加工装置制造方法及图纸

提供加工装置，不会看漏最新的加工槽，能够始终识别出最新的加工槽。切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其在被加工物上形成加工槽；拍摄单元，其对被加工物进行拍摄；显示单元，其显示出利用拍摄单元进行拍摄而得到的加工槽的拍摄图像；以及控制单元，其对显示单元的显示画面进行显示控制，控制单元根据最新的加工槽的Y坐标而将指示出最新的加工槽的标记与拍摄图像重叠地显示于显示单元。

Processing device

【技术实现步骤摘要】
加工装置
本专利技术涉及对被加工物进行加工的加工装置。
技术介绍
在加工装置中设置有对准用的拍摄单元，将拍摄单元的显微镜的基准线定位于被称为间隔道的被加工物的加工预定线，从而沿着间隔道对被加工物进行加工。在该情况下，在加工装置的控制单元中预先登记有被加工物上的目标图案、目标图案至间隔道中央的距离、间隔道之间的距离(转位值)等。然后，通过显微镜找到被加工物上的目标图案，从而将显微镜的基准线定位于间隔道的中央。另外，在加工时，实施使拍摄单元的显微镜的基准线与加工单元的中心线对齐的作业，即实施所谓的标线对齐(例如，参照专利文献1)。在标线对齐中，在被加工物的正面上形成加工槽并进行拍摄，计算出显微镜的基准线相对于加工槽的中心位置的偏移。然后，由于加工槽的中心位置与显微镜的基准线的偏移体现为加工单元与显微镜的偏移，因此将通过使用该偏移作为校正量而使加工槽的中心位置与显微镜的基准线一致后的位置作为原点位置而存储于控制单元。专利文献1：日本特开2012-146831号公报另外，当继续对被加工物进行加工时，由于加工单元的中心位置与显微镜的基准线的位置关系开始产生偏移，因此存在将加工暂时中断而实施标线对齐的情况。在以手动的方式实施标线对齐的情况下，必须将显微镜的基准线定位于加工中断时的最新的加工槽的中心位置。当在实施标线对齐之前实施多个加工槽的品质检查等而看漏了最新的加工槽时，有可能错误地利用其他加工槽实施标线对齐等。
技术实现思路
本专利技术是鉴于该点而完成的，其目的之一在于提供加工装置，不会看漏最新的加工槽，能够始终识别出最新的加工槽。根据本专利技术的一个方式，提供加工装置，该加工装置包含：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其在该卡盘工作台所保持的被加工物上形成加工槽；加工进给单元，其使该卡盘工作台和该加工单元相对地在作为X轴方向的加工进给方向上移动；分度进给单元，其使该卡盘工作台和该加工单元相对地在作为与该加工进给方向垂直的Y轴方向的分度进给方向上移动；拍摄单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄；显示单元，其利用该拍摄单元对加工槽进行拍摄而显示出加工槽的拍摄图像，该加工槽是利用该加工单元对被加工物进行加工而形成的；以及控制单元，其中，该控制单元包含：最新加工槽Y坐标存储部，其对最新的加工槽的Y坐标进行存储；以及显示控制部，其根据该Y坐标而将指示最新的加工槽的标记与显示于该显示单元的拍摄图像重叠地进行显示。根据该结构，通过显示单元将指示出最新的加工槽的标记与拍摄图像重叠地进行显示。通过拍摄图像上的标记来指示最新的加工槽，因此能够使操作者始终识别出最新的加工槽的位置。另外，即使移动拍摄单元而对与最新的加工槽不同的部位进行确认，也不会看漏最新的加工槽。在本专利技术的一个方式的加工装置中，也可以是，该显示控制部根据该拍摄单元的当前拍摄位置和该最新的加工槽的该Y坐标来切换该标记所指示的方向。根据本专利技术，通过将指示出最新的加工槽的标记与拍摄图像重叠地进行显示，不会看漏最新的加工槽，能够使操作者始终识别出最新的加工槽的位置。附图说明图1是本实施方式的切削装置的外观立体图。图2是本实施方式的切削装置的内部的立体图。图3的(A)和图3的(B)是示出比较例的停止画面的一例的图。图4是示出本实施方式的显示单元的显示控制的框图。图5的(A)、图5的(B)以及图5的(C)是示出本实施方式的停止画面的一例的图。图6的(A)、图6的(B)、图6的(C)以及图6的(D)是示出本实施方式的显示控制的一例的图。标号说明1：切削装置(加工装置)；14：卡盘工作台；50：加工进给单元；60：分度进给单元；70：加工单元；71：切削刀具；73：拍摄单元；75：显示单元；80：控制单元；81：最新加工槽Y坐标存储部；82：标记存储部；83：显示控制部；85a：标记；85b：标记；91：拍摄图像；92：加工槽；93：基准线；W：被加工物。具体实施方式以下，参照附图对本实施方式的切削装置进行说明。图1是本实施方式的切削装置的外观立体图。图2是本实施方式的切削装置的内部的立体图。图3的(A)和图3的(B)是示出比较例的停止画面的一例的图。