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本实用新型公开了一种晶圆反应室的阀门结构，该结构具有与气体通道密闭设置的箱体，而箱体的容室滑动设置一阀门装置，箱体外设置有可驱动阀门装置的一动作装置，其中阀门装置具有一滑动板，此滑动板一侧壁面环设有以第一槽与第二槽共同组成的轨道，且此一侧壁...
该专利属于吴维岳所有，仅供学习研究参考，未经过吴维岳授权不得商用。

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