一种复合型载具及镀膜系统技术方案

本实用新型专利技术涉及薄膜制造技术领域，具体涉及一种复合型载具及镀膜系统。其中复合型载具包括，钛金属载具本体，其上具有至少一嵌入腔；内芯结构，适于嵌入所述嵌入腔内，且所述内芯结构由耐高温硬度比钛金属的硬度高的材料制成。采用钛金属载具本体以及内芯结构嵌入至嵌入腔内的方式，即能保证与衬底接触面的钛金属在高温下化学性质稳定的特点，防止与衬底发生化学反应，又能通过内芯结构的嵌入，提高载具的稳定性，防止载具在使用过程中发生变形。

【技术实现步骤摘要】
一种复合型载具及镀膜系统
本技术涉及薄膜制造
，具体涉及一种复合型载具及镀膜系统。
技术介绍
CIGS太阳能电池薄膜，是由Cu(铜)、In(铟)、Ga(镓)、Se(硒)四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶太阳能电池薄膜，具有光吸收能力强，发电稳定性好、转化效率高，白天发电时间长、发电量高、生产成本低以及能源回收周期短等优点，可采用镀膜设备进行制备。载具是CIGS镀膜设备使用到的衬底承载装置。载具的工作环境如图1所示，CIGS镀膜设备1内具有含有大量蒸镀粉尘的高温内部空间11，传输装置2，载具3和光电传感器组件4，载具3承载衬底沿部件传输方向进行输送，光电传感器组件4对载具3的传输位置进行检测。通常，应用载具3的环境其温度最高约600摄氏度，并且处于高真空状态(1pa以下)，并含有大量的硒蒸汽，在传输过程中载具3除了自重外，承载的玻璃重量约20kg。目前应用于量产线的载具一般由金属钛制成。金属钛支架具备良好的耐高温性能，在600摄氏度条件下极难与CIGS腔室内的铜铟镓硒或其他元素发生化学反应，具有化学稳定性好的优点。并且，金属钛的密度小重量轻的特点有利于传输过程中的稳定循环。另外金属钛常温下的疲劳耐性好，能够长时间的使用而不发生变形。但钛金属在使用过程中还存在以下问题，首先，在高温条件下，疲劳强度会下降，容易产生变形，导致玻璃跟随变形；其次钛金属的硬度较低，在产线以外运输时容易发生弯曲形变；另外，金属钛支架的制作成本非常高，远高于普通金属材质，且高温状态下具有吸附性，容易影响真空镀膜腔室；最后，钛金属本身的磁感应效果较差，不容易与磁感应装置结合使用。
技术实现思路
为了克服现有技术中载具易变形、成本高的缺陷，本技术提供了一种复合型载具及镀膜系统。本技术采用的技术方案如下：本技术提供了一种复合型载具，用于在镀膜装置内承载衬底，包括：钛金属载具本体，其上具有至少一嵌入腔；内芯结构，适于嵌入所述嵌入腔内，且所述内芯结构由硬度比钛金属的硬度高的材料制成。上述复合型载具中，所述钛金属载具本体包括：钛金属框架，其顶部用于承载衬底；钛金属底梁结构，位于所述钛金属框架底部，包括若干支撑梁，所述嵌入腔设置在至少一个所述支撑梁上。上述复合型载具中，所述钛金属框架为矩形框架；所述钛金属底梁结构包括：边缘横支撑梁，沿所述矩形框架的两宽边分别设有一根；纵支撑梁，沿所述矩形框架的两长边分别设有一根；中间横支撑梁，与所述边缘横支撑梁平行设置，且在两所述边缘横支撑梁之间至少设有一根。上述复合型载具中，所述内芯结构是空芯管材。作为优选，所述嵌入腔的横截面和所述空芯管材的横截面为相互配合的三角形；所述空芯管材的两端面具有氧化防腐涂层。作为优选，上述复合型载具中，所述内芯结构的材质为磁钢。作为优选，上述复合型载具中，所述空芯管材的端口处由透气且阻碍硒蒸汽进入的过滤器封口。所述过滤器为石墨导气活塞，所述石墨导气活塞表面具有若干透气并阻碍硒蒸汽进入所述空芯管材内部的通孔。本技术还提供了一种镀膜系统，包括上述的复合型载具。本技术的技术方案相比现有技术，具有如下优点：本技术提供的钛合金复合型载具，采用钛金属载具本体以及内芯结构嵌入至嵌入腔内的方式，即能保证与衬底接触面的钛金属在高温下化学性质稳定的特点，防止与衬底发生化学反应，又能通过内芯结构的嵌入，提高载具的稳定性，防止载具在使用过程中发生变形。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中镀膜设备结构示意图；图2为本技术实施例1中提供的载具的主视图；图3为本技术实施例1中提供的载具的俯视图；图4为本技术实施例1中提供的载具的左视图；图5为图1中A部分的放大图。