一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构技术方案

本实用新型专利技术公开了一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，包括防护侧板，所述防护侧板的底端外表面靠近四角位置均固定安装有支撑滑道，四个所述支撑滑道之间通过螺栓固定安装有安装板，且信息反馈处理箱的底端外表面固定安装有两个信息反馈处理箱。本实用新型专利技术所述的一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，对水路系统进行合理的安装与摆放，使得水路系统整体的结构更加紧密，能够更加充分的利用空间，从而减少设备的空间，在防护侧板的底端安装四个支撑滑道，将引导柱安装在碳化硅电阻法设备的一侧，使得水路系统能够与碳化硅电阻法设备相对滑动，方便将水路系统从碳化硅电阻法设备的一侧拉出，当修理时，同时手动将水路系统向外拉，便可以对水路系统进行更换与修理。

Water system structure of a resistance silicon carbide long crystal device

【技术实现步骤摘要】
一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构
本技术涉及碳化硅制备领域，特别涉及一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构。
技术介绍
碳化硅晶体结晶工艺就是将高纯碳化硅原料在坩埚中升华，气化，在特定籽晶上重新完成结晶、扩径和退火处理等程序最终得到碳化硅晶体，电阻法碳化硅长晶设备水系统结构是一种用于对碳化硅电阻法设备水冷降温的装置；现有的碳化硅电阻法设备电阻法碳化硅长晶设备水系统结构在存在一定的弊端，（1）现有的电阻法碳化硅长晶设备水系统结构体积较大，使用与摆放时都需要占用大量的空间，且水路系统内部的各个部件安装位置不合理，从而增大碳化硅电阻法设备体积；（2）在对现有的碳化硅电阻法设备中的水路系统进行修理时，由于水路系统内部部件与管道相互重叠摆放，给修理与检测带来一定的不便，其次，由于现有的水路系统安装在碳化硅电阻法设备的多个位置，使用修理难度进一步加大；（3）现有的水路系统内部管道的连接方式，是通过法兰或者内外螺纹进行连接，由于水路系统使用时水流冲击力较大，带动连接处的内外路螺纹一起振动，使得内外螺纹之间发生相对旋转，最终发生分离，影响碳化硅电阻法设备本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，包括防护侧板（1），所述防护侧板（1）的底端外表面靠近四角位置均固定安装有支撑滑道（2），四个所述支撑滑道（2）之间通过螺栓固定安装有安装板（3），且安装板（3）的底端外表面固定安装有两个信息反馈处理箱（4），所述安装板（3）的底端外表面靠近信息反馈处理箱（4）的位置固定安装有进出总管（5），其特征在于：四个所述支撑滑道（2）的外表面均通过滑轨活动安装有引导柱（8），且引导柱（8）与支撑滑道（2）之间设有多个滚轮。/n

【技术特征摘要】
1.一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，包括防护侧板（1），所述防护侧板（1）的底端外表面靠近四角位置均固定安装有支撑滑道（2），四个所述支撑滑道（2）之间通过螺栓固定安装有安装板（3），且安装板（3）的底端外表面固定安装有两个信息反馈处理箱（4），所述安装板（3）的底端外表面靠近信息反馈处理箱（4）的位置固定安装有进出总管（5），其特征在于：四个所述支撑滑道（2）的外表面均通过滑轨活动安装有引导柱（8），且引导柱（8）与支撑滑道（2）之间设有多个滚轮。


2.根据权利要求1所述的一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，其特征在于：所述防护侧板（1）的底端外表面靠近一侧位置固定安装有多个连接管（6），且连接管（6）的内部焊接有内管（13），所述内管（13）的内部沿中心轴线方向贯穿开设有预留槽，预留槽的内表面靠近后端位置设有内螺纹，所述连接管（6）的内表面与内管（13）的外表面之间通过弹簧活动安装有对接销（10），且对接销（10）的外表面沿中心轴线方向等间距焊接有八个防滑凸起（11），所述连接管（6）的外表面两侧位置均开设有引导槽，所述对接销（10）的外表面靠近引导槽的内表面位置焊接有连接杆（12），所述连接管（6）通过预留槽内表面的内螺纹活动安装有对接管（9）,且对接管（9）的外表面远离连接管（6）的一侧位置焊接有进水分水管（7）。


3.根据权利要求1所述的一种电阻法碳化硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：周元辉，刘春艳，张明福，胡春霞，刘洪亮，刘洪涛，范子龙，高雅蕾，姜树炎，
申请(专利权)人：苏州优晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32