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一种无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪，涉及石墨烯薄膜方块电阻测试技术领域。探针包括导电针体和导电弹性针头，其中，导电弹性针头与导电针体的一端部连接且导电弹性针头与导电针体之间能够导电，以使导电弹性针头与薄层材料接触时，导电弹...该专利属于江苏省特种设备安全监督检验研究院;苏州晶格电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏省特种设备安全监督检验研究院;苏州晶格电子有限公司授权不得商用。