激光放大装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种激光放大装置。公开的激光放大装置包括：种子光束光源，供给种子光束；以及固体放大器，放大所述种子光束的输出，所述固体放大器包括：激光介质；泵浦光束光源，供给激励所述激光介质的泵浦光束；泵浦光束反射镜，使通过了所述激光介质的所述泵浦光束再次向所述激光介质反射；多个二向色(dichroic)镜，反射所述种子光束，使得所述种子光束沿与所述泵浦光束的泵浦路径相同的路径通过所述激光介质；以及多个镜，配置在所述种子光束的光路径上。

Laser amplifier

The invention discloses a laser amplification device. The disclosed laser amplification device includes: a seed beam light source, which supplies the seed beam; and a solid amplifier, which amplifies the output of the seed beam. The solid amplifier includes: a laser medium; a pump beam light source, which supplies the pump beam to excite the laser medium; a pump beam reflector, which causes the pump beam passing through the laser medium to send the laser beam again Medium reflection; a plurality of dichroic mirrors reflecting the seed beam so that the seed beam passes through the laser medium along the same path as the pump path of the pump beam; and a plurality of mirrors arranged on the optical path of the seed beam.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光放大装置
本专利技术涉及激光放大装置，涉及利用固体放大器来放大光纤种子激光的激光放大装置。
技术介绍
在半导体工艺中，激光应用技术的使用逐渐扩大，基于此，在需要对诸如半导体、显示器、PCB、智能电话等微电子产业产品和部件进行精密微细加工的领域中，投入改善了生产效率和生产性的新颖的激光工艺备受关注。在激光划片工艺中，在应用于纳米尺寸以下的工艺的情况下，随着布线间隔变窄而产生静电电容增加、时间延迟、功耗增加、相互干扰噪声等问题。为了解决这些问题，在半导体芯片表面导入了层间绝缘膜，在该情况下，在通过以往的铝轮刀方式切割晶片时，存在层间绝缘膜物质附着在金刚石轮刀表面的缺点。因此，优选利用激光设备对半导体芯片表面进行刻槽，并通过以往的方式对其余部分进行切割。另外，在PCB工艺中，正在进行用于改善生产效率以及生产性的工艺开发。为了能够在一个设备中实现紫外线钻孔、切割等两种以上的工艺，需要具有短脉冲和长脉冲的两种以上的激光光源。最近，更需要一种能够进行脉冲宽度调制的激光光源。在目前正在商用化的使用钇铝石榴石(YAG)或钒酸盐(YVO4)晶体的紫外线固体激光的情况下，脉冲宽度发生范围大部分限制在几十纳秒(ns)左右。因此，需要一种能够应用于激光刻槽工艺以及PCB工艺等多种工艺的具有几百纳秒以上的长脉冲的激光光源。
技术实现思路
专利技术要解决的课题根据本专利技术的例示性的实施例，提供一种激光放大装置，其发出如下激光：具有几纳秒(ns)至几百纳秒(ns)的脉冲宽度，能够以几百kHz的重复率进行动作，能够实现几瓦(watt)至几十瓦(watt)的输出。用于解决课题的技术方案本专利技术的一个实施例涉及的激光放大装置包括：种子光束光源，供给种子光束；以及固体放大器，放大所述种子光束的输出，所述固体放大器包括：激光介质；泵浦光束光源，供给激励所述激光介质的泵浦光束；泵浦光束反射镜，使通过了所述激光介质的所述泵浦光束再次向所述激光介质反射；多个二向色(dichroic)镜，反射所述种子光束，使得所述种子光束沿与所述泵浦光束的泵浦路径相同的路径通过所述激光介质；以及多个镜，配置在所述种子光束的光路径上。可以是，所述多个二向色镜反射所述种子光束，并使所述泵浦光束透射。可以是，所述二向色镜包括第一二向色镜以及第二二向色镜，所述激光介质配置在所述二向色镜与所述第二二向色之间。可以是，所述种子光束光源为光纤种子激光光源。可以是，还包括：种子光束调节装置，调节从所述种子光束光源发出的种子光束的特性。可以是，所述种子光束调节装置包括半波板。可以是，所述种子光束调节装置包括：第一透镜以及第二透镜，沿所述种子光束的行进方向彼此隔开地配置，随着它们之间的间隔变化，调节所述种子光束的光束直径。可以是，所述第一透镜以及第二透镜构成为使通过了所述第二透镜的所述种子光束成为平行光束。可以是，所述激光介质将所述种子光束放大为信号光束。可以是，从所述种子光束光源发出的所述种子光束为偏振的激光光束。专利技术效果例示性的实施例涉及的激光放大装置通过利用光纤种子激光，从而能够容易地调节脉冲宽度以及重复率，能够利用固体放大器发出具有几十瓦(watt)至几百瓦(watt)的输出的激光。