用于活性气体的内置净化器及分配高压高纯流体的方法技术

本发明专利技术是容纳和分配高纯流体的装置，包含能够在其内部容纳大量高纯流体的外容器；和外容器相连以分配高纯流体的出口；能够控制高纯流体通过出口流出外容器的阀；至少部分位于外容器中并和出口连接的内容器，具有和外容器的内部连接的入口；包含在内容器内的净化介质，以净化高纯流体中的不希望有的成分；以及防止高纯流体从内容器流到外容器内部的流体流动控制设备。

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
许多应用场合要求高纯流体(气体和液体)从容器(例如，罐和瓶)中输送。这种高纯流体通常用于处理电子、光学、医药和化学产品。在有些情况下，有利的做法是在这些流体从所述容器中排出时对其进行净化，尤其是由于在这些容器中贮存常常会随着时间的推移而在流体中引入杂质。可以将流体通过诸如吸附剂、吸气剂或过滤器的净化介质实现净化。实现净化的有用方法是在包含流体的容器内部设置含有净化介质的内容器；该内容器的入口和外容器的内部体积通过流体通道连接。但是，有些净化介质具有自相矛盾的能力，就是会在它们要净化的流体中加入污染物。一个特别例子是净化介质充当被净化流体的分解催化剂的情况。在许多情况下，分解发生的速率随着流体压力单调增加，尤其在该流体是可压缩的(即当它是气体时)情况。在不同例子中，已知有些介质会缓慢地浸析或脱附污染物到流体中。通过本专利技术解决了这些问题，其中对和内容器里的净化介质直接接触的少量流体的污染是可以容忍的，只要这种污染被最小化而且不允许扩散或通过其它方法混入外容器贮存的流体主体中。例如，采用本专利技术，可以在将容器中的流体用到要求高纯的应用场合之前，简单地排出内容器中的少量被污染的流本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于容纳和分配高纯流体的装置，包含在其内部能够容纳大量高纯流体的外容器；和外容器相连以分配该高纯流体的出口；能够控制高纯流体通过出口流出外容器的阀组件；至少部分位于外容器内的内容器，它和出口连接，并具有和外容器内部连接的入口；包含在内容器里的净化介质，用于净化高纯流体中不希望有的组分；以及防止高纯流体从内容器流到外容器内部的流体流动控制设备。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：JL文森特，RM皮尔斯泰恩，KR伯格，AJ小拉查威，
申请(专利权)人：气体产品与化学公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]