干涉仪中设置可旋转的细调补偿板和可更换的粗调补偿板，通过旋转所述细调补偿板改变其法线方向与所在光路光轴的夹角大小和更换不同厚度的所述粗调补偿板，实现参考光和测试光之间各波长光程差为零，进行色散补偿，其中：所述细调补偿板和所述粗调补偿板均与被测透明平板样品具有相同色散特性。/n
【技术特征摘要】
1.一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法，其特征在于，在短相干泰曼干涉仪中设置可旋转的细调补偿板和可更换的粗调补偿板，通过旋转所述细调补偿板改变其法线方向与所在光路光轴的夹角大小和更换不同厚度的所述粗调补偿板，实现参考光和测试光之间各波长光程差为零，进行色散补偿，其中：所述细调补偿板和所述粗调补偿板均与被测透明平板样品具有相同色散特性。
2.如权利要求1所述的短相干泰曼干涉的色散补偿方法，其特征在于，所述细调补偿板被设置在短相干泰曼干涉仪的参考光路中。
3.如权利要求2所述的短相干泰曼干涉的色散补偿方法，其特征在于，所述粗调补偿板被设置在短相干泰曼干涉仪的参考光路中。
4.如权利要求2所述的短相干泰曼干涉的色散补偿方法，其特征在于，所述粗调补偿板被设置在短相干泰曼干涉仪的测试光路中。
5.如权利要求1所述的短相干泰曼干涉的色散补偿方法，其特征在于，所述细调补偿板被设置在短相干泰曼干涉仪的测试光路中，所述粗调补偿板被设置在短相干泰曼干涉仪的参考光路中。
6.如权利要求1至5任一所述的短相干泰曼干涉的色散补偿方法，其特征在于，所述粗调补偿板是以级差为a毫米的一组不同厚度分级规格板，所述细调补偿板可补偿的最大厚度变化量为b毫米，所述a应不大于所述b。
7.一种短相干泰曼干涉测量装置，包括短相干光源、准直镜...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱秋东，苑静，张喆民，王姗姗，刘彬，王伟志，
申请(专利权)人：北京奥博泰测控技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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