一种研磨调节装置及研磨装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供了一种研磨调节装置及研磨装置，涉及半导体领域。研磨调节装置包括气源、控制单元、第一支路、第二支路、第一开关阀及第二开关阀，控制单元用于在固定组件工作时，控制第一开关阀开启并控制第二开关阀关闭，使气源与固定组件连通；控制单元用于在补正组件工作时，控制第二开关阀开启并控制第一开关阀开启，使气源与补正组件连通。在本发明专利技术中，固定组件与补正组件分别通过第一支路及第二支路与气源连接，二者之间相互独立工作，工作过程互不影响，从而提高了调节效果。

A grinding adjusting device and grinding device

【技术实现步骤摘要】
一种研磨调节装置及研磨装置
本专利技术涉及半导体领域，具体而言，涉及一种研磨调节装置及研磨装置。
技术介绍
TFT－LCD(液晶显示屏)玻璃基板在研磨机研磨过程中，补正、卸载原先是一路控制，产品在卸载时因吹气量过大，造成产品在搬运爪上发生偏移，引起G2研磨时，出现产品偏移较大，补正时容易产生补正不到位的现象，导致其对玻璃基板的调节效果较差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供了一种研磨调节装置和研磨装置，其能够提高对玻璃基板的调节精度。本专利技术的实施例可以这样实现：第一方面，本专利技术实施例提供一种研磨调节装置，包括：气源、控制单元、第一支路、第二支路、第一开关阀及第二开关阀，所述第一开关阀安装在所述第一支路上，所述第二开关阀安装在所述第二支路上，所述第一支路与所述第二支路均与所述气源连接，所述第一支路远离所述气源的一端与一固定组件连接，所述第二支路远离所述气源的一端与一补正组件连接，所述控制单元与所述第一开关阀及所述第二开关阀电连接；其中所述固定组件用于固定玻璃基板，所述补正组件用于调整玻璃基板的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种研磨调节装置，其特征在于，包括：气源、控制单元、第一支路、第二支路、第一开关阀及第二开关阀，所述第一开关阀安装在所述第一支路上，所述第二开关阀安装在所述第二支路上，所述第一支路与所述第二支路均与所述气源连接，所述第一支路远离所述气源的一端与一固定组件连接，所述第二支路远离所述气源的一端与一补正组件连接，所述控制单元与所述第一开关阀及所述第二开关阀电连接；其中所述固定组件用于固定玻璃基板，所述补正组件用于调整玻璃基板的位置；/n所述控制单元用于在所述固定组件工作时，控制所述第一开关阀开启并控制所述第二开关阀关闭，使所述气源与所述固定组件连通；/n所述控制单元用于在所述补正组件工作时，控制...

【技术特征摘要】
1.一种研磨调节装置，其特征在于，包括：气源、控制单元、第一支路、第二支路、第一开关阀及第二开关阀，所述第一开关阀安装在所述第一支路上，所述第二开关阀安装在所述第二支路上，所述第一支路与所述第二支路均与所述气源连接，所述第一支路远离所述气源的一端与一固定组件连接，所述第二支路远离所述气源的一端与一补正组件连接，所述控制单元与所述第一开关阀及所述第二开关阀电连接；其中所述固定组件用于固定玻璃基板，所述补正组件用于调整玻璃基板的位置；
所述控制单元用于在所述固定组件工作时，控制所述第一开关阀开启并控制所述第二开关阀关闭，使所述气源与所述固定组件连通；
所述控制单元用于在所述补正组件工作时，控制所述第二开关阀开启并控制所述第一开关阀开启，使所述气源与所述补正组件连通。


2.根据权利要求1所述的研磨调节装置，其特征在于，所述第二支路包括主路、第一分路及第二分路，所述主路的一端与所述气源连接，所述第一分路及所述第二分路并联后与所述主路连通，所述第二开关阀设置在所述主路上，所述第一分路及所述第二分路分别与一所述补正组件连接。


3.根据权利要求2所述的研磨调节装置，其特征在于，所述第一分路上设置有第一单向阀。


4.根据权利要求2所述的研磨调节装置，其特征在于，所述第二分路上设置有第二单向阀。


5.根据权利要求1所述的研磨调节装置，其特征在于，所述研磨调节装置还包括减压控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：付丽丽，
申请(专利权)人：彩虹合肥液晶玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34