温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于化学气相沉积的高温加热沉积台，解决了现有的化学气相沉积的高温加热沉积台提供反应温度达不到反应发生条件的需求，适用性比较窄的问题，以及化学反应的温度与反应时间需要人工记录，不便于观察和记录的问题，其包括桶体，所述桶体底...
该专利属于张家港迪源电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过张家港迪源电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。