薄碟激光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种薄碟激光装置。薄碟激光装置包括：第一抛物面反射镜及第二抛物面反射镜，彼此面对且同轴地配置；第一薄碟及第二薄碟，分别具备激光介质与反射面，分别配置至第一抛物面反射镜及第二抛物面反射镜的顶点而与第一抛物面反射镜及第二抛物面反射镜一同形成激升光的多路径；第一内部镜及第二内部镜，配置至第一抛物面反射镜与第二抛物面反射镜之间的空间而反射讯号光；以及多个镜，配置至第一内部镜与第二内部镜之间的讯号光的光路径上；且第一内部镜、第二内部镜及多个镜藉由在第一薄碟与第二薄碟之间反复反射讯号光而放大上述讯号光。

Thin disc laser device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】薄碟激光装置
本专利技术涉及一种激光装置，更详细而言，有关于一种利用薄碟形状的激光介质的薄碟激光装置。
技术介绍
本专利技术是有关于一种可有效地构成进行用于如半导体、显示器、印刷电路板(PrintedCircuitBoard，PCB)、智能型手机等的微电子产业制品及零件的超威/非热加工的高输出皮秒或飞秒激光/装置的高效率激光装置。薄碟激光具有可充分地冷却的厚度较薄(薄碟)的激光活性介质(放大器介质)。因此，冷却效率非常高的薄碟激光的概念适用至数千瓦范围的较高的激光功率。然而，因放大器介质的厚度较薄而藉由激光活性介质进行的通过中的1次或较少次数的通过几乎不吸收泵影印，因此于激光活性介质的激升时，若不提供适当的措施，则导致激光系统的效率较低。为了达成满足于激光活性介质中的激光振荡或放大条件所需的最小能量或最小激光功率，通常要求具有泵影印的多路径(multiplepass)吸收构造的多路径激升构造。先前技术1(EP1252687)为通常的薄碟激光技术，使用两对V字形棱镜反射镜、一个抛物面反射镜、一个薄碟激光介质，并且为了实现激光光激升而进行数十次以上的多路径激升，若无法超精确地对两对棱镜反射镜进行光轴排列，则会于激升光重迭中产生误差而激升效率下降，放大率变差。并且，因使用一个薄碟激光介质而于进行1次薄碟激光介质往复时吸收率非常低，因此需要数十次的往复吸收过程。往复次数越多，则需进行精确重迭的激升光的个数越增加而对光轴排列要求的精确度变得更高，从而对光轴排列误差、机械加工误差与长期可靠性相关的机械光学稳定性误差等的负担大幅增加。并且，为了克服先前技术1的问题而提出先前技术2(US2013-0039378)。先前技术2为了克服先前技术1的需要进行超精确的光轴排列的缺点而呈如下构造：藉由使用两个抛物面反射镜、一个薄碟激光介质、一个调整镜而将入射至抛物面反射镜的平行光入射至抛物面反射镜的焦点的优点极大化，藉此可减轻需要进行超精确的光轴排列的负担；但因使用一个薄碟激光介质而于一个薄碟模块中所需的通常为24次或48次以上的数十次以上的往复吸收过程相同，因此具有于单一放大器中增大放大效率时效率略低的问题。并且，先前技术3(CN102684051A)是为了克服先前技术1的问题而提出。先前技术3呈如下构造：藉由使用两个抛物面反射镜、两个薄碟激光介质而可将入射至抛物面反射镜的平行光入射至抛物面反射镜的焦点的优点极大化；但由于将两个抛物面反射镜同时用作激升光用多路径镜与讯号光用共振器，因此具有进行超精确的光轴排列的负担加重的问题。
技术实现思路
