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本发明的实施例提供了一种研磨调节装置及研磨装置，涉及半导体领域。研磨调节装置包括气源、控制单元、第一支路、第二支路、第一开关阀及第二开关阀，控制单元用于在固定组件工作时，控制第一开关阀开启并控制第二开关阀关闭，使气源与固定组件连通；控制单元...
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