真空用充气过压溢流阀制造技术

本发明专利技术涉及应用于离子注入机的真空系统过压保护装置，具体为真空用过压溢流阀，当内部压力高于所调定压力时，自动溢流排气，防止由于过压对部分系统元件的破坏或发生压力爆炸，起到保护真空系统安全运行的作用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是一种真空气压保护装置，用于当往离子注入机的真空系统中充氮气时，当内部压力高于所调定压力时，自动溢流排气，防止由于过压对部分系统元件的破坏或发生压力爆炸，起到保护真空系统安全运行的作用。属于半导体设备领域。
技术介绍
离子注入机属于粒子加速器的一种，被掺杂元素的离子从离子源处电离，再经分析器筛选出所需离子，然后离子束经过扫描和加速，最后到达靶室注入到硅片中去。离子运动过程的腔体必需保持在高真空环境下。在对真空系统进行维护时，需向真空腔体和真空管道中充填洁净氮气，保持系统的洁净，缩短真空再建立的时间。这种充填氮气，为高压气体，当真空腔体内压力达到大气压力后，依然可继续向腔体充填氮气，此时腔体内部压力会高于外部大气，形成正压，若没有过压溢流装置溢流，腔内压力会持续增高，直到与气源压力平衡，这种高压易对部分系统元件产生破坏，严重时会引发系统压力爆炸，造成人身伤害。市场上有类似产品，但一般都不适用于高真空环境，
技术实现思路
为了解决这个问题，本专利技术设计了真空用充气过压溢流阀。本专利技术的充气过压溢流阀装置，主要构成是垫圈1，KF接口2，弹簧3，溢流密封盖板4，外罩5，内六角圆柱头螺钉6，O型密封圈7和O型密封圈8，弹性挡圈9，卡套接头10，如图1所示。所述的垫圈1是垫在弹性挡圈9和弹簧3之间，限定和调节弹簧3。所述的KF接口2为阀体的结构接口，外罩5通过内六角圆柱头螺钉6连接到KF接口2上，成一密封腔体，阻止溢流气体直接进入外部环境。密封贴合面内装O型密封圈7，外罩5顶装卡套接头10。所述的O型密封圈7密封KF接口2和外罩5的贴合面。所述的O型密封圈8密封KF接口2和溢流密封盖板4的贴合面。KF接口2内有圆孔平台，放置弹簧3。所述的弹簧3套在密封盖板4下端长杆外面，上端和KF接口2的圆孔平台的平台面接触，下端与垫片1接触。当充气压力大于弹簧3的预调压力时，弹簧3被压缩受力产生形变，充气过压溢流阀开始溢流。当充气过压溢流阀连接的两端压力达到平衡时，弹簧3回弹，推动溢流密封盖板4密封。所述的溢流密封盖板4在充气过压溢流阀中起着阀芯的作用。靠近下端面处有小圆环槽，卡装弹性挡圈9，下端长杆中心有溢流通道孔。所述的内六角圆柱头螺钉6连接KF接口2和外罩5。所述的弹性挡圈9卡装在溢流密封盖板4的下端长杆下端面处的圆环槽内，挡住垫片1。所述的卡套接头10是快插接头，内插排气管道，卡套接头10用锥管螺纹连接到外罩5上。用于收集真空腔体溢流排出的气体。本专利技术通过预调定溢流压力来设计弹簧3的簧丝直径和圈数，当充气压力超出预调压力时，溢流密封盖板4被顶起，气体就溢流，弹簧3被压缩；当溢流密封盖板4两边压力回到平衡时，弹簧3在回弹力作用下，又顶推固定在溢流密封盖板4上的垫圈1，使溢流密封盖板4回弹，起到密封作用。溢流阀卡套采用真空标准接口KF系列，互换性强，O型密封圈7、O型密封圈8和内六角圆柱头螺钉6都是标准件，只需根据设计尺寸选用。整套装置成本低，安全可靠性高，安装调试简单。且用于不同充气压力只需设计不同压缩比弹簧，通用性好。附图说明图1为真空用充气过压溢流阀的结构示意图。图中，垫圈1，KF接口2，弹簧3，溢流密封盖板4，外罩5，内六角圆柱头螺钉6，O型密封圈7和O型密封圈8，弹性挡圈9，卡套接头10。具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步介绍，但不作为对本专利技术的限定。参考图1，真空溢流阀装置主要构成是垫圈1，KF接口2，弹簧3，溢流密封盖板4，外罩5，内六角圆柱头螺钉6，O型密封圈7和O型密封圈8，弹性挡圈9，卡套接头10。