专利技术欲解决的课题本专利技术用以解决上述问题，目的在于获得激光共振器或激光放大器输出，并且使光学组件的排列更容易。解决课题的手段本专利技术的一实施态样的薄碟激光装置包括：第一抛物面反射镜及第二抛物面反射镜，彼此面对，且同轴地配置；第一薄碟及第二薄碟，分别包括激光介质与位于上述激光介质的背面的反射面，分别配置至上述第一抛物面反射镜及上述第二抛物面反射镜的顶点而与上述第一抛物面反射镜及上述第二抛物面反射镜一同形成激升光的多路径；第一内部镜及第二内部镜，配置至上述第一抛物面反射镜与上述第二抛物面反射镜之间的空间而反射讯号光；以及多个镜，为了连接上述第一内部镜与上述第二内部镜之间而配置至讯号光的光路径上；且上述第一内部镜、上述第二内部镜及上述多个镜于上述第一薄碟与上述第二薄碟之间反复反射讯号光而放大上述讯号光。在一实施例中，上述第一内部镜能够以自上述第一内部镜入射于上述第一薄碟的讯号光向上述第一内部镜侧反射的方式配置，上述第二内部镜以自上述第二内部镜入射于上述第二薄碟的讯号光向上述第二内部镜侧反射的方式配置。在一实施例中，上述第一内部镜可位于上述第一薄碟的正面的法在线或上述法线的附近，上述第二内部镜位于上述第二薄碟的正面的法在线或上述法线的附近。在一实施例中，讯号光不于上述第一抛物面反射镜及上述第二抛物面反射镜反射。在一实施例中，上述薄碟激光装置更包括供给种子光的种子光源，上述第一薄碟及上述第二薄碟可将种子光放大成讯号光。在一实施例中，自上述种子光源射出的种子光可为偏光的激光光。一实施例的薄碟激光装置可更包括光路径转换器，上述光路径转换器配置至上述第一薄碟与上述第二薄碟之间的讯号光的光路径上，根据控制讯号变更讯号光的路径而向外部输出。在一实施例中，上述光路径转换器可包括：电光组件，根据控制讯号而变更讯号光的偏光；以及偏光分束器，根据偏光方向而分离讯号光。在一实施例中，可藉由上述第一内部镜及上述第二内部镜而分别将排列用光束照射至上述第一薄碟及上述第二薄碟。本专利技术的另一实施态样的薄碟激光装置可包括：第一抛物面反射镜及第二抛物面反射镜，彼此面对，且同轴地配置；第一薄碟及第二薄碟，分别包括激光介质与位于上述激光介质的背面的反射面，配置至上述第一抛物面反射镜及上述第二抛物面反射镜的顶点而与上述第一抛物面反射镜及上述第二抛物面反射镜一同形成激升光的多路径；第一内部镜及第二内部镜，配置至上述第一抛物面反射镜与上述第二抛物面反射镜之间的空间而反射自上述第一薄碟及上述第二薄碟振荡的第一讯号光及第二讯号光；以及第一讯号光输出耦合器及第二讯号光输出耦合器，分别使自上述第一内部镜及上述第二内部镜反射的第一讯号光及第二讯号光的一部分再反射至上述第一内部镜及上述第二内部镜，且使另一部分输出。本专利技术的又一实施态样的薄碟激光装置包括：第一抛物面反射镜及第二抛物面反射镜，彼此面对，且同轴地配置；第一薄碟及第二薄碟，分别包括激光介质与位于上述激光介质的背面的反射面，分别配置至上述第一抛物面反射镜及上述第二抛物面反射镜的顶点而与上述第一抛物面反射镜及上述第二抛物面反射镜一同形成激升光的多路径；以及第一内部镜，配置至上述第一抛物面反射镜与上述第二抛物面反射镜之间的空间；且上述第一内部镜可配置至上述第一薄碟的正面，以使自上述第一内部镜入射于上述第一薄碟的第一讯号光向上述第一内部镜侧反射。一实施例的薄碟激光装置更包括配置至上述第一抛物面反射镜与上述第二抛物面反射镜之间的空间的第二内部镜，上述第二内部镜可配置至上述第二薄碟的正面，以使自上述第二内部镜入射于上述第二薄碟的第二讯号光向上述第二内部镜侧反射。一实施例的薄碟激光装置可更包括多个镜，上述多个镜将自上述第一内部镜传输的第一讯号光发射至上述第二内部镜，将自上述第二内部镜传输的第二讯号光发射至上述第一内部镜。在一实施例中，第一讯号光与第二讯号光可光学分离而分别于上述第一薄碟与上述第二薄碟中单独地放大。在一实施例中，第一讯号光及第二讯号光不于上述第一抛物面反射镜及上述第二抛物面反射镜反射。一实施例的薄碟激光装置更包括设置至上述第一抛物面反射镜的外侧的第二讯号光全反射镜及第二讯号光输出耦合器，上述第一抛物面反射镜包括第二讯号光的输出耦合器侧通路及全反射镜侧通路，自上述第二讯号光全反射镜反射的第二讯号光藉由上述全反射镜侧通路而朝向上述第二薄碟，自上述第二薄碟反射的第二讯号光藉由上述输出耦合器侧通路而朝向上述第二讯号光输出耦合器，第二讯号光的一部分可自上述第二讯号光输出耦合器再反射至上述第二薄碟，第二讯号光的另一部分通过第二讯号光输出耦合器而成为输出光沿行进方向输出，藉此可构成第二讯号光的共振器，第二讯号本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄碟激光装置，其特征在于，包括：藉由在第一薄碟与第二薄碟之间反复反射而放大。