【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到一种阀门结构，尤其涉及到一种运用于晶圆反应室的气体通道上，可快速可靠关闭其气体通道，有利于控制反应室内的压力或气体的含量的一种晶圆反应室的阀门结构。
技术介绍
晶圆反应室内的压力、温度、灰尘含量或其必要气体的含量，需要有相当精准的控制才可在制造产品时得到较佳的品质与良率，其中控制反应室的气体通道即为相当重要的一环，一般反应室的气体通道阀门都是具精密的设计且造价昂贵，其最主要的目的就是要能精准的控制反应室内的压力、温度、灰尘含量或其必要气体的含量等，以期能得到较佳的品质与优良率进一步降低其制造成本增加获利。而由于一般晶圆反应室内含的气体许多是具有强碱性或强酸性等腐蚀性强的气体，因此其需要以特殊的材质将阀门整个包覆而造成此种阀门造价昂贵，但此阀门往往经一段时间使用后即仍会遭到腐蚀不堪使用而需要更换的，从而增加了生产成本。有鉴于上述现有的晶圆反应室的阀门结构存在的缺陷，本设计人基于丰富的实务经验及专业知识，积极加以研究创新，经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本技术。
技术实现思路
本技术的目的在于通过提供一种晶圆反应室的阀门结...
【技术保护点】
一种晶圆反应室的阀门结构，其具有一设置于晶圆反应室的气体通道上且内具一容室的一箱体，该箱体与气体通道形成密闭设置，其特征在于：该容室内滑动设置有一阀门装置，以及箱体外设置有可驱动阀门装置的一动作装置，该阀门装置包括： 一滑动板，该滑动板相对两端设置有至少两滚轮，使滑动板以可往复滑动方式设置于箱体内，且滑动板上端与动作装置固接，又滑动板一侧壁面上环状间格设置有分别以第一槽与第二槽共同组成至少两轨道，且第一槽与第二槽形成有高、低位差； 一动作板，此动作板枢设于滑动板设置有轨道的一侧壁面上，动作板对应各轨道分别设置有一钢珠座，且钢珠座与轨道间设置有一钢珠，使钢珠一端枢...
【技术特征摘要】
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