喷镀被膜、喷镀用粉、喷镀用粉的制造方法和喷镀被膜的制造方法技术

提供喷镀被膜，是包含稀土氟化物和/或稀土氧氟化物的喷镀被膜，含有0.01～2质量％的碳或者1～1000ppm的钛或钼，并且在不含氧氟化物的情况下，用L

Manufacturing methods of spray coating, spray coating powder, spray coating powder and spray coating film

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】喷镀被膜、喷镀用粉、喷镀用粉的制造方法和喷镀被膜的制造方法
本专利技术涉及包含稀土元素的氟化物、或者该稀土元素的氟化物和稀土元素的氧氟化物的喷镀被膜、用于得到该喷镀被膜的喷镀用粉、该喷镀用粉的制造方法和该喷镀被膜的制造方法。
技术介绍
近年来，由于稀土氟化物在高温下比较稳定，因此为了通过在耐等离子体构件用途中使用稀土氟化物从而实现初期颗粒减少、构件的长寿命化，进行了形成了稀土氟化物喷镀被膜的构件的开发。例如为使用了卤素气体的等离子体蚀刻装置用构件。但是，通常，作为稀土氟化物的代表的氟化钇呈白色，因此对于使用了卤素气体的等离子体蚀刻装置构件而言，在使用后抗蚀剂分解物的残渣附着，产生变色为茶色的部分。另外，由于等离子体蚀刻的影响，发生部分地从白色变色为黑色的现象(色中心引起的霍尔缺损等)，因此重点地清洗该部分，结果存在如下问题：原本具有耐等离子体性而能够长寿命化，却通过清洗而使寿命降低。应予说明，作为现有技术文献，可列举出下述专利文献1～6。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-100039号公报专利文献2：日本特开2012-238894号公报专利文献3：日本专利第3894313号公报专利文献4：日本特开2014-010638号公报专利文献5：日本专利第5396672号公报专利文献6：日本特开2016-079258号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术鉴于上述实际情况而完成，目的在于提供在喷镀构件的使用后等部分的颜色的变化少的喷镀被膜、用于得到该喷镀被膜的喷镀用粉和该喷镀用粉、该喷镀被膜的制造方法。用于解决课题的手段本专利技术人为了实现上述目的而进行了深入研究，结果完成了本专利技术。即，上述的问题在于稀土氟化物、包含氧氟化物的稀土氟化物基本上呈白色，从这点出发，为了将这些稀土氟化物着色为灰色或黑色，考虑添加其他元素。不过，对于耐等离子体构件而言，由于主要在半导体制造工艺中使用，因此需要考虑防污染的这点，也要抑制其添加量已变得必要，因此要求使用少量的添加元素来形成呈规定色度的白色或者灰色乃至黑色的稀土氟化物、包含氧氟化物的稀土氟化物的喷镀被膜。因此，鉴于该要求，继续研究，结果获知特别是含有碳、或者钛或钼时，特别是在碳的情况下含有0.01～2质量％、在钛、钼的情况下含有1～1000ppm是有效的，进一步对L*a*b*色度表示进行了各种研究，结果获知：通过使用用L*a*b**色度表示呈L*为25以上且不到91、有时25～64、a*为-3.0～+5.0、b*为-6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色的稀土氟化物或包含氧氟化物的稀土氟化物的喷镀用粉，从而得到可实现本专利技术的目的的呈白色或者灰色乃至黑色的喷镀被膜，完成了本专利技术。因此，作为第一专利技术，提供下述喷镀被膜、喷镀用粉和该喷镀用粉的制造方法。[1]喷镀被膜，其特征在于，是包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)～(5)中的1种或2种以上的混合物的喷镀被膜，(1)选自包含钇的3A族的稀土元素中的1种以上的稀土元素的氟化物(2)上述稀土元素的氧氟化物(3)上述稀土元素的氧化物(4)上述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物(5)上述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物含有0.004～2质量％的碳或者含有1～1000ppm的钛或钼，并且在不含上述(2)的氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示，呈L*为25～64、a*为-3.0～+5.0、b*为-6.0～+8.0的灰色乃至黑色，在包含上述(2)的氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示，呈L*为25以上且不到91、a*为-3.0～+5.0、b*为-6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。[2][1]的喷镀被膜，其中，稀土元素为选自Y、Gd、Yb、La中的1种以上。[3][1]或[2]的喷镀被膜，其中，氧含量为0.01～13.5质量％。[4][1]～[3]中任一项的喷镀被膜，其中，碳含量为0.004～0.15质量％。[5]喷镀用粉，其特征在于，是包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)～(6)中的1种或2种以上的混合物的喷镀用粉，(1)选自包含钇的3A族的稀土元素中的1种以上的稀土元素的氟化物(2)上述稀土元素的氧氟化物(3)上述稀土元素的氧化物(4)上述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物(5)上述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物(6)选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的氧化物含有0.004～2质量％的碳或者含有1～1000ppm的钛或钼，并且用L*a*b*色度表示，呈L*为25以上且不到91、a*为-3.0～+5.0、b*为-6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。[6][5]的喷镀用粉，其中，稀土元素为选自Y、Gd、Yb、La中的1种以上。[7][5]或[6]的喷镀用粉，其中，氧含量为0.01～13.5质量％。[8][5]～[7]中任一项的喷镀用粉，其为经烧成的喷镀用粉，碳含量为0.004～0.15质量％。[9][5]～[7]中任一项的喷镀用粉，其为未烧成的喷镀用粉，碳含量为0.004～1.5质量％。[10]喷镀用粉的制造方法，是制造[5]～[8]中任一项的喷镀用粉的方法，其特征在于，将包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)～(6)中的1种或2种以上的混合物的呈白色的粉与以喷镀用粉的碳浓度成为0.004～2质量％的方式使用的碳源的浆料干燥、焙烧、烧成，得到用L*a*b*色度表示呈L*为25以上且不到91、a*为-3.0～+5.0、b*为-6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色的喷镀用粉。(1)选自包含钇的3A族的稀土元素中的1种以上的稀土元素的氟化物(2)上述稀土元素的氧氟化物(3)上述稀土元素的氧化物(4)上述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物(5)上述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物(6)选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的氧化物[11][10]的喷镀用粉的制造方法，其中，在氮气中500～800℃下进行了焙烧后，在真空或非活性气体气氛中在800～1000℃下将经焙烧的粉烧成。[12][10]或[11]的喷镀用粉的制造方法，其中，包括上述(1)和/或(2)、或者上述(1)和/或(2)与选自上述(3)～(6)中的1种或2种以上的混合物的呈白色的粉的氧含量为0.01～13.5质量％。[13][10]～[12]中任一项的制造方法，其中，以喷镀用粉的碳浓度成为0.004～0.15质量％的方式使用碳源。[14]喷镀用粉的制造方法，是制造[5]～[8]中任一项的喷镀用粉的方法，其特征在于，将包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)～(6)中的1种或2种以上的混合物的呈白色的粉、聚乙烯醇、以喷镀用粉的钛或钼的浓度成为1～1000ppm的方式使用的钛或钼的水溶性盐的浆料造粒干燥、烧成，得到用L*a*b*色度表示呈L*为25以上且不到91、a*本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.喷镀被膜，其特征在于，是包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)～(5)中的1种或2种以上的混合物的喷镀被膜，(1)选自包含钇的3A族的稀土元素中的1种以上的稀土元素的氟化物(2)所述稀土元素的氧氟化物(3)所述稀土元素的氧化物(4)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物(5)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物含有0.004～2质量％的碳或者含有1～1000ppm的钛或钼，并且在不含所述(2)的氧氟化物的情况下，用L