附图标记说明：1-镀膜设备；2-传输装置；3-载具；4-光电传感器组件；11-内部空间；31-钛金属框架；32、34-边缘横支撑梁；33-中间横支撑梁；35-纵支撑梁；341-嵌入腔；342-内芯结构；343-石墨导气活塞。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。实施例1如图2-5所示，本实施例提供了一种复合型载具，包括：钛金属载具本体，其上具有至少一嵌入腔341；内芯结构342，适于嵌入所述嵌入腔341内，且所述内芯结构342由硬度比钛金属的硬度高的材料制成。本实施例中为了说明钛金属载具本体，以边缘横支撑梁34为例，其嵌入腔341、内芯结构342的结构方式并非限制本技术的内容，其结构方式也可以应用于其它边缘横支撑梁、中间横支撑梁以及纵支撑梁。在下文中提及的嵌入腔及内芯结构也不作为单独对边缘横支撑梁的限定。采用钛金属载具本体以及内芯结构嵌入至嵌入腔内的方式，由于钛金属在高温下化学性质稳定，即能防止载具与衬底发生化学反应，又能通过内芯结构的嵌入，提高载具的稳定性，防止载具在使用过程中发生变形。上述衬底可以是玻璃衬底，然而并非限制本专利技术，衬底还可以由适于镀膜的其余材质构成，例如不锈钢衬底等。作为优选的实施方式，上述复合型载具中，所述钛金属载具本体包括：钛金属框架31，其顶部用于承载衬底；钛金属底梁结构，位于所述钛金属框架31底部，包括若干支撑梁，所述嵌入腔341设置在至少一个所述支撑梁上。作为优选的实施方式，上述复合型载具中，所述钛金属框架31为矩形框架；所述钛金属底梁结构包括：边缘横支撑梁32、34，纵支撑梁35和中间横支撑梁33，其中边缘横支撑梁32、34，沿所述矩形框架的两宽边分别设有一根；纵支撑梁35，沿所述矩形框架的两长边分别设有一根；中间横支撑梁33，与所述边缘横支撑梁平行设置，且在两所述边缘横支撑梁之间至少设有一根。另外，并非限定本专利技术，所述钛金属底梁结构可根据复合型载具需加强的位置进行设置，例如所述钛金属底梁结构还可仅包括边缘横支撑梁32、34和中间横支撑梁33，或仅包括纵支撑梁35。作为优选的实施方式，上述复合型载具中，所述矩形框架由厚度约2-3mm的钛板材无缝拼接而成，由于钛金属焊接处理相对困难，所以除特别需要焊接处理的部位以外，直接采用拼接的方式组合。上述特别需要焊接处理的部位，可以是为了保证矩形框架承载衬底的顶部无突出点，且为了保证所述矩形框架连接强度，在边缘横支撑梁、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合型载具，用于在镀膜装置内承载衬底，其特征在于，包括：/n钛金属载具本体，其上具有至少一嵌入腔(341)；/n内芯结构(342)，适于嵌入所述嵌入腔(341)内，且所述内芯结构(342)由硬度比钛金属的硬度高的材料制成。/n

【技术特征摘要】
1.一种复合型载具，用于在镀膜装置内承载衬底，其特征在于，包括：
钛金属载具本体，其上具有至少一嵌入腔(341)；
内芯结构(342)，适于嵌入所述嵌入腔(341)内，且所述内芯结构(342)由硬度比钛金属的硬度高的材料制成。


2.根据权利要求1所述的复合型载具，其特征在于，
所述钛金属载具本体包括：
钛金属框架(31)，其顶部用于承载衬底；
钛金属底梁结构，位于所述钛金属框架(31)底部，包括若干支撑梁，所述嵌入腔设置在至少一个所述支撑梁上。


3.根据权利要求2所述的复合型载具，其特征在于，
所述钛金属框架(31)为矩形框架；
所述钛金属底梁结构包括:
边缘横支撑梁(32、34)，沿所述矩形框架的两宽边分别设有一根；
纵支撑梁(35)，沿所述矩形框架的两长边分别设有一根；
中间横支撑梁(33)，与所述边缘横支撑梁(32、34)平行设置，且在两所述边缘横支撑梁(32、34)之间至少设有一根。...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐义，胡振江，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11