无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪制造技术

一种无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪，涉及石墨烯薄膜方块电阻测试技术领域。探针包括导电针体和导电弹性针头，其中，导电弹性针头与导电针体的一端部连接且导电弹性针头与导电针体之间能够导电，以使导电弹性针头与薄层材料接触时，导电弹性针头能够产生形变以防止破坏薄层材料。无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪，适用于对石墨烯薄膜及纳米级薄膜进行方块电阻测试，尤其适合对生长或转移到基底上的石墨烯薄膜进行无损、稳定、可重复的准确检测，同时也适合推广到其它薄膜材料的电导检测。

Probe, probe and measuring instrument for nondestructive measurement of block resistance of graphene film

The invention relates to a probe, a probe and a measuring instrument for nondestructive measuring the block resistance of graphene film, which relates to the technical field of testing the block resistance of graphene film. The probe comprises a conductive needle body and a conductive elastic needle head, wherein the conductive elastic needle body is connected with one end of the conductive needle body and the conductive elastic needle body can conduct electricity between the conductive elastic needle body and the conductive needle body, so that when the conductive elastic needle head contacts with the thin layer material, the conductive elastic needle head can generate deformation to prevent damage to the thin layer material. The probe, probe and measuring instrument for nondestructive measurement of the block resistance of graphene film are suitable for testing the block resistance of graphene film and nano film, especially for nondestructive, stable and repeatable accurate detection of graphene film grown or transferred to the substrate, and also suitable for promoting the conductivity detection of other film materials.

【技术实现步骤摘要】
无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪
本技术涉及石墨烯薄膜方块电阻测试
，具体而言，涉及无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪。
技术介绍
石墨烯(Graphene)是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的二维碳纳米薄膜材料，具有高机械强度(高达1TPa的拉伸模量和130GPa的断裂强度)、高透光性(几乎透明，仅吸收2.3％的光)、高导热性(热导率高达5000W/m·K)、高电导性(电导率高达106S/m)，其优异的电学性质是石墨烯材料在电子领域应用的最关键因素之一。然而，由于制备方法与转移技术等工艺的差异，导致石墨烯薄膜的导电性能参数(方块电阻和电阻率)存在很大的差异。因此，精确、稳定测定石墨烯薄膜导电性能参数具有很强的实际应用价值。目前，较常用于测量薄膜电导的方法主要为接触式金属四探针法，探针为硬质金属，在测试能够承受一定压力且损伤不明显或可以忽略的薄膜材料时，可以使测试过程顺利进行，并保证测试数据具有一定的准确性和重复性；但在测试纳米级石墨烯薄膜类型材料时，硬质金属探头压下的机械压力较大，对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针，其特征在于，包括：/n导电针体；/n导电弹性针头，所述导电弹性针头与所述导电针体的一端部连接且所述导电弹性针头与所述导电针体之间能够导电，以使所述导电弹性针头与所述石墨烯薄膜接触时，所述导电弹性针头能够产生形变以防止破坏所述石墨烯薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针，其特征在于，包括：
导电针体；
导电弹性针头，所述导电弹性针头与所述导电针体的一端部连接且所述导电弹性针头与所述导电针体之间能够导电，以使所述导电弹性针头与所述石墨烯薄膜接触时，所述导电弹性针头能够产生形变以防止破坏所述石墨烯薄膜。


2.根据权利要求1所述的无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针，其特征在于，所述导电弹性针头与所述导电针体同轴连接。


3.根据权利要求1所述的无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针，其特征在于，还包括能够导电的固定件，所述导电弹性针头经所述固定件与所述导电针体连接。


4.根据权利要求3所述的无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针，其特征在于，所述固定件与所述导电针体连接，所述固定件远离所述导电针体的一端开设有安装孔，所述导电弹性针头的一端嵌设于所述安装孔内，另一端伸出所述安装孔。


5.根据权利要求1-4任一项所述的无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针，其特征在于，导...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨永强，丁海龙，程小豹，金玲，
申请(专利权)人：江苏省特种设备安全监督检验研究院，苏州晶格电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32