The invention discloses a heat preservation device for a hot field crucible and its use method, which comprises a furnace body, a top cover, a base and a mounting plate. The top end of the furnace body is connected with a top cover, the bottom end of the furnace body is fixedly connected with a base, the outer side of the base is fixedly connected with a mounting plate, the upper end surface of the mounting plate is fixedly installed with a cylinder, the upper end surface of the mounting plate is also installed with a screw rod, and the lower end surface of the mounting plate The square is respectively provided with a moving wheel and a suction cup, the air cylinder and the screw rod are respectively connected with the moving wheel and the suction cup, the air cylinder, the screw rod, the moving wheel and the suction cup are all provided with a plurality of groups, the furnace body is internally provided with a receiving space, the furnace body is respectively provided with a central shaft, a tray seat, a crucible body, a heat preservation cylinder group, a heater and a heat screen, the bottom end of the central shaft is connected with the base through the furnace body, and the bottom end of the central shaft is connected with the base through the furnace body The central shaft is located at the center of the top of the base. The heat preservation device of the heat field crucible and its use method are reasonable in design, convenient in use and have the advantages of good heat preservation.
【技术实现步骤摘要】
一种热场坩埚保温装置及其使用方法
本专利技术属于热场坩埚
,具体涉及一种热场坩埚保温装置及其使用方法。
技术介绍
热场就是热系统。在机械中一般指单晶炉热场,就是单晶炉中的热系统。坩埚是化学仪器的重要组成部分,它是熔化和精炼金属液体以及固液加热、反应的容器,是保证化学反应顺利进行的基础。保温装置是制备一些半导体材料时所用的热场坩埚的重要组成部分。目前热场坩埚都是通过外部包有石墨保温筒进行保温,但是石墨材料易于急冷急热,从而易变形开裂,且石墨材料耐高温系数低,保温效果较差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种热场坩埚保温装置及其使用方法,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种热场坩埚保温装置,包括炉体、顶盖、底座和安装板,所述炉体顶端连接有顶盖,所述炉体底端固定连接有底座,所述底座外侧固定连接有安装板,所述安装板上端面固定安装有气缸,所述安装板上端面还安装有丝杆,所述安装板下方分别设有移动轮、吸盘,所述气缸、丝杆分别与移动轮、吸盘连接,所 ...
【技术保护点】
1.一种热场坩埚保温装置,包括炉体(1)、顶盖(2)、底座(7)和安装板(5),其特征在于:所述炉体(1)顶端连接有顶盖(2),所述炉体(1)底端固定连接有底座(7),所述底座(7)外侧固定连接有安装板(5),所述安装板(5)上端面固定安装有气缸(4),所述安装板(5)上端面还安装有丝杆(25),所述安装板(5)下方分别设有移动轮(6)、吸盘(26),所述气缸(4)、丝杆(25)分别与移动轮(6)、吸盘(26)连接,所述气缸(4)、丝杆(25)、移动轮(6)和吸盘(26)均设有多组,所述炉体(1)内部具有一个收容空间,所述炉体(1)内分别设有中轴(8)、托盘座(9)、坩埚本 ...
【技术特征摘要】
1.一种热场坩埚保温装置,包括炉体(1)、顶盖(2)、底座(7)和安装板(5),其特征在于:所述炉体(1)顶端连接有顶盖(2),所述炉体(1)底端固定连接有底座(7),所述底座(7)外侧固定连接有安装板(5),所述安装板(5)上端面固定安装有气缸(4),所述安装板(5)上端面还安装有丝杆(25),所述安装板(5)下方分别设有移动轮(6)、吸盘(26),所述气缸(4)、丝杆(25)分别与移动轮(6)、吸盘(26)连接,所述气缸(4)、丝杆(25)、移动轮(6)和吸盘(26)均设有多组,所述炉体(1)内部具有一个收容空间,所述炉体(1)内分别设有中轴(8)、托盘座(9)、坩埚本体(10)、保温筒组(11)、加热器(12)和热屏(27),所述中轴(8)底端穿过炉体(1)与底座(7)连接,所述中轴(8)位于底座(7)顶端中心位置,所述中轴(8)与底座(7)呈直角结构布置,所述中轴(8)顶端固定连接有托盘座(9),所述托盘座(9)顶端连接有坩埚本体(10),所述坩埚本体(10)与炉体(1)内壁之间分别设有保温筒组(11)、加热器(12),所述保温筒组(11)、加热器(12)底端均与炉体(1)底端内壁固定连接,所述炉体(1)外侧固定套置有保温套(3),所述坩埚本体(10)包括第一坩埚体(20)、连接层(21)、第二坩埚体(22)和固定件(24),所述坩埚本体(10)底端与安装座(23)固定连接,所述保温筒组(11)包括第一保温筒(16)、第二保温筒(17)和第三保温筒(18)。
2.根据权利要求1所述的一种热场坩埚保温装置,其特征在于:所述炉体(1)、底座(7)均为圆柱形结构,所述炉体(1)设于底座(7)的正上方,所述安装板(5)为圆形板状结构,所述安装板(5)上开设有安装孔,所述安装板(5)固定套置在底座(7)上,所述安装板(5)所在平面与底座(7)所在平面平行。
3.根据权利要求1所述的一种热场坩埚保温装置,其特征在于:所述气缸(4)与推杆连接,推杆顶端穿过安装板(5)与气缸(4)底端连接,推杆底端与移动轮(6)固定连接,所述丝杆(25)穿过安装板(5)与吸盘(26)固定连接,所述丝杆(25)与气缸(4)间隔设置。
4.根据权利要求1所述的一种热场坩埚保温装置,其特征在于:所述托盘座(9)、坩埚本体(10)均设于加热器(12)内,所述中轴(8)...
【专利技术属性】
技术研发人员:王振国,
申请(专利权)人:大同新成新材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:山西;14
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