The utility model discloses a high-temperature heating deposition platform for chemical vapor deposition, which solves the problems of the existing high-temperature heating deposition platform for chemical vapor deposition that the reaction temperature can not meet the requirements of the reaction conditions, the applicability is relatively narrow, and the temperature and reaction time of chemical reaction need to be manually recorded, which is not easy to observe and record, including the can body, the The bottom end of the can body is provided with a base, one side of the bottom end of the base is provided with an air outlet, one side of the top end of the can body is hinged with a barrel cover, the external side of the can body is provided with a switch, and one side of the switch is provided with a display screen. The utility model is reasonable in design, easy to use, can provide a high temperature and stable and safe environment, can meet the high temperature environment required by some gases in chemical reaction, and can increase sedimentation The applicability of the accumulation table. The display screen and keys are installed on the outside of the can body to facilitate the control and observation of reaction time and reaction temperature without manual recording.
【技术实现步骤摘要】
一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台
本技术涉及化学气相沉积
，具体为一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台。
技术介绍
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制，目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域，现有的化学气相沉积的高温加热沉积台提供反应温度达不到反应发生条件的需求，适用性比较窄的问题，以及化学反应的温度与反应时间需要人工记录，不便于观察和记录的问题。所以，如何设计一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台，成为我们当前要解决的问题。
技术实现思路
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提...
【技术保护点】
1.一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台，包括桶体(1)，其特征在于：所述桶体(1)底端安装有底座(2)，底座(2)底端一侧开设有出气孔(3)，桶体(1)顶端一侧铰接有桶盖(4)，桶体(1)外部一侧安装有开关(5)，开关(5)一侧安装有显示屏(6)，显示屏(6)一侧安装有按键(7)，桶体(1)内部安装有沉积组件(8)，桶体(1)、开关(5)、显示屏(6)、按键(7)和沉积组件(8)均与市电电性连接，桶体(1)、显示屏(6)、按键(7)和沉积组件(8)均与开关(5)电性连接。/n
【技术特征摘要】
20190211 CN 201920189866X1.一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台，包括桶体(1)，其特征在于：所述桶体(1)底端安装有底座(2)，底座(2)底端一侧开设有出气孔(3)，桶体(1)顶端一侧铰接有桶盖(4)，桶体(1)外部一侧安装有开关(5)，开关(5)一侧安装有显示屏(6)，显示屏(6)一侧安装有按键(7)，桶体(1)内部安装有沉积组件(8)，桶体(1)、开关(5)、显示屏(6)、按键(7)和沉积组件(8)均与市电电性连接，桶体(1)、显示屏(6)、按键(7)和沉积组件(8)均与开关(5)电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台，其特征在于：所述沉积组件(8)包括旋转杆(81)、托盘(82)、第一发热体(83)、发热电极(84)、陶瓷垫片(85)、衬底(86)和盒盖(87)，旋转杆(81)顶端固定有托盘(82)，托盘(82)顶端中部安装有第一发热体(83)，第一发热体(83)一侧固定有发热电极(84)，第一发热体(83)顶端固定有陶瓷垫片(85)，陶瓷垫片(85)顶端安装有衬底(86)，托盘(82)顶端安装有盒盖(87)，旋转杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宇，严丽红，
申请(专利权)人：张家港迪源电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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