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本实用新型公开了一种掩膜版清洗装置，包括基台固定架、掩膜版固定架、喷淋冲洗机构、掩膜版固定架旋转驱动机构；掩膜版固定架用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；喷淋冲洗机构包含第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构...
该专利属于上海彩丞新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海彩丞新材料科技有限公司授权不得商用。

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