一种纳米镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:22430295 阅读:37 留言:0更新日期:2019-10-30 05:13
本实用新型专利技术公开了一种纳米镀膜装置,包括主体板,所述主体板的上表面从右到左依次固定连接有盛料箱、分子泵、真空泵和镀膜箱,盛料箱的底端设有放置槽,放置槽内设有电加热管,盛料箱设有滑动槽,滑动槽位于放置槽的上侧,滑动槽内滑动连接有填料板,填料板上设有加热孔,填料板的前侧固定连接有密封板,所述盛料箱上设有四个出料口,该纳米镀膜装置,通过低温泵对加热升华后的镀膜材料进行降温,避免在镀膜时镀膜材料温度过高发生膜层结构变化或者镀膜材料产生分解,影响镀膜质量,通过残料收集箱对产品镀膜时滴落的镀膜材料进行收集,避免镀膜材料四处滴落,影响工作人员后期的清理。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米镀膜装置
本技术涉及真空镀膜
,具体为一种纳米镀膜装置。
技术介绍
目前,许多工业产品表面都镀有功能薄膜以改善产品表面的各种性能。如在光学镜片的表面镀上一层抗反射膜,以降低镜片表面的反射率,降低入射光经过镜片的能量损耗。又如于某些滤光组件表面镀上一层滤光膜制成滤光片,其可过滤掉一预定波段的光。一般地,镀膜方法主要包括蒸镀法、离子镀膜法、射频磁控溅镀、化学气相沉积法等。传统的蒸镀方法是将待镀膜基材放置于伞形基板上,然后使气态或离子态的膜料沉积于待镀膜基材上表面形成薄膜。然而,加热后的镀膜材料具有高温,在镀膜过程中镀膜材料温度过高的会出现膜层结构变化或者镀膜材料产生分解,影响镀膜质量。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种纳米镀膜装置,有效的降低镀膜材料的温度,避免镀膜材料发生膜层结构变化或者镀膜材料产生分解,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种纳米镀膜装置,包括主体板,所述主体板的上表面从右到左依次固定连接有盛料箱、分子泵、真空泵和镀膜箱,盛料箱的底端设有放置槽,放置槽内设有电加热管,盛料箱设有滑动槽,滑动槽位于放置槽的上侧,滑动槽内滑动连接有填料板,填料板上设有加热孔,填料板的前侧固定连接有密封板,所述盛料箱上设有四个出料口,盛料箱的出料口通过吸气管与合流管的进料口连接,合流管的出料口通过第一连接管与分子泵的进料口连接,所述主体板的上表面固定连接有低温泵,低温泵位于真空泵的后侧,低温泵的进料口通过第二连接管与分子泵的出料口连接,真空泵的进气口通过第四连接管与镀膜箱的出气口连接,所述镀膜箱的上侧设有安置槽,安置槽内设有喷洒管,喷洒管上设有等距出料口,喷洒管的出料口与喷头的进料口连接,所述喷洒管的进料口通过分流管与第三连接管的出料口连接,第三连接管的进料口与低温泵的出料口连接,所述镀膜箱内设有滑槽,滑槽内滑动连接有盛放板,盛放板上设有排料口,镀膜箱内设有残料收集箱,残料收集箱的位置与盛放板的位置相对应,所述镀膜箱前端的上下两侧分别通过转动轴与上挡板和下挡板,上挡板的位置与下挡板的位置相对应,所述主体板的上表面固定连接有电源开关组,电源开关组的输入端连接外部电源的输出端,电源开关组的输出端电连接真空泵、分子泵、低温泵和电加热管的输入端。作为本技术的一种优选技术方案,所述密封板的前侧固定连接有握把,握把上设有橡胶套,所述密封板的后侧固定连接有密封条,盛料箱的进物口上设有密封槽,密封槽的位置与密封条的位置相对应且接触连接。作为本技术的一种优选技术方案,所述上挡板上设有观察槽,观察槽内设有透明玻璃,所述上挡板的上表面设有扶手槽,扶手槽位于观察槽的前侧。作为本技术的一种优选技术方案,所述主体板的下表面四角分别固定连接有垫块。作为本技术的一种优选技术方案,所述上挡板的前侧设有两个连接槽,连接槽内固定连接有弹簧和伸缩杆,弹簧的位置与伸缩杆的位置相对应且套接,弹簧和伸缩杆的伸缩端与滑动凸起固定连接,所述下挡板的前侧设有两个卡槽,卡槽的位置与滑动凸起的位置相对应且卡接。与现有技术相比,本技术的有益效果是:该纳米镀膜装置,通过低温泵对加热升华后的镀膜材料进行降温,避免在镀膜时镀膜材料温度过高发生膜层结构变化或者镀膜材料产生分解,影响镀膜质量,通过残料收集箱对产品镀膜时滴落的镀膜材料进行收集,避免镀膜材料四处滴落,影响工作人员后期的清理。附图说明图1为本技术结构示意图;图2为本技术侧视图;图3为本技术右侧剖面图;图4为本技术左侧剖面图;图5为本技术弹簧、伸缩杆和滑动凸起结构示意图。图中:1主体板、2镀膜箱、3盛放板、4下挡板、5垫块、6上挡板、7卡槽、8观察槽、9真空泵、10电源开关组、11分子泵、12盛料箱、13填料板、14密封板、15握把、16吸气管、17合流管、18第一连接管、19第二连接管、20低温泵、21第三连接管、22分流管、23喷洒管、24残料收集箱、25喷头、26电加热管、27密封条、28第四连接管、29弹簧、30伸缩杆、31滑动凸起。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5,本技术提供一种技术方案:一种纳米镀膜装置,包括主体板1,主体板1的上表面从右到左依次固定连接有盛料箱12、分子泵11、真空泵9和镀膜箱2,盛料箱12的底端设有放置槽,放置槽内设有电加热管26,盛料箱12设有滑动槽,滑动槽位于放置槽的上侧,滑动槽内滑动连接有填料板13,填料板13上设有加热孔,通过填料板13放置镀膜材料,通过电加热管26对填料板13上的镀膜材料进行加热升华,形成雾化,填料板13的前侧固定连接有密封板14,密封板14的前侧固定连接有握把15,握把15上设有橡胶套,密封板14的后侧固定连接有密封条27,盛料箱12的进物口上设有密封槽,密封槽的位置与密封条27的位置相对应且接触连接,通过密封槽和密封条27使密封板14与盛料箱12密封连接,避免加热时盛料箱12内温度不够,影响镀膜材料的升华,盛料箱12上设有四个出料口,盛料箱12的出料口通过吸气管16与合流管17的进料口连接,合流管17的出料口通过第一连接管18与分子泵11的进料口连接,主体板1的上表面固定连接有低温泵20,低温泵20位于真空泵9的后侧,低温泵20的进料口通过第二连接管19与分子泵11的出料口连接,通过分子泵11将雾化后镀膜材料输送至低温泵20内,通过低温泵20对雾化后的镀膜材料进行降温,真空泵9的进气口通过第四连接管28与镀膜箱2的出气口连接,通过真空泵9对镀膜箱2进行抽真空,方便后期产品镀膜,镀膜箱2的上侧设有安置槽,安置槽内设有喷洒管23,喷洒管23上设有等距出料口,喷洒管23的出料口与喷头25的进料口连接,喷洒管23的进料口通过分流管22与第三连接管21的出料口连接,第三连接管21的进料口与低温泵20的出料口连接,通过低温泵20将冷却后的镀膜材料输送至喷头25内,通过喷头25对产品进行镀膜,镀膜箱2内设有滑槽,滑槽内滑动连接有盛放板3,盛放板3上设有排料口,通过盛放板3放置需要镀膜的产品,镀膜箱2内设有残料收集箱24,残料收集箱24的位置与盛放板3的位置相对应,通过残料收集箱24对产品镀膜时滴落的镀膜材料进行收集,镀膜箱2前端的上下两侧分别通过转动轴与上挡板6和下挡板4,上挡板6的位置与下挡板4的位置相对应,通过上挡板6和下挡板4对镀膜箱2进行密封,上挡板6上设有观察槽8,观察槽8内设有透明玻璃,工作人员通过观察槽8观察产品镀膜的情况,上挡板6的上表面设有扶手槽,扶手槽位于观察槽8的前侧,上挡板6的前侧设有两个连接槽,连接槽内固定连接有弹簧29和伸缩杆30,弹簧29的位置与伸缩杆30的位置相对应且套接,弹簧29和伸缩杆30的伸缩端与滑动凸起31固定连接,下挡板4的前侧设有两个卡槽7,卡槽7