【技术实现步骤摘要】
一种PH值检测装置及其制备方法、PH值检测方法
本专利技术实施例涉及PH检测
，尤其涉及一种PH值检测装置及其制备方法、PH值检测方法。
技术介绍
目前市场上的PH传感器大都采用了传统的电极检测模块，其体型较大、结构复杂、准确性和灵敏度均较低、稳定性差。申请号为201380069949.0通过发光强度确定溶液pH，不仅准确度无法保证，且数据处理繁琐；申请号为201510003932.6虽然采用差分的方法测量被测溶液的电位，但仍保留了传统电极中的内置溶液，不仅电极寿命不能保证且稳定性和准确性难以保证。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供一种PH值检测装置及其制备方法、PH值检测方法，以提高PH值检测装置的准确性和灵敏度，同时保证PH值检测装置具备较小的体积以及良好的稳定性。第一方面，本专利技术实施例提供了一种PH值检测装置，包括衬底以及位于所述衬底一侧的多个PH传感器；多个所述PH传感器至少包括多个第一类PH传感器和多个第二类PH传感器，其中，所述第一类PH传感器和所述第二类...
【技术保护点】
1.一种PH值检测装置，包括衬底以及位于所述衬底一侧的多个PH传感器；/n多个所述PH传感器至少包括多个第一类PH传感器和多个第二类PH传感器，其中，所述第一类PH传感器和所述第二类PH传感器具备不同的PH值检测灵敏度。/n
【技术特征摘要】
1.一种PH值检测装置，包括衬底以及位于所述衬底一侧的多个PH传感器；
多个所述PH传感器至少包括多个第一类PH传感器和多个第二类PH传感器，其中，所述第一类PH传感器和所述第二类PH传感器具备不同的PH值检测灵敏度。
2.根据权利要求1所述的PH值检测装置，其特征在于，多个所述第一类PH传感器在所述衬底一侧阵列排布，多个所述第二类PH传感器在所述衬底一侧阵列排布；
所述第一类PH传感器与所述第二类PH传感器依次间隔循环排布；或者，多个所述第一类PH传感器依次间隔排布，多个所述第二类PH传感器依次间隔排布。
3.根据权利要求1所述的PH值检测装置，其特征在于，所述第一类PH传感器和所述第二类PH传感器均为互补金属氧化物半导体传感器；
所述第一类PH传感器包括：
位于所述衬底一侧的第一源极、第一栅极和第一漏极，所述第一栅极对应所述第一源极和所述第一漏极之间的第一沟道区；
位于所述第一栅极远离所述衬底一侧的多层第一导电层，所述第一导电层与所述第一栅极之间以及相邻两层所述第一导电层之间设置有第一绝缘层；
位于远离所述衬底一侧的所述第一导电层上的第一PH值检测层；
所述第二类PH传感器包括：
位于所述衬底一侧的第二源极、第二栅极和第二漏极，所述第二栅极对应所述第二源极和所述第二漏极之间的第二沟道区；
位于所述第二栅极远离所述衬底一侧的多层第二导电层，所述第二导电层与所述第二栅极之间以及相邻两层所述第二导电层之间设置有第二绝缘层；
位于远离所述衬底一侧的所述第二导电层上的第一PH值检测层；
位于所述第一PH值检测层上的第二PH值检测层。
4.根据权利要求3所述的PH值检测装置，其特征在于，所述第一PH值检测层包括惰性金属层，所述第二PH值检测层包括PH敏感膜。
5.根据权利要求3所述的PH值检测装置，其特征在于，所述第一源极、所述第一漏极、所述第二源极和所述第二漏极同层设置；
所述第一栅极和所述第二栅极同层设置；
所述第一导电层和所述第二导电层同层设置；
所述第一绝缘层和所述第二绝缘层同层设置。
6.根据权利要求3所述的PH值检测装置，其特征在于，至少部分所述第一绝缘层中形成有第一通孔，相邻两层所述第一导电层通过所述第一通孔电连接；
至少部分所述第二绝缘层中形成...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志峰，张韬，
申请(专利权)人：张家港万众一芯生物科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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