一种基于VBA语言的电性数据处理方法及存储介质技术

本发明专利技术涉及一种基于VBA语言的电性数据处理方法及存储介质，所述方法包括以下步骤：通过界面获取产品信息；根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出异常数据。实现对电性数据中的异常数据的整理，同时节省人员数据处理的时间，实现直观地体现电性数据在产品位置上分布的关系。

【技术实现步骤摘要】
一种基于VBA语言的电性数据处理方法及存储介质
本专利技术涉及电性数据分析
，特别涉及一种基于VBA语言的电性数据处理方法及存储介质。
技术介绍
当晶圆在完成所有制程工艺之后，需要对晶圆上各个测试结构进行电性测试获得电性数据，然后根据获得电性数据进行整理得到晶圆的数据报表，通常包含有晶圆各个项目的最大值、最小值、均值、标准差及良率等基本信息，而现有对于电性数据的整理主要是从工厂端制程数据统计系统中直接导出数据报表，而现有的制程数据统计系统无法提供异常数据判断的功能，及在数据处理过程中无法根据用户需求灵活更改规格值，同时无法直观体现制程特性数据在位置上的分布关系。
技术实现思路
为此，需要提供一种基于VBA语言的电性数据处理方法及存储介质，解决现有制程数据统计系统无法提供数据判断的功能。为实现上述目的，专利技术人提供了一种基于VBA语言的电性数据处理方法，包括以下步骤：通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径；根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。进一步优化，所述产品信息包括产品项目名称，所述“判断电性数据中的异常数据”具体包括以下步骤：根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。进一步优化，所述“判断电性数据中的异常数据”具体包括以下步骤：计算出电性数据中的最大值、最小值、平均值及标准差；求出最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值确定离群标记值；通过将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去标准差，则得到离群标记值的残差值；将得到的残差值与待查表中查表值进行比对，若残差值大于查表值，则该离群标记值为离群值；将该离群值从电性数据中剔除，重新计算剔除该离群值后的电性数据中的离群值，直至计算得到电性数据中所有的离群值，所述离群值为异常数据。进一步优化，所述产品信息包括置信度；所述“将得到的残差值与待查表中查表值进行比对”具体包括：将得到的残差值与置信度对应的待查表中的查表值进行比对。进一步优化，所述“直至计算得到电性数据中所有的离群值”之后还包括以下步骤：将计算得到的所有离群值从电性数据中剔除得到初步结果；判断初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内；若不在预设范围内，则将初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值大的数据标记为离群值；然后将离群值从初步结果中剔除，再次判断剔除离群值的初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内，直至初步结果中的所有数据都在预设范围内。专利技术人还提供了另一个技术方案：一种存储介质，所述存储介质内存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行以下步骤：通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径；根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。进一步优化，所述产品信息包括产品项目名称，所述处理器执行步骤“判断电性数据中的异常数据”时具体执行以下步骤：根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。进一步优化，所述处理器执行步骤“判断电性数据中的异常数据”时具体执行以下步骤：计算出电性数据中的最大值、最小值、平均值及标准差；求出最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值确定离群标记值；通过将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去标准差，则得到离群标记值的残差值；将得到的残差值与待查表中查表值进行比对，若残差值大于查表值，则该离群标记值为离群值；将该离群值从电性数据中剔除，重新计算剔除该离群值后的电性数据中的离群值，直至计算得到电性数据中所有的离群值，所述离群值为异常数据。进一步优化，所述产品信息包括置信度；所述处理器执行步骤“将得到的残差值与待查表中查表值进行比对”具体执行：将得到的残差值与置信度对应的待查表中的查表值进行比对。进一步优化，所述处理器执行步骤“直至计算得到电性数据中所有的离群值”之后还执行以下步骤：将计算得到的所有离群值从电性数据中剔除得到初步结果；判断初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内；若不在预设范围内，则将初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值大的数据标记为离群值；然后将离群值从初步结果中剔除，再次判断剔除离群值的初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内，直至初步结果中的所有数据都在预设范围内。区别于现有技术，上述技术方案，通过界面获取用户输入的产品信息，其中产品信息包括数据路径，根据数据路径进行载入需要整理的电性数据，判断电性数据是否需要进行异常判断，当需要时，则对电性数据进行异常判断，得到电性数据中的异常数据，并标出异常数据，然后剔除电性数据中的异常数据后对电性数据进行计算整理得到数据报表，包括剔除异常数据的电性数据的最大值、最小值、均值及标准差等，完成数据整理，实现对电性数据中的异常数据的整理，同时节省人员数据处理的时间，同时根据电性数据进行图形绘制，并在绘制的图形对应的位置上标出异常数据，可以实现直观地体现电性数据在产品位置上分布的关系。附图说明图1为具体实施方式所述基于VBA语言的电性数据处理方法的一种流程示意图；图2为具体实施方式所述用户在电子表格的指定位置输入的规格信息的一种示意图；图3为具体实施方式所述项目A的原始电性数据的一种示意图；图4为具体实施方式所述将原始电性数据中异常数据进行标出的一种示意图；图5为具体实施方式所述数据报表的一种示意图；图6为具体实施方式所述将判断为离群值在原始电性数据中标记出来的一种示意图；图7为具体实施方式所述数据报表的另一种示意图；如图8为具体实施方式所述置信度为90％时所对应的待查表的一种示意图；图9为具体实施方式所述置信度为99％时所对应的待查表的一种示意图；图10为具体实施方式所述置信度为99.5％时所对应的待查表的一种示意图；图11为具体实施方式所述离群程度判断的一种流程示意图；图12为具体实施方式所述基于VBA语言的电性数据处理方法的另一种流程示意图。图13为具体实施方式所述存储介质的一种结构示意图。附图标记说明：210、存储介质。具体实施方式为详细说明技术方案的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，包括以下步骤：通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径；根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。