另外，由此能够提高激光应用设备特别是PCB设备以及刻槽(grooving)设备的加工质量和生产性。另外，能够利用一个激光放大装置进行脉冲宽度的调制以及输出的放大，因此在设备的小型化、设备制造成本降低以及维护方面也能够带来有利的效果。附图说明图1是概略性地示出本专利技术的一个实施例涉及的激光放大装置的图。图2a是概略性地示出本专利技术的一个实施例涉及的激光放大装置中的种子光束调节装置的图。图2b是放大示出种子光束调节装置中的第一透镜以及第二透镜的图。图3是概略性地示出本专利技术的一个实施例涉及的激光放大装置中的固体放大器的图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施例进行详细说明，使得本领域技术人员能够容易地实施。但是，本专利技术能够以各种不同的方式实现，并不限定于在此说明的实施例。而且，为了清楚地说明本专利技术，在附图中省略了与说明无关的部分，在整个说明书中，对相似的部分标注相似的附图标记。在整个说明书中，在记载为某个部分与另一个部分“连接”时，不仅包括“直接连接”的情况，而且包括“在它们中间隔着其它元件”而“电连接”的情况。另外，在整个说明书中，在记载为某个部分“包括”某个构成要素时，只要没有特别记载相反的声明，则意味着可以进一步包括其它构成要素，而不是将其它构成要素排除在外。图1是概略性地示出本专利技术的一个实施例涉及的激光放大装置100的图。参照图1，激光放大装置100包括种子光束光源110、种子光束调节装置120以及固体放大器140。种子光束光源110发出种子光束L，例如，可以为半导体激光二极管或者皮秒或飞秒锁模光纤种子激光光源。种子光束光源110可以发出偏振的激光光束，作为一个例子，可以发出水平偏振的种子光束。在使用光纤种子激光光源作为种子光束光源110的情况下，可以通过脉冲宽度调制而发出具有几纳秒至几百纳秒的脉冲宽度的种子光束。另外，种子光束光源110能够调节种子光束，使得具有几十至几百kHz的重复率。种子光束调节装置120能够调节从种子光束光源110发出的种子光束L的特性。种子光束调节装置120的结构将在后面进行叙述。固体放大器140能够放大从种子光束光源110发出的种子光束L的输出。固体放大器140可以包括激光介质145、泵浦光束光源141、泵浦光束反射镜147、多个二向色镜DM1、DM2以及多个镜M1、M2、M3等。固体放大器140的详细结构将在后面的图3中进行叙述。图2a是概略性地示出本专利技术的一个实施例涉及的激光放大装置中的种子光束调节装置120的图，图2b是放大示出种子光束调节装置中的第一透镜以及第二透镜的图。参照图2a，种子光束调节装置120可以包括半波板121、第一透镜123以及第二透镜125。半波板121是使偏振方向沿慢轴的光相对于快轴(fastaxis)产生半波长的差异的波板，能够将45度线偏振光转换成水平偏振光，且能够将水平偏振光转换成45度线偏振光。参照图2b，第一透镜123以及第二透镜125沿种子光束L的行进方向彼此隔开地配置，随着它们之间的间隔d变化，调节上述种子光束L的光束直径。第一透镜123可以具有接近凸透镜的形态。因此，第一透镜123能够减小入射的种子光束L的光束直径。如图2b所示，从第二透镜125出射的种子光束L的光束直径W2可以小于入射到第一透镜123的种子光束L的光束直径W1。另外，第二透镜125可以具有接近凹透镜的形态。因此，能够使入射到第二透镜125的种子光束L接近于平行光。而且，虽然未图示，但是种子光束调节装置120可以包括调节第一透镜123与第二透镜125之间的距离d的透镜调节部。透镜调节部可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光放大装置，包括：/n种子光束光源，供给种子光束；以及/n固体放大器，放大所述种子光束的输出，/n所述固体放大器包括：/n激光介质；/n泵浦光束光源，供给激励所述激光介质的泵浦光束；/n泵浦光束反射镜，使通过了所述激光介质的所述泵浦光束再次向所述激光介质反射；/n多个二向色(dichroic)镜，反射所述种子光束，使得所述种子光束沿与所述泵浦光束的泵浦路径相同的路径通过所述激光介质；以及/n多个镜，配置在所述种子光束的光路径上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170419 KR 10-2017-00505111.一种激光放大装置，包括：
种子光束光源，供给种子光束；以及
固体放大器，放大所述种子光束的输出，
所述固体放大器包括：
激光介质；
泵浦光束光源，供给激励所述激光介质的泵浦光束；
泵浦光束反射镜，使通过了所述激光介质的所述泵浦光束再次向所述激光介质反射；
多个二向色(dichroic)镜，反射所述种子光束，使得所述种子光束沿与所述泵浦光束的泵浦路径相同的路径通过所述激光介质；以及
多个镜，配置在所述种子光束的光路径上。


2.根据权利要求1所述的激光放大装置，其中，
所述多个二向色镜反射所述种子光束，并使所述泵浦光束透射。


3.根据权利要求2所述的激光放大装置，其中，
所述二向色镜包括第一二向色镜以及第二二向色镜，
所述激光介质配置在所述二向色镜与所述第二二向色之间。


4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈大铉，
申请(专利权)人：EO科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR