一种离子束抛光机的腔体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种在腔体简单、快速、有效装取工件的离子束抛光机的腔体结构，包括安装架，安装架上设有的腔体，腔体上设有腔门，腔体上两侧设有竖直布置的滑轨，腔门滑动设置在滑轨上，安装架上设有驱动杆腔门上下滑动的第一气缸，腔体两侧内壁上相对设有一对水平内轨道，水平内轨道上活动置有物料托板，水平内轨道上设有卡槽，物料托板上设有与水平内轨道相配合的卡块，腔体内在物料托板下方设有托承物料托板的托架，安装架上设有竖直布置的直线滑轨，直线滑轨上设有升降座，安装架上设有驱动升降座的升降气缸，升降座上设有限位块，安装架上设有在升降座上行到设定位置时与限位块相配合的接近开关，升降座上两侧分别设有与腔体内壁位置相对应的侧板，侧板上设有与水平内轨道相配合的水平外轨道。

Cavity structure of an ion beam polishing machine

The utility model discloses a cavity structure of an ion beam polishing machine for simple, fast and effective loading of workpieces in the cavity, which comprises a mounting frame, a cavity arranged on the mounting frame, a cavity door arranged on the cavity body, a slide rail arranged vertically on both sides of the cavity body, the cavity door sliding arranged on the slide rail, a first cylinder for driving rod cavity door sliding up and down on the mounting frame, and an inner wall on both sides of the cavity body A pair of horizontal inner rails are arranged opposite to each other, on which a material support plate is movably arranged, a clamping groove is arranged on the horizontal inner rail, a clamp block matched with the horizontal inner rail is arranged on the material support plate, a bracket supporting the material support plate is arranged under the material support plate in the cavity, a straight-line slide rail arranged vertically is arranged on the mounting bracket, a lifting seat is arranged on the straight-line slide rail, and a driving lift is arranged on the mounting bracket For the lifting cylinder of the lower seat, the lifting seat is provided with a limited block, and the mounting frame is provided with a proximity switch which is matched with the limit block when the lifting seat moves up to the set position. The two sides of the lifting seat are respectively provided with side plates corresponding to the position of the inner wall of the chamber, and the side plates are provided with horizontal outer rails which are matched with the horizontal inner rails.

【技术实现步骤摘要】
一种离子束抛光机的腔体结构
本技术涉及一种离子束抛光机的腔体结构。
技术介绍
离子束抛光技术的基本原理是利用离子溅射原理，将宽束低能离子源发出的具有高斯形状的离子束轰击被加工零件表面，轰击过程中，当工件表面原子获得足够的能量可以摆脱表面束缚能时，就会脱离工件表面。去除高点误差，实现面形精度误差收敛。离子束抛光具有非接触式的材料去除方式，避免了加工过程中接触应力的产生，由于去除稳定以及纳米量级的材料去除，使得离子束抛光精度高，广泛应用于超精密光学元件加工过程中。离子束抛光机一般采用主副腔体形式的双腔体结构，便于提升离子束抛光机的利用效率。在离子束加工过程中，在腔体内进行工件的装进定位和取出十分不便。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：提供一种在腔体简单、快速、有效装取工件的离子束抛光机的腔体结构。为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案为：一种离子束抛光机的腔体结构，包括安装架，安装架上设有的腔体，腔体上设有腔门，腔体上两侧设有竖直布置的滑轨，腔门滑动设置在滑轨上，安装架上设有驱动杆腔门上下滑动的第一气缸，腔体两侧内壁上相对设有一对水平内轨道，水平内轨道上活动置有物料托板，水平内轨道上设有卡槽，物料托板上设有与水平内轨道相配合的卡块，腔体内在物料托板下方设有托承物料托板的托架，安装架上设有竖直布置的直线滑轨，直线滑轨上设有升降座，安装架上设有驱动升降座的升降气缸，升降座上设有限位块，安装架上设有在升降座上行到设定位置时与限位块相配合的接近开关，升降座上两侧分别设有与腔体内壁位置相对应的侧板，侧板上设有与水平内轨道相配合的水平外轨道。作为一种优选的方案，所述腔体上在开口处设有一圈密封条。作为一种优选的方案，所述腔体上在腔门向上运动的极限位置处设有与腔门上沿相配合的接近开关。作为一种优选的方案，所述安装架上在腔门向下运动的极限位置处设有与腔门下沿相配合的接近开关。本技术的有益效果是：本装置通过将物料放置在物料托板上，然后推动物料托板严水平外轨道向水平内轨道滑动，进入副腔体，方便工件在物料托板上准确定位且减少了物料装夹难度。且将腔门改为上下运动的结构大大减少了设备体积，方便了外部结构的设置。由于腔体上在开口处设有一圈密封条，可更好地保证腔体在工作时的密闭状态。由于腔体上在腔门向上运动的极限位置处设有与腔门上沿相配合的接近开关，可以确保腔门闭合准确。由于安装架上在腔门向下运动的极限位置处设有与腔门下沿相配合的接近开关，以确保腔门完全打开，避免物料托板拉出时与腔门碰撞。附图说明图1是本技术的主视结构示意图。图2是本技术的侧视结构示意图。图1至图2中：1.安装架，2.腔体，3.腔门，4.滑轨，5.第一气缸，6.接近开关，7.接近开关，8.密封条，9.水平内轨道，10.物料托板，11.直线滑轨，12.升降座，13.升降气缸，14.限位块，15.接近开关，16.侧板，17.水平外轨道，18.托架。具体实施方式下面结合附图，详细描述本技术的具体实施方案。如图1-2所示，一种离子束抛光机的腔体2结构，包括安装架1，安装架1上设有的腔体2，腔体2上设有腔门3，腔体2上两侧设有竖直布置的滑轨4，腔门3滑动设置在滑轨4上，安装架1上设有驱动杆腔门3上下滑动的第一气缸5，腔体2上在腔门3向上运动的极限位置处设有与腔门3上沿相配合的接近开关6。安装架1上在腔门3向下运动的极限位置处设有与腔门3下沿相配合的接近开关7。腔体2上在开口处设有一圈密封条8。腔体2两侧内壁上相对设有一对水平内轨道9，水平内轨道9上活动置有物料托板10，水平内轨道9上设有卡槽，物料托板10上设有与水平内轨道9相配合的卡块，腔体2内在物料托板10下方设有托承物料托板10的托架18，安装架1上设有竖直布置的直线滑轨11，直线滑轨11上设有升降座12，安装架1上设有驱动升降座12的升降气缸13，升降座12上设有限位块14，安装架1上设有在升降座12上行到设定位置时与限位块14相配合的接近开关15，升降座12上两侧分别设有与腔体2内壁位置相对应的侧板16，侧板16上设有与水平内轨道9相配合的水平外轨道17。上述的实施例仅例示性说明本专利技术创造的原理及其功效，以及部分运用的实施例，而非用于限制本技术；应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子束抛光机的腔体结构，包括安装架，安装架上设有的腔体，腔体上设有腔门，其特征在于：所述腔体上两侧设有竖直布置的滑轨，腔门滑动设置在滑轨上，安装架上设有驱动杆腔门上下滑动的第一气缸，腔体两侧内壁上相对设有一对水平内轨道，水平内轨道上活动置有物料托板，水平内轨道上设有卡槽，物料托板上设有与水平内轨道相配合的卡块，腔体内在物料托板下方设有托承物料托板的托架，安装架上设有竖直布置的直线滑轨，直线滑轨上设有升降座，安装架上设有驱动升降座的升降气缸，升降座上设有限位块，安装架上设有在升降座上行到设定位置时与限位块相配合的接近开关，升降座上两侧分别设有与腔体内壁位置相对应的侧板，侧板上设有与水平内轨道相配合的水平外轨道。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子束抛光机的腔体结构，包括安装架，安装架上设有的腔体，腔体上设有腔门，其特征在于：所述腔体上两侧设有竖直布置的滑轨，腔门滑动设置在滑轨上，安装架上设有驱动杆腔门上下滑动的第一气缸，腔体两侧内壁上相对设有一对水平内轨道，水平内轨道上活动置有物料托板，水平内轨道上设有卡槽，物料托板上设有与水平内轨道相配合的卡块，腔体内在物料托板下方设有托承物料托板的托架，安装架上设有竖直布置的直线滑轨，直线滑轨上设有升降座，安装架上设有驱动升降座的升降气缸，升降座上设有限位块，安装架上设有在升降座上行到设定位置时与限位块相配合的接...

【专利技术属性】
技术研发人员：施春燕，
申请(专利权)人：苏州至臻精密光学有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32