The invention discloses a non-destructive microwave texture detection method for large-size TFT substrate glass, which includes: A. two guide rails in the same direction with the glass conveying roller are arranged under the glass conveying roller, two vertical moving plates are arranged between the two guide rails, one of which is provided with a vertical CCD image sensor, the other is provided with a light source for downward inclined irradiation; B. TFT The bottom surface of the substrate is uniformly fogged; C. turn on the light source to irradiate the surface of the TFT substrate, move the two moving plates along the guide rail at the same time, and ensure the relative position between the two moving plates is unchanged; make the light scan the surface of the TFT substrate, and make the light continuously reflect on the C C D image sensor, forming the light and dark stripes on the CCD image sensor; D. judge the glass of the TFT substrate according to the light and dark stripes This method can detect the whole TFT substrate glass comprehensively without damaging the glass, which is helpful to find the defective glass in time.
【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸TFT基板玻璃无损微波纹度检测方法
本专利技术涉及玻璃检测
,具体是一种大尺寸TFT基板玻璃无损微波纹度检测方法。
技术介绍
浮法工艺生产的高世代、大尺寸的TFT基板玻璃,成型后的基板玻璃(0.50mm)微波纹度指标为≤0.25μm(2500Å),根据TFT基板规格书的要求,TFT成品玻璃工作面的微波纹度需要≤0.04μm(400Å),这就要求必须使用面研磨工艺对玻璃进行面研磨以改善玻璃工作面的微波纹度。目前使用多组机台对浮法玻璃进行面研磨,影响面研磨的因素有很多,包括抛光粉的粒度、抛光液的浓度、抛光垫的磨削力、沟槽深度等诸多因素、每组机台以上各因素出现异常都有可能导致面研磨异常。客观上要求对玻璃的微波纹度加强控制、防止异常玻璃漏检。现阶段一般采用离线抽检的方式控制微波纹度的质量控制模式,具体操作模式有以下两种方式:一、正常生产时从不同机组抽取的不合格玻璃(主要是面检、边检、复检不合格的玻璃)中抽取样本做破坏性实验,缺点是抽取样本量不固定,容易导致漏检现象。二、每组机组复工前做首件确认,机组出现异常或停机后重新开始生产时,抽取第一片玻璃作为样本做破坏性实验,如抽检样本微波纹度合格则可以批量生产,如不合格继续调试,直至首件检验合格后投入批量生产。缺点是抽取样本量固定,使用一片标定一组机台玻璃,容易导致误判。以上两种控制方式都不可避免的存在以下的问题:一、抽测样本量数量少。只能抽测某一个时间点或某一组机台的检测数据,不能如实反应整批玻璃的微波纹度。二 ...
【技术保护点】
1.一种大尺寸TFT基板玻璃无损微波纹度检测方法,其特征在于,包括:/na、在玻璃输送辊道下方设置两根与玻璃输送辊道同向的导轨,两根导轨之间间隔设置两块竖直的移动板,移动板可以沿两根导轨水平移动;其中一块移动板设有竖直的CCD图像传感器,另一块移动板设有向下倾斜照射的光源;/nb、TFT基板由玻璃输送辊道输送到两根导轨之间时停止,使用蒸汽发生器在TFT基板底面均匀结雾;/nc、开启光源倾斜照射在TFT基板表面,沿导轨同时移动两块移动板、保证两块移动板之间的相对位置不变;使光线扫描TFT基板表面,并令光线持续反射在CCD图像传感器上,在CCD图像传感器上形成明暗相间的条纹;/nd、根据明暗相间的条纹判断TFT基板玻璃的微波纹度。/n
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸TFT基板玻璃无损微波纹度检测方法,其特征在于,包括:
a、在玻璃输送辊道下方设置两根与玻璃输送辊道同向的导轨,两根导轨之间间隔设置两块竖直的移动板,移动板可以沿两根导轨水平移动;其中一块移动板设有竖直的CCD图像传感器,另一块移动板设有向下倾斜照射的光源;
b、TFT基板由玻璃输送辊道输送到两根导轨之间时停止,使用蒸汽发生器在TFT基板底面均匀结雾;
c、开启光源倾斜照射在TFT基板表面,沿导轨同时移动两块移动板、保证两块移动板之间的相对位置不...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭寿,张冲,朱永迁,侯建伟,刘文瑞,权立振,
申请(专利权)人:蚌埠中光电科技有限公司,中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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