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本实用新型公开了一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，包括防护侧板，所述防护侧板的底端外表面靠近四角位置均固定安装有支撑滑道，四个所述支撑滑道之间通过螺栓固定安装有安装板，且信息反馈处理箱的底端外表面固定安装有两个信息反馈处理箱。本实用新型所...
该专利属于苏州优晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州优晶光电科技有限公司授权不得商用。

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