一种柔性电阻式湿度传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性电阻式湿度传感器及其制备方法，所述传感器包括柔性基底、石墨烯图案层、外接测量电路，石墨烯图案层设置在柔性基底上，石墨烯图案层与外接测量电路相连，石墨烯图案层的图案是连通的。所述制备方法包含以下步骤：在柔性基底表面，利用为2～5W的CO2激光器激光刻蚀石墨烯导电图案；将所形成的石墨烯图案的两端与外部电阻测量电路连接。本发明专利技术的湿度传感器本身是超轻薄的，结构简单；图案设计具有很大发展空间，且能够通过设计不同的图案给出不同的性能表现；能够采用印刷技术进行制备，易于大规模生产制备；具有较高的精度和灵活性。

A flexible resistance humidity sensor and its preparation

【技术实现步骤摘要】
一种柔性电阻式湿度传感器及其制备方法
本专利技术涉及传感器及其制法，具体为一种柔性电阻式湿度传感器及其制备方法。
技术介绍
由于湿度在多种情况下对实际活动有着重要的影响，因而用于检测湿度的湿度传感器有着广泛的应用，例如军事、气象、农业、工业控制、医疗器械等领域。湿度传感器的湿敏元件主要可以分为电阻式和电容式两种类型，传统的湿度传感器主要采用陶瓷、有机高分子和半导体材料等，存在机械脆性、刚性、灵敏度不足等问题，使用场景受限。近年来，随着新型柔性传感器和新型纳米材料的大力发展，柔性湿度传感器与基于纳米材料的湿度传感器相继出现，柔性传感器具有高灵活性的优势，而纳米材料湿度传感器则具有超高灵敏度的优势，如何实现基于纳米材料的柔性湿度传感器，从而结合两种优势已经成为近年来湿度传感器研究热点之一。现有的柔性纳米材料湿度传感器器件大多采用微机电系统或者晶体管工艺，成品工艺精细，能够达到较高的精度和灵活性，但同时，对应的制备难度较大，制备基础要求较高，成本高昂，难以实现快速的大规模的制备。
技术实现思路
专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本专利技术目的是提供一种灵敏度高的柔性电阻式湿度传感器，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性电阻式湿度传感器，其特征在于：包括柔性基底(3)、石墨烯图案层(2)、外接测量电路(1)，所述石墨烯图案层(2)设置在柔性基底(3)上，所述石墨烯图案层(2)与外接测量电路(1)相连，所述石墨烯图案层(2)的图案是连通的。

【技术特征摘要】
1.一种柔性电阻式湿度传感器，其特征在于：包括柔性基底(3)、石墨烯图案层(2)、外接测量电路(1)，所述石墨烯图案层(2)设置在柔性基底(3)上，所述石墨烯图案层(2)与外接测量电路(1)相连，所述石墨烯图案层(2)的图案是连通的。2.根据权利要求1所述的一种柔性电阻式湿度传感器，其特征在于：所述柔性基底(3)是与聚酰亚胺具有相同吸湿线性膨胀性质的柔性薄膜，所述柔性薄膜为聚酰亚胺或聚丙烯酸钠。3.根据权利要求1所述的一种柔性电阻式湿度传感器，其特征在于：所述石墨烯图案层(2)直接通过激光刻蚀柔性基底(3)本身碳化制备。4.根据权利要求1所述的一种柔性电阻式湿度传感器，其特征在于：所述石墨烯图案层(2)通过在柔性薄膜表面覆盖氧化石墨烯层，然后通过激光刻蚀还原氧化石墨...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴俊，洪剑龙，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32