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种薄碟激光装置，其特征在于，包括：藉由在第一薄碟与第二薄碟之间反复反射而放大。2.根据权利要求1所述的薄碟激光装置，其特征在于，所述第一内部镜以自所述第一内部镜入射于所述第一薄碟的所述讯号光向所述第一内部镜侧反射的方式配置，所述第二内部镜以自所述第二内部镜入射于所述第二薄碟的所述讯号光向所述第二内部镜侧反射的方式配置。3.根据权利要求1所述的薄碟激光装置，其特征在于，所述第一内部镜位于所述第一薄碟的正面的法在线或所述法线的附近，所述第二内部镜位于所述第二薄碟的正面的法在线或所述法线的附近。4.根据权利要求1所述的薄碟激光装置，其特征在于，所述讯号光不于所述第一抛物面反射镜及所述第二抛物面反射镜反射。5.根据权利要求1所述的薄碟激光装置，其特征在于，更包括供给种子光的种子光源，所述第一薄碟及所述第二薄碟将种子光放大成所述讯号光。6.根据权利要求5所述的薄碟激光装置，其特征在于，自所述种子光源射出的种子光为偏光的激光光。7.根据权利要求1所述的薄碟激光装置，其特征在于，更包括光路径转换器，所述光路径转换器配置至所述第一薄碟与所述第二薄碟之间的所述讯号光的光路径上，根据控制讯号变更所述讯号光的路径而向外部输出。8.一种薄碟激光装置，其特征在于，包括：第一抛物面反射镜及第二抛物面反射镜，彼此面对，且同轴地配置；第一薄碟及第二薄碟，分别包括激光介质与位于所述激光介质的背面的反射面，分别配置至所述第一抛物面反射镜及所述第二抛物面反射镜的顶点而与所述第一抛物面反射镜及所述第二抛物面反射镜一同形成激升光的多路径；第一内部镜及第二内部镜，配置至所述第一抛物面反射镜与所述第二抛物面反射镜之间的空间而反射自所述第一薄碟及所述第二薄碟振荡的第一讯号光及第二讯号光；以及第一讯号光输出耦合器及第二讯号光输出耦合器，分别将自所述第一内部镜及所述第二内部镜反射的所述第一讯号光及所述第二讯号光的一部分再反射至所述第一内部镜及所述第二内部镜，且使另一部分输出。9.一种薄碟激光装置，其特征在于，包括：第一抛物面反射镜及第二抛物面反射镜，彼此面对，且同轴地配置；第一薄碟及第二薄碟，分别包括激光介质与位于所述激光介质的背面的反射面，配置至所述第一抛物面反射镜及所述第二抛物面反射镜的顶点而与所述第一抛物面反射镜及所述第二抛物面反射镜一同形成激升光的多路径；以及第一内部镜，配置至所述第一抛物面反射镜与所述第二抛物面反射镜之间的空间，且所述第一内部镜配置至所述第一薄碟的正面，以使自所述第一内部镜入射于所述第一薄碟的第一讯号光向所述第一内部镜侧反射。10.根据权利要求9所述的薄碟激光装置，其特征在于，更包括配置至所述第一抛物面反射镜与所述第二抛物面反射镜之间的空间的第二内部镜，所述第二内部镜配置至所述第二薄碟的正面，以使自所述第二内部镜入射于所述第二薄碟的第二讯号光向所述第二内部镜侧反射。11.根据权利要求10所述的薄碟激光装置，其特征在于，光学分离所述第一讯号光与所述第二讯号光而分别于所述第一薄碟与所述第二薄碟中单独地放大。12.根据权利要求9所述的薄碟激光装置，其特征在于，更包括设置至所述第一抛物面反射镜的外侧的第二讯号光全反射镜与第二讯号光输出耦合器...

【专利技术属性】
技术研发人员：金南成，金圣勋，陈大铉，申东晙，
申请(专利权)人：EO科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR