晶圆清洗用有机溶剂在线加热器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种包括加热内桶、隔热外罩和外丝式加热器的晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，加热内桶和隔热外罩由不锈钢材质焊接而成，隔热外罩套装在所述加热内容的外部，并在与加热内筒之间的缝隙内填充隔热棉；外丝式加热器用于为加热内桶中的有机溶剂加热，平行设置于所述加热内筒中。本实用新型专利技术利用外丝式加热器对有机溶剂加热，并设置有密封包覆加热丝的罩管，避免加热丝直接接触化学品，防止加热器老化，同时也防止避免污染有机溶剂，保障有机溶剂的洁净度。同时，在加热内桶外套装了隔热外罩，并在两者之间填充隔热棉，防止加热温度透出伤人，减少热量损失，提高了加热速率。

Organic solvent online heater for wafer cleaning

【技术实现步骤摘要】
晶圆清洗用有机溶剂在线加热器
本技术涉及晶圆清洗设备
，特别是指晶圆清洗用有机溶剂在线加热器。
技术介绍
晶圆在清洗过程中需要对化学有机溶剂加热，当前化学品加热是把电炉丝加热器直接放置在化学品中加热，或者是通过加热水，利用管路循环在化学品中间接加热，主要存在以下缺陷：1、直接投放加热器，加热器容易老化和损坏；2、加热器表面洁净度达不到要求，会给化学品造成污染，影响晶圆的良率或者直接报废；3、用水或者其他介质通过管路间接加热，消耗能耗大，湿度控制精度差，影响芯片生产良率或者直接报废。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷，提供一种晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，以解决上述问题。为解决上述技术问题，本技术的技术方案如下：晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，包括：加热内桶，由不锈钢材质焊接而成，其具有进液口和出液口；隔热外罩，由不锈钢材质焊接而成，其套装在所述加热内容的外部，并在与加热内筒之间的缝隙内填充隔热棉；外丝式加热器，用于为所述加热内桶中的有机溶剂加热，平行设置于所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，其特征在于，包括：/n加热内桶，由不锈钢材质焊接而成，其具有进液口和出液口；/n隔热外罩，由不锈钢材质焊接而成，其套装在所述加热内桶的外部，并在与加热内桶之间的缝隙内填充隔热棉；/n外丝式加热器，用于为所述加热内桶中的有机溶剂加热，平行设置于所述加热内桶中，其连接部位于所述隔热外罩的外部；/n不锈钢材质的罩管，其密封包覆在所述外丝式加热器的加热丝外部以阻隔加热丝接触有机溶剂；/n外丝式K型热电偶，用于监测所述加热内桶中的有机溶剂的温度，其安装于所述加热内桶中；/n不锈钢材质的罩壳，其密封包覆在外丝式K型热电偶的外部以阻隔K型热电偶接触有机溶剂。/n

【技术特征摘要】
1.晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，其特征在于，包括：
加热内桶，由不锈钢材质焊接而成，其具有进液口和出液口；
隔热外罩，由不锈钢材质焊接而成，其套装在所述加热内桶的外部，并在与加热内桶之间的缝隙内填充隔热棉；
外丝式加热器，用于为所述加热内桶中的有机溶剂加热，平行设置于所述加热内桶中，其连接部位于所述隔热外罩的外部；
不锈钢材质的罩管，其密封包覆在所述外丝式加热器的加热丝外部以阻隔加热丝接触有机溶剂；
外丝式K型热电偶，用于监测所述加热内桶中的有机溶剂的温度，其安装于所述加热内桶中；
不锈钢材质的罩壳，其密封包覆在外丝式K型热电偶的外部以阻隔K型热电偶接触有机溶剂。


2.根据权利要求1所述的晶圆清洗用有机溶剂在线加热器，其特征在于，所述隔热外罩对应所述进液口和出液...

【专利技术属性】
技术研发人员：王静强，周志刚，
申请(专利权)人：昆山基侑电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32