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.01 JP 2017-0381741.喷镀被膜，其特征在于，是包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)～(5)中的1种或2种以上的混合物的喷镀被膜，(1)选自包含钇的3A族的稀土元素中的1种以上的稀土元素的氟化物(2)所述稀土元素的氧氟化物(3)所述稀土元素的氧化物(4)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物(5)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物含有0.004～2质量％的碳或者含有1～1000ppm的钛或钼，并且在不含所述(2)的氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示，呈L*为25～64、a*为-3.0～+5.0、b*为-6.0～+8.0的灰色乃至黑色，在包含所述(2)的氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示，呈L*为25以上且不到91、a*为-3.0～+5.0、b*为-6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。2.根据权利要求1所述的喷镀被膜，其中，稀土元素为选自Y、Gd、Yb、La中的1种以上。3.根据权利要求1或2所述的喷镀被膜，其中，氧含量为0.01～13.5质量％。4.根据权利要求1～3中任一项所述的喷镀被膜，其中，碳含量为0.004～0.15质量％。5.喷镀用粉，其特征在于，是包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)～(6)中的1种或2种以上的混合物的喷镀用粉，(1)选自包含钇的3A族的稀土元素中的1种以上的稀土元素的氟化物(2)所述稀土元素的氧氟化物(3)所述稀土元素的氧化物(4)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物(5)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物(6)选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的氧化物含有0.004～2质量％的碳或者含有1～1000ppm的钛或钼，并且用L*a*b*色度表示，呈L*为25以上且不到91、a*为-3.0～+5.0、b*为-6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。6.根据权利要求5所述的喷镀用粉，其中，稀土元素为选自Y、Gd、Yb、La中的1种以上。7.根据权利要求5或6所述的喷镀用粉，其中，氧含量为0.01～13.5质量％。8.根据权利要求5～7中任一项所述的喷镀用粉，其为经烧成的喷镀用粉，碳含量为0.004～0.15质量％。9.根据权利要求5～7中任一项所述的喷镀用粉，其为未烧成的喷镀用粉，碳含量为0.004～1.5质量％。10.喷镀用粉的制造方法，是制造根据权利要求5～8中任一项所述的喷镀用粉的方法，其特征在于，将包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)～(6)中的1种或2种以上的混合物的呈白色的粉与以喷镀用粉的碳浓度成为0.004～2质量％的方式使用的碳源的浆料干燥、焙烧、烧成，得到用L*a*b*色度表示呈L*为25以上且不到91、a*为-3.0～+5.0、b*为-6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色的喷镀用粉，(1)选自包含钇的3A族的稀土元素中的1种以上的稀土元素的氟化物(2)所述稀土元素的氧氟化物(3)所述稀土元素的氧化物(4)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物(5)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物(6)选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的氧化物。11.根据权利要求10所述的喷镀用粉的制造方法，其中，在氮气中500～800℃下进行了焙烧后，在真空或非活性气体气氛中在800～1000℃下将经焙烧的粉烧成。12.根据权利要求10或11所述的喷镀用粉的制造方法，其中，包括所述(1)和/或(2)、或者所述(1)和/或(2)与选自所述(3)～...

【专利技术属性】
技术研发人员：浜谷典明，植原一郎，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP