【技术实现步骤摘要】
一种超声波清洗装置
本技术涉及硅片处理设备
，特别涉及一种超声波清洗装置。
技术介绍
硅片是电子产品制造中重要的原材料，由硅锭切割成方形薄片即硅片。硅锭经金刚线磨削切割时，相邻硅片间存在大量的小颗粒，而且相邻的硅片间间隙小，相互吸引，切割完成时硅片很难自动分开，看上去依然是个整体。每次切割硅片数目很多，而且硅片很薄、其间存在大量的小颗粒，清洗时硅片易破坏，清洗效率低。
技术实现思路
本技术提供一种超声波清洗装置，解决上述技术问题。具体技术方案是，一种超声波清洗装置，包括：框架、清洗槽、硅片支架、拉杆、起落板、气缸、圆柱齿条、齿轮、轴、超声波换能器；清洗槽是长方体结构，上方开口，超声波换能器安装在清洗槽的底部外侧；清洗槽、气缸分别安装于框架上；气缸通过圆柱齿条、齿轮以及轴连接拉杆，拉杆的下端安装起落板，起落板位于清洗槽中；硅片支架放置在起落板上。气缸通过圆柱齿条、齿轮、轴以及拉杆向起落板传动，起落板能够上下移动，硅片支架在起落板上随起落板上下移动，携带着待洗硅片在清洗槽...
【技术保护点】
1.一种超声波清洗装置，其特征在于，/n包括：框架(1)、清洗槽(2)、硅片支架(3)、拉杆(4)、起落板(5)、气缸(6)、圆柱齿条(7)、齿轮(8)、轴(9)、超声波换能器(11)；/n清洗槽(2)是长方体结构，上方开口，超声波换能器(11)安装在清洗槽(2)的底部外侧；清洗槽(2)、气缸(6)分别安装于框架(1)上；/n气缸(6)通过圆柱齿条(7)、齿轮(8)以及轴(9)连接拉杆(4)，拉杆(4)的下端安装起落板(5)，起落板(5)位于清洗槽(2)中；硅片支架(3)放置在起落板(5)上。/n
【技术特征摘要】
1.一种超声波清洗装置，其特征在于，
包括：框架(1)、清洗槽(2)、硅片支架(3)、拉杆(4)、起落板(5)、气缸(6)、圆柱齿条(7)、齿轮(8)、轴(9)、超声波换能器(11)；
清洗槽(2)是长方体结构，上方开口，超声波换能器(11)安装在清洗槽(2)的底部外侧；清洗槽(2)、气缸(6)分别安装于框架(1)上；
气缸(6)通过圆柱齿条(7)、齿轮(8)以及轴(9)连接拉杆(4)，拉杆(4)的下端安装起落板(5)，起落板(5)位于清洗槽(2)中；硅片支架(3)放置在起落板(5)上。
2.根据权利要求1所述的一种超声波清洗装置，其特征在于，
圆柱齿条(7)轴向分为两半，一半是光滑面，一半是齿条面；
拉杆(4)包括光杆区(401)和齿条区(402)，齿条区(402)是轴向分为两半，一半是光滑面，一半是齿条面；下端为光杆区(401)，上端为齿条区(402)；
气缸(6)与圆柱齿条(7)连接，齿轮(8)与圆柱齿条(7)的齿条面啮合连接，拉杆(4)的齿条区(402)的齿条面与齿轮(8)啮合连接。
3.根据权利要求1所述的一种超声波清洗装置，其特征在于，
硅片支架(3)包括侧板(301)、支杆(302)、凸柱(303)，支杆(302)的两端分别安装在两侧的侧板(301)上，凸柱(303)在侧板(301)的外侧；
起落板(5)包括中心孔柱(501)和凹槽(502)；拉杆(4)的下端安装在起落板(5)的中心孔柱(501)中；硅片支架(3)的凸柱(303)放于起落板(5)的凹槽(502)中。
4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾磊，张玉玉，纪杨，
申请(专利权)人：山东大海新能源发展有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。