KF接口2与真空系统相连，所充入气体由溢流密封盖板4的下端通孔进入，气体压力作用在溢流密封盖板4上，当压力大于弹簧3的预压力时，溢流密封盖板4被顶起，弹簧3被压缩，溢流。当溢流到密封盖板4两端气压平衡时，在弹簧3的回弹力作用下，溢流密封盖板4下移，自动密封。本专利技术的特定实施例已对本专利技术做了详尽说明。本领域技术人员在不背离本专利技术精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。权利要求1.真空用充气过压溢流阀，其特征在于，由下列部件构成垫圈(1)，KF接口(2)，弹簧(3)，溢流密封盖板(4)，外罩(5)，内六角圆柱头螺钉(6)，O型密封圈(7)和O型密封圈(8)，弹性挡圈(9)，卡套接头(10)；所述的垫圈(1)是垫在弹性挡圈(9)和弹簧(3)之间，限定和调节弹簧(3)；所述的KF接口(2)为阀体的结构接口，外罩(5)通过内六角圆柱头螺钉(6)连接到KF接口(2)上，成一密封腔体，阻止溢流气体直接进入外部环境；所述的O型密封圈(7)密封KF接口(2)和外罩(5)的贴合面；所述的O型密封圈(8)密封KF接口(2)和溢流密封盖板(4)的贴合面；KF接口(2)内有圆孔平台，放置弹簧(3)；所述的弹簧(3)套在溢流密封盖板(4)下端长杆外面，上端和KF接口(2)的圆孔平台的平台面接触，下端与垫片1接触；所述的溢流密封盖板(4)在充气过压溢流阀中起着阀芯的作用，靠近下端面处有小圆环槽，卡装弹性挡圈(9)，下端长杆中心有溢流通道孔；所述的弹性挡圈(9)卡装在溢流密封盖板(4)的下端长杆下端面处的圆环槽内，挡住垫片(1)；所述的卡套接头(10)是快插接头，内插排气管道，卡套接头(10)用锥管螺纹连接到外罩(5)上。全文摘要本专利技术涉及应用于离子注入机的真空系统过压保护装置，具体为真空用过压溢流阀，当内部压力高于所调定压力时，自动溢流排气，防止由于过压对部分系统元件的破坏或发生压力爆炸，起到保护真空系统安全运行的作用。文档编号F16K17/04GK101038041SQ200610065120公开日2007年9月19日 申请日期2006年3月17日 优先权日2006年3月17日专利技术者唐景庭, 彭立波, 姚琛, 钟新华 申请人:北京中科信电子装备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
真空用充气过压溢流阀，其特征在于，由下列部件构成：垫圈（１），ＫＦ接口（２），弹簧（３），溢流密封盖板（４），外罩（５），内六角圆柱头螺钉（６），Ｏ型密封圈（７）和Ｏ型密封圈（８），弹性挡圈（９），卡套接头（１０）；所述的垫圈（１） 是垫在弹性挡圈（９）和弹簧（３）之间，限定和调节弹簧（３）；所述的ＫＦ接口（２）为阀体的结构接口，外罩（５）通过内六角圆柱头螺钉（６）连接到ＫＦ接口（２）上，成一密封腔体，阻止溢流气体直接进入外部环境；所述的Ｏ型密封圈（７） 密封ＫＦ接口（２）和外罩（５）的贴合面；所述的Ｏ型密封圈（８）密封ＫＦ接口（２）和溢流密封盖板（４）的贴合面；ＫＦ接口（２）内有圆孔平台，放置弹簧（３）；所述的弹簧（３）套在溢流密封盖板（４）下端长杆外面，上端和ＫＦ接口（２）的圆孔 平台的平台面接触，下端与垫片１接触；所述的溢流密封盖板（４）在充气过压溢流阀中起着阀芯的作用，靠近下端面处有小圆环槽，卡装弹性挡圈（９），下端长杆中心有溢流通道孔；所述的弹性挡圈（９）卡装在溢流密封盖板（４）的下端长杆下端面处的圆环 槽内，挡住垫片（１）；所述的卡套接头（１０）是快插接头，内插排气管道，卡套接头（１０）用锥管螺纹连接到外罩（５）上。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐景庭，彭立波，姚琛，钟新华，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]