一种激光光束准直的判断方法及采用该方法的剪切干涉仪技术

本发明专利技术涉及光学测量领域，具体涉及一种激光光束准直的判断方法，该方法采用分束立方体形成干涉光斑，并通过调节分束立方体不同入射面的剪切量改变相交的光束相位，并通过干涉光斑是否旋转即可判断光斑的准直或发散，有效的简化了判断流程，其相应的剪切干涉仪也仅通过一个分束立方体调节相应光路，简化了仪器结构，使得对激光光束的准直判断更为简单而直观。

A judgment method of laser beam collimation and a shearing interferometer using this method

The invention relates to the field of optical measurement, in particular to a judgment method of laser beam collimation, which uses a beam splitting cube to form an interference spot, and changes the phase of the intersecting beam by adjusting the shearing amount of different incident surfaces of the beam splitting cube, and judges the collimation or divergence of the spot by whether or not the interference spot rotates, effectively simplifying the judgment process, and the corresponding shearing The interferometer only adjusts the corresponding optical path through a beam splitting cube, which simplifies the structure of the instrument and makes the judgment of laser beam collimation more simple and intuitive.

【技术实现步骤摘要】
一种激光光束准直的判断方法及采用该方法的剪切干涉仪
本专利技术涉及光学测量领域，具体而言，涉及一种激光光束准直的判断方法及采用该方法的剪切干涉仪。
技术介绍
激光干涉仪测量系统能够对机器和其他对位置精度要求高的系统进行完整的校准，可以精确地测量各种几何尺寸和动态机器特性，在科研和工程研究领域具有广泛的应用。在实际应用过程中，由于激光光束路径与运动轴之间的准直偏差，导致测量距离与实际移动距离之间存在误差，此误差的大小与激光光束和运动轴之间的准直偏差角有关，通常称之为余弦误差。测量时，随着激光行程的增大，余弦误差将被逐渐放大，激光干涉仪的准直偏差对测量精度有极大的影响，为了减少准直偏差带来的测量误差，对激光光束是否准直的判断对降低测量误差至关重要。目前判断激束的准直，主要有以下几种方法：一、采用四象限探测器结合运算电路检测出激光点的偏移量，因为激光点在不同位置测得的偏移量也是不同的，这种方式需要反复多次调节才能进行判断，操作繁琐且校准效果差；二、采用PSD实时检测激光点测量光斑的漂移位移，但是目前大多数激光干涉仪并没有开放二次开发接口，很难本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光光束准直的判断方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1.将待测光束的光轴指向分束立方体，所述分束立方体将所述待测光束分割且形成干涉后透射到成像设备，使成像设备采集到干涉光斑；/nS2.改变所述分束立方体的第一入射面与第二入射面对所述待测光束的剪切量；/nS3.观察所述成像设备中所述干涉光斑是否旋转，若所述干涉光斑不旋转则所述待测光束准直，若所述干涉光斑旋转则所述待测光束发散。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光光束准直的判断方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1.将待测光束的光轴指向分束立方体，所述分束立方体将所述待测光束分割且形成干涉后透射到成像设备，使成像设备采集到干涉光斑；
S2.改变所述分束立方体的第一入射面与第二入射面对所述待测光束的剪切量；
S3.观察所述成像设备中所述干涉光斑是否旋转，若所述干涉光斑不旋转则所述待测光束准直，若所述干涉光斑旋转则所述待测光束发散。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S1包括：
S11.所述待测光束被所述第一入射面和所述第二入射面折射后分割为第一入射光和第二入射光；
S12.所述第一入射光和所述第二入射光分别指向分束面的相对两个表面；所述第一入射光被分束面折射和反射后分离为第一折射光和第一反射光；所述第二入射光被分束面折射和反射后分离为第二折射光和第二反射光；
S13.所述第一折射光与所述第二反射光交汇在第二出射面后折射至成像设备；所述第一反射光与所述第二折射光交汇在第一出射面后折射至成像设备。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中改变所述分束立方体的第一入射面与第二入射面的剪切量具体包括：
S21.沿水平方向平移所述分束立方体，改变所述待测光束在所述第一入射面与所述第二入射面上的照射面积。


4.根据权利要求2所述的方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：林亮，郭春雷，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22