一种掩膜版清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种掩膜版清洗装置，包括基台固定架、掩膜版固定架、喷淋冲洗机构、掩膜版固定架旋转驱动机构；掩膜版固定架用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；喷淋冲洗机构包含第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构，第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；掩膜版固定架旋转驱动机构可带动所述掩膜版固定架绕其水平中轴线以设定速度旋转，掩膜版简易清洗装置，单人操作即可完成，因避免了人为的直接接触，避免了掩膜版的二次污染。

A mask cleaning device

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版清洗装置
本技术具体地说是涉及一种掩膜版清洗装置。
技术介绍
随着现代3C电子产业的高速发展，手机背板纹理、平板显示器、集成电路板中微纳结构的加工工艺越发关键，掩膜曝光就是其中一种。掩膜曝光中所用的掩膜版通常是在石英玻璃上镀一层铬层，并通过曝光腐蚀工艺制作出所需图案。掩膜版脏污后无法进行曝光实验，否则其上的脏污印记会毫无保留的转移到光刻板上，因此，脏污掩膜版的清洗至关重要。
技术实现思路
为解决掩膜版清洗问题，本技术涉及了一种掩膜版清洗装置，能方便且有效的清洗掩膜版。为解决上述技术问题，本技术的目的是这样实现的：一种掩膜版清洗装置，包括基台固定架、掩膜版固定架、喷淋冲洗机构、掩膜版固定架旋转驱动机构；所述掩膜版固定架用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；所述喷淋冲洗机构包含第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构，所述第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；所述掩膜版固定架旋转驱动机构可带动所述掩膜版固定架绕其水平中轴线以设定速度旋转。在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述掩膜版固定架由第一掩膜版固定杆、第一固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜版清洗装置，其特征在于：包括基台固定架（10）、掩膜版固定架（20）、喷淋冲洗机构（30）、掩膜版固定架旋转驱动机构（40）；所述掩膜版固定架（20）用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；所述喷淋冲洗机构（30）包含第一喷淋冲洗机构（31）和第二喷淋冲洗机构（32），所述第一喷淋冲洗机构（31）和第二喷淋冲洗机构（32）可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；所述掩膜版固定架旋转驱动机构（40）可带动所述掩膜版固定架（20）绕其水平中轴线以设定速度旋转。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版清洗装置，其特征在于：包括基台固定架（10）、掩膜版固定架（20）、喷淋冲洗机构（30）、掩膜版固定架旋转驱动机构（40）；所述掩膜版固定架（20）用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；所述喷淋冲洗机构（30）包含第一喷淋冲洗机构（31）和第二喷淋冲洗机构（32），所述第一喷淋冲洗机构（31）和第二喷淋冲洗机构（32）可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；所述掩膜版固定架旋转驱动机构（40）可带动所述掩膜版固定架（20）绕其水平中轴线以设定速度旋转。2.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗装置，其特征在于：所述掩膜版固定架（20）由第一掩膜版固定杆（21）、第一固定杆导向架（22）、第二掩膜版固定杆（23）、第二固定杆导向架（24）、第三掩膜版固定杆（25）、第三固定杆导向架（26）依次连接后围合成矩形状，所述第一掩膜版固定杆（21）、第二掩膜版固定杆（23）、第三掩膜版固定杆（25）的内侧均开设有固定卡槽，掩膜版的边缘被接纳在所述固定卡槽内。3.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗装置，其特征在于：还包括锁紧机构（50），所述第一固定杆导向架（22）、第二固定杆导向架（24）、第三固定杆导向架（26）开设有导向槽，所述第一掩膜版固定杆（21）、第二掩膜版固定杆（23）、第三掩膜版固定杆（25）可分别在其连接端的所述第一固定杆导向架（22）、第二固定杆导向架（24）、第三固定杆导向架（26）内的导向槽内滑动，所述锁紧机构（50）可选择性的限制所述第一固定杆导向架（22）、第二固定杆导向架（24）、第三固定杆导向架（26）的滑动。4.根据权利要求3所述的一种掩膜版清洗装置，其特征在于：所述锁紧机构（50）包含多个锁紧螺钉（51...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓龙，姚俊俊，
申请(专利权)人：上海彩丞新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31