The utility model discloses a support and auxiliary positioning device of an optical element surface shape precise integration component, and an optical element surface shape precise integration component. The supporting and auxiliary positioning device of the optical element surface shape precise integrated component includes a supporting device and an auxiliary positioning device, the supporting device is used to be sleeved on the periphery of the optical element to support the optical element, and the auxiliary positioning device is used to be sleeved on the supporting device and the optical element to position the optical element. The surface shape precise integration component of the optical element of the utility model ensures the accuracy and uniformity of the thickness of the glue layer at different distribution positions through the cooperation of the auxiliary positioning device and the support device, and ensures the accuracy after the integration of the optical element through the precise processing, with fewer processing elements, fewer core key processing surfaces and dimensions, which is conducive to ensuring the accuracy, high operability and high realization After the integration of precision optical elements, the precision has zero loss, which provides strong support for the mass production of advanced optical systems.
【技术实现步骤摘要】
光学元件面形精准集成组件、及其支撑和辅助定位装置
本技术涉及光学元件定位装调领域,尤其涉及一种光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置、光学元件面形精准集成组件。
技术介绍
光学元件面形精准集成组件在先进光学系统集成等领域中的应用愈发广泛。随着人类探索领域不断地向更加微观的领域前进,对先进光学系统提出了越来越高的需求,一方面:对光学元件精度要求高,如应用在基因测序仪、光刻机、晶元缺陷检测等领域的先进光学系统,均对光学元件单面面形提出了1/100~1/500波长(常规系统光学元件单面面形1/5~1/20波长),精度相对常规系统提升至少20倍,元件集成带来的精度损失在常规系统中可以不予考虑,但是对于上述高精度显微先进光学系统,缺失是毁灭性的。另一方面:在保证高精度的同时,还要兼备高性价比适合批量化生产。传统的光学元件面形精准集成组件中,其柔性连接通常采用弹片窄缝等柔性机构,或多种柔性装置组合构成,装置复杂,成本高,难以应用在批量化生产制造当中。因此,需要设计创新型的柔性连接机构,同时对高效、高性价比、具备可操作和实施性的光学元件面形精准集成组件提出了迫切需求。现有面形精准集成组件通常包含两个部分,镜框和柔性连接部分,柔性连接部分通常采用,弹片窄缝等柔性机构,或多种柔性装置组合构成,装置复杂,为了实现面形保持功能,在机械加工和装调集成环节付出很大代价,成本高,耗时长,难以应用在批量化生产制造当中。
技术实现思路
本技术旨在克服现有高精度光学组件中光学元件与镜框之间的柔性连接部分的装置复杂 ...
【技术保护点】
1.一种光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置,其特征在于:所述光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置包括支撑装置及辅助定位装置,所述支撑装置用于套设于光学元件外围支撑所述光学元件,所述辅助定位装置用于套设在所述支撑装置及所述光学元件上以定位所述光学元件,所述支撑装置包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部,所述元件支撑部用于支撑、放置所述光学元件,所述连接部用于套设于所述光学元件外围且包括邻近所述光学元件的第一内侧面及连接所述第一内侧面的注胶孔,所述注胶孔用于注入胶体使得所述第一内侧面与所述光学元件之间形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层;/n所述辅助定位装置包括定位部及第一延伸部,所述定位部用于设置于所述连接部上且套设并抵接所述光学元件的外侧面,所述第一延伸部连接所述定位部远离所述光学元件的一端且套设并抵接所述连接部的第一外侧面。/n
【技术特征摘要】
1.一种光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置,其特征在于:所述光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置包括支撑装置及辅助定位装置,所述支撑装置用于套设于光学元件外围支撑所述光学元件,所述辅助定位装置用于套设在所述支撑装置及所述光学元件上以定位所述光学元件,所述支撑装置包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部,所述元件支撑部用于支撑、放置所述光学元件,所述连接部用于套设于所述光学元件外围且包括邻近所述光学元件的第一内侧面及连接所述第一内侧面的注胶孔,所述注胶孔用于注入胶体使得所述第一内侧面与所述光学元件之间形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层;
所述辅助定位装置包括定位部及第一延伸部,所述定位部用于设置于所述连接部上且套设并抵接所述光学元件的外侧面,所述第一延伸部连接所述定位部远离所述光学元件的一端且套设并抵接所述连接部的第一外侧面。
2.根据权利要求1所述的光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置,其特征在于:所述连接部还包括第一外侧面,所述连接部的第一外侧面与所述连接部的第一内侧面相背设置,所述注胶孔贯穿所述连接部的所述第一内侧面与所述第一外侧面;所述注胶孔的数量为至少两个,所述至少两个注胶孔均匀分布在所述第一内侧面上。
3.根据权利要求1所述的光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置,其特征在于:所述定位部包括定位部内侧面、连接所述定位部内侧面的定位部顶面与定位部底面、及与所述定位部内侧面向背设置的定位部外侧面,所述第一延伸部连接所述定位部底面的边缘,所述第一延伸部的第一延伸部内表面用于抵接所述连接部的第一外侧面,所述第一延伸部的第一外表面与所述定位部的定位部外侧面连接于一体;所述辅助定位装置还包括第二延伸部,所述第二延伸部连接所述定位部远离所述第一延伸部的一端。
4.根据权利要求3所述的光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置,其特征在于:所述第二延伸部包括第二延伸部内侧面、第二延伸部上表面及第二延伸部倾斜连接面,所述第二延伸部内侧面连接所述定位部顶面,所述第二延伸部上表面连接所述第二延伸部内侧面,所述第二延伸部倾斜连接面连接于所述第二延伸部上表面于所述定位部外侧面之间,所述第二延伸部倾斜连接面与所述第二延伸部上表面及所述定位部外侧面均形成钝角。
5.根据权利要求1所述的光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置,其特征在于:所述支撑部也用于套设于所述光学元件外围,所述支撑部包括支撑部上表面、支撑部下表面、连接于所述支撑部上表面与所述支撑部下表面之间的第二内侧面、及所述第二内侧面相背的第二外侧面,所述支撑部上表面连接于所述第一内侧面...
【专利技术属性】
技术研发人员:管海军,曲贺盟,张新,谢晓麟,徐放,王哈,张继真,王超,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春长光智欧科技有限公司,
类型:新型
国别省市:吉林;22
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