下载用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪的技术资料

文档序号:22960285

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本实用新型涉及形貌测量仪技术领域,具体地说,涉及一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪,其包括安装基台,安装基台的上表面的边缘处设有若干个沉孔,安装基台的正下方设有白光干涉系统安装座,白光干涉系统安装座内设有位于沉孔正下方的螺孔,沉孔内设有与...
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