【技术实现步骤摘要】
类金刚石涂层制备设备
[0001]本技术涉及刀具表面涂层技术及使用设备,具体的,其展示一种类金刚石涂层制备设备。
技术介绍
[0002]涂层刀具是在强度和韧性较好的硬质合金或高速钢基体表面上,涂覆一薄层耐磨性好的难熔金属或非金属化合物。涂层作为一个化学屏障和热屏障,减少了刀具与工件间的扩散和化学反应,从而减少了基体的磨损。
[0003]部分场合中,需要进行特殊涂层的设置,如随着现代加工业朝着高精度、高速切削、干式切削等方向发展,人们对硬质合金刀具提出了更高的要求。DLC薄膜涂层,又称类金刚石涂层,具有基体高强度、高韧性以及涂层高硬度、高耐磨性的特点,可以提高刀具寿命和加工效率。
[0004]但现阶段使用的类金刚石涂层设备一般为单独使用溅射沉积源进行制备,溅射沉积源成型效率低,且类金刚石涂层成型后表面硬度要求越高越需要更长时间做业,无法满足高效生产所需。
[0005]因此,有必要提供一种类金刚石涂层制备设备来解决上述问题。
技术实现思路
[0006]本技术的目的是提供一种类金刚石涂层制备设备。
[0007]本技术通过如下技术方案实现上述目的:
[0008]一种类金刚石涂层制备设备,包括炉体,炉体呈八角炉体状,且中部设置有离子源模组,八角炉体状的炉体的其中之二两个对角内壁上对应设置有一组磁性溅射模组A,对应一组磁性溅射模组A,八角炉体状的炉体的另两个对角内壁上对应设置有一组磁性溅射模组B;
[0009]离子源模组对应形成炉体内部区域的离子刻蚀件,配合一组磁性溅射 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种类金刚石涂层制备设备,其特征在于:包括炉体,炉体呈八角炉体状,且中部设置有离子源模组,八角炉体状的炉体的其中之二两个对角内壁上对应设置有一组磁性溅射模组A,对应一组磁性溅射模组A,八角炉体状的炉体的另两个对角内壁上对应设置有一组磁性溅射模组B;离子源模组对应形成炉体内部区域的离子刻蚀件,配合一组磁性溅射模组A、一组磁性溅射模组B形成高速离子刻蚀磁性溅射一体式涂层制备结构。2.根据权利要求1所述的一种类金刚石涂层制备设备,其特征在于:磁性溅射模组A和磁性溅射模组B间隔一八角炉内壁设置,形成均匀布满八角炉内的间隔分散式周圈磁性溅射结构。3.根据权利要求2所述的一种类金刚石涂层制备设备,其特征在于:离子源模组包括设置于八角炉中部顶端的灯丝离子源,...
【专利技术属性】
技术研发人员:张建坡,
申请(专利权)人:超微中程纳米科技苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:
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