图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法、装置、系统及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆缺陷检测技术领域，具体地说，涉及一种图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法、装置、系统及存储介质。该检测方法通过多次比较不同缩放倍数的缩小尺寸后的基准灰度图和实际灰度图的灰度差值，进行缺陷检测。故而能够较佳地实现检测速度的提升，且能够适用于不同尺寸的缺陷的检出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶圆缺陷检测，具体地说，涉及一种图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法、装置、系统及存储介质。

技术介绍

1、图案晶圆棱锥(pyramid)是外延生长后在表面出现的显示小平面的一种结构，其表面脏污等外观缺陷一直是视觉检测中的难题。在基于检测模板(如黄金模板)的检测中，其通过构建理想的待检测区域的检测模板，并通过比较实际检测区域的图像与检测模板的灰度差值实现；目前在该领域中，对于如何高效利用检测设备的计算资源，针对不同尺寸的缺陷准确检测出pyramid(棱锥)脏污等，为研究的热点。

技术实现思路

1、本专利技术提供了一种图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法，其能够克服现有技术的某种或某些缺陷。

2、根据本专利技术的图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法，其具有如下步骤：

3、s1、构建检测模板，获取待检测区域在检测模板中的基准灰度图a，a＝i1[m，n]；i1[m，n]为列数为m、行数为n的像素点的灰度值；

4、s2、获取待检测区域的实际灰度图b，b＝i2[m，n]；i2[m，n]为列数为本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法，其具有如下步骤：

2.根据权利要求1所述的图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法，其特征在于：n的数值设置为缩小n次后的基准灰度图A的像素尺寸不低于10。

3.根据权利要求1所述的图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法，其特征在于：灰度阈值设置为25。

4.根据权利要求1所述的图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法，其特征在于：面积阈值设置为15。

5.图案晶圆棱锥脏污缺陷检测装置，包括存储器和处理器，所述存储器中存储有计算机程序，其特征在于：所述处理器执行所述计算机程序时，实现权利要求1至4中任一项所述的检测方法的步骤。

...

【技术特征摘要】

1.图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法，其具有如下步骤：

2.根据权利要求1所述的图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法，其特征在于：n的数值设置为缩小n次后的基准灰度图a的像素尺寸不低于10。

3.根据权利要求1所述的图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法，其特征在于：灰度阈值设置为25。

4.根据权利要求1所述的图案晶圆棱锥脏污缺陷检测方法，其特征在于：面积阈值设置为15。

5.图案晶圆棱...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孟哲，梁正南，赖勉力，李恩全，
申请(专利权)人：宁波九纵智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：