【技术特征摘要】
1.一种基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，包括以下步骤：通过界面获取产品信息，所述产品信息包括数据路径；根据产品信息中的数据路径载入产品的电性数据；判断载入的电性数据是否需要判断异常数据；若是，则进行数据异常判断，判断电性数据中的异常数据，并标出异常数据，将电性数据中的异常数据剔除后，进行计算得到电性数据的计算信息；若否，则直接对电性数据进行计算得到电性数据的计算信息；输出计算得到的电性数据的计算信息及根据电性数据绘制的图形，若电性数据中含有异常数据，则在绘制的图形中对应的位置标出异常数据，所述计算信息包括最大值、最小值、均值、标准差及良率。2.根据权利要求1所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述产品信息包括产品项目名称，所述“判断电性数据中的异常数据”具体包括以下步骤：根据产品项目名称，将对应产品项目名称的电性数据逐一与规格信息进行比对，当电性数据超出规格信息的范围，则该电性数据为异常数据，所述规格信息包括上限值、下限值、项目单位及目标值。3.根据权利要求1所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述“判断电性数据中的异常数据”具体包括以下步骤：计算出电性数据中的最大值、最小值、平均值及标准差；求出最大值与平均值的差值的绝对值及最小值与平均值的差值的绝对值确定离群标记值；通过将离群标记值与平均值的差值的绝对值减去标准差，则得到离群标记值的残差值；将得到的残差值与待查表中查表值进行比对，若残差值大于查表值，则该离群标记值为离群值；将该离群值从电性数据中剔除，重新计算剔除该离群值后的电性数据中的离群值，直至计算得到电性数据中所有的离群值，所述离群值为异常数据。4.根据权利要求3所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述产品信息包括置信度；所述“将得到的残差值与待查表中查表值进行比对”具体包括：将得到的残差值与置信度对应的待查表中的查表值进行比对。5.根据权利要求4所述基于VBA语言的电性数据处理方法，其特征在于，所述“直至计算得到电性数据中所有的离群值”之后还包括以下步骤：将计算得到的所有离群值从电性数据中剔除得到初步结果；判断初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内；若不在预设范围内，则将初步结果的最大值及最小值中与初步结果的平均值的绝对差值大的数据标记为离群值；然后将离群值从初步结果中剔除，再次判断剔除离群值的初步结果中最大值除以最小值的值是否在预设范围内，直至初步结果中的所有数据都在预设范围内。...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈智广，吴淑芳，詹智梅，黄光伟，李立中，林伟铭，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35