的位置与滑动凸起31的位置相对应且卡接,通过卡槽7和滑动凸起31使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纳米镀膜装置,包括主体板(1),其特征在于:所述主体板(1)的上表面从右到左依次固定连接有盛料箱(12)、分子泵(11)、真空泵(9)和镀膜箱(2),盛料箱(12)的底端设有放置槽,放置槽内设有电加热管(26),盛料箱(12)设有滑动槽,滑动槽位于放置槽的上侧,滑动槽内滑动连接有填料板(13),填料板(13)上设有加热孔,填料板(13)的前侧固定连接有密封板(14),所述盛料箱(12)上设有四个出料口,盛料箱(12)的出料口通过吸气管(16)与合流管(17)的进料口连接,合流管(17)的出料口通过第一连接管(18)与分子泵(11)的进料口连接,所述主体板(1)的上表面固定连接有低温泵(20),低温泵(20)位于真空泵(9)的后侧,低温泵(20)的进料口通过第二连接管(19)与分子泵(11)的出料口连接,真空泵(9)的进气口通过第四连接管(28)与镀膜箱(2)的出气口连接,所述镀膜箱(2)的上侧设有安置槽,安置槽内设有喷洒管(23),喷洒管(23)上设有等距出料口,喷洒管(23)的出料口与喷头(25)的进料口连接,所述喷洒管(23)的进料口通过分流管(22)与第三连接管(21)的出料口连接,第三连接管(21)的进料口与低温泵(20)的出料口连接,所述镀膜箱(2)内设有滑槽,滑槽内滑动连接有盛放板(3),盛放板(3)上设有排料口,镀膜箱(2)内设有残料收集箱(24),残料收集箱(24)的位置与盛放板(3)的位置相对应,所述镀膜箱(2)前端的上下两侧分别通过转动轴与上挡板(6)和下挡板(4),上挡板(6)的位置与下挡板(4)的位置相对应,所述主体板(1)的上表面固定连接有电源开关组(10),电源开关组(10)的输入端连接外部电源的输出端,电源开关组(10)的输出端电连接真空泵(9)、分子泵(11)、低温泵(20)和电加热管(26)的输入端。...

【技术特征摘要】
1.一种纳米镀膜装置,包括主体板(1),其特征在于:所述主体板(1)的上表面从右到左依次固定连接有盛料箱(12)、分子泵(11)、真空泵(9)和镀膜箱(2),盛料箱(12)的底端设有放置槽,放置槽内设有电加热管(26),盛料箱(12)设有滑动槽,滑动槽位于放置槽的上侧,滑动槽内滑动连接有填料板(13),填料板(13)上设有加热孔,填料板(13)的前侧固定连接有密封板(14),所述盛料箱(12)上设有四个出料口,盛料箱(12)的出料口通过吸气管(16)与合流管(17)的进料口连接,合流管(17)的出料口通过第一连接管(18)与分子泵(11)的进料口连接,所述主体板(1)的上表面固定连接有低温泵(20),低温泵(20)位于真空泵(9)的后侧,低温泵(20)的进料口通过第二连接管(19)与分子泵(11)的出料口连接,真空泵(9)的进气口通过第四连接管(28)与镀膜箱(2)的出气口连接,所述镀膜箱(2)的上侧设有安置槽,安置槽内设有喷洒管(23),喷洒管(23)上设有等距出料口,喷洒管(23)的出料口与喷头(25)的进料口连接,所述喷洒管(23)的进料口通过分流管(22)与第三连接管(21)的出料口连接,第三连接管(21)的进料口与低温泵(20)的出料口连接,所述镀膜箱(2)内设有滑槽,滑槽内滑动连接有盛放板(3),盛放板(3)上设有排料口,镀膜箱(2)内设有残料收集箱(24),残料收集箱(24)的位置与盛放板(3)的位置相对应...

【专利技术属性】
技术研发人员:张建坡
申请(专利权)人:超微中程纳米科技苏州有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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