另外，在本实施方式中，作为加工装置，例示出切削装置进行说明，但加工装置只要是形成加工槽的加工装置，则没有特别限定。如图1所示，在切削装置1上设置有受理来自操作者的操作的显示单元75，通过显示单元75在切削装置1中设定各种加工条件。切削装置1构成为根据显示单元75所设定的设定条件，使切削刀具71(参照图2)和卡盘工作台14所保持的被加工物W相对地移动，从而沿着间隔道对卡盘工作台14上的被加工物W进行加工。被加工物W的正面由格子状的间隔道划分成多个区域，在所划分的各区域形成有各种器件。在被加工物W上粘贴有划片带T，在划片带T的外周粘贴有环状框架F。被加工物W在借助划片带T而支承于环状框架F的状态下被搬入至切削装置1。另外，被加工物W只要是作为加工对象的被加工物即可，例如可以是已形成器件的半导体晶片或光器件晶片。另外，关于划片带T，除了在带基材上涂布粘接层而成的通常的粘接带以外，也可以是在带基材上粘贴DAF而成的DAF(DaiAttachFilm：粘片膜)带。切削装置1具有：长方体状的壳体10，其覆盖切削加工的加工空间；以及支承台13，其与壳体10相邻并形成待机空间及清洗空间。支承台13的上表面中央按照朝向壳体10内延伸的方式开口，该开口被能够与卡盘工作台14一起移动的移动板15和波纹状的防水罩16覆盖。在防水罩16的下方设置有使卡盘工作台14在作为X轴方向的加工进给方向上移动的加工进给单元50(参照图2)。在图1中，示出使卡盘工作台14移动至壳体10的外部而在支承台13上待机的状态。卡盘工作台14由多孔陶瓷材料形成保持面17，通过在该保持面17上产生的负压而对被加工物W进行吸引保持。在卡盘工作台14的周围设置有空气驱动式的四个夹具18，通过各夹具18从四周对被加工物W的周围的环状框架F进行夹持固定。在卡盘工作台14的上方设置有沿Y轴方向延伸的一对定心引导件21。通过一对定心引导件21的X轴方向上的远离或接近而进行被加工物W相对于卡盘工作台14的X轴方向上的定位。在支承台13上，在卡盘工作台14的旁边设置有载置盒的升降机单元22。在升降机单元22中，载置有盒的载台23进行升降而在高度方向上调整盒内的被加工物W的出入位置。在壳体10的侧面11上设置有推挽臂24，其一边通过一对定心引导件21对环状框架F进行引导一边使被加工物W相对于盒取出放入。另外，在壳体10的侧面11上设置有搬入臂31、搬出臂41，它们在一对定心引导件21与卡盘工作台14之间对被加工物W进行搬送。推挽臂24利用配设于壳体10的侧面11的水平移动机构25进行驱动。水平移动机构25具有：与Y轴方向平行的一对导轨26，它们配设在壳体10的侧面11上；以及电动机驱动的滑块27，其以能够滑动的方式设置在一对导轨26上。在滑块27的背面侧形成有未图示的螺母部，在该螺母部中螺合有滚珠丝杠28。通过使与滚珠丝杠28的一个端部连结的驱动电动机29进行旋转驱动，从而使推挽臂24沿着一对导轨26在Y轴方向上实施推挽动作。搬入臂31和搬出臂41利用配设于壳体10的侧面11的水平移动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加工装置，其包含：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其在该卡盘工作台所保持的被加工物上形成加工槽；加工进给单元，其使该卡盘工作台和该加工单元相对地在作为X轴方向的加工进给方向上移动；分度进给单元，其使该卡盘工作台和该加工单元相对地在作为与该加工进给方向垂直的Y轴方向的分度进给方向上移动；拍摄单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行拍摄；显示单元，其利用该拍摄单元对加工槽进行拍摄而显示出加工槽的拍摄图像，该加工槽是利用该加工单元对被加工物进行加工而形成的；以及控制单元，其中，该控制单元包含：最新加工槽Y坐标存储部，其对最新的加工槽的Y坐标进行存储；以及显示控制部，其根据该Y坐标而将指示最新的加工槽的标记与显示于该显示单元的拍摄图像重叠地进行显示。

【技术特征摘要】
2018.04.13 JP 2018-0773571.一种加工装置，其包含：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；加工单元，其在该卡盘工作台所保持的被加工物上形成加工槽；加工进给单元，其使该卡盘工作台和该加工单元相对地在作为X轴方向的加工进给方向上移动；分度进给单元，其使该卡盘工作台和该加工单元相对地在作为与该加工进给方向垂直的Y轴方向的分度进给方向上移动；拍摄单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：柏木启司，宫田谕，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本,JP