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本实用新型公开了一种超声波清洗装置，涉及硅片处理设备技术领域。本实用新型，清洗槽(2)是长方体结构，上方开口，超声波换能器(11)安装在清洗槽(2)的底部外侧；清洗槽(2)、气缸(6)分别安装于框架(1)上；气缸(6)通过圆柱齿条(7)、齿...该专利属于山东大海新能源发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东大海新能源发展有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种超声波清洗装置，涉及硅片处理设备技术领域。本实用新型，清洗槽(2)是长方体结构，上方开口，超声波换能器(11)安装在清洗槽(2)的底部外侧；清洗槽(2)、气缸(6)分别安装于框架(1)上；气缸(6)通过圆柱齿条(7)、齿...