喷射材料注入方法、喷射材料喷射装置和压印装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及喷射材料注入方法、喷射材料喷射装置和压印装置。通过管将喷射材料注入容器中。此后，所述管在被闭塞部分处被闭塞，然后所述管被截断。所述管被截断使得所述被闭塞部分包括在所述管的连接到所述容器的部分中。

【技术实现步骤摘要】
喷射材料注入方法、喷射材料喷射装置和压印装置
本专利技术涉及一种用于液体或液体状喷射材料的注入方法和喷射装置，以及包括该喷射装置的压印装置。
技术介绍
日本专利No.5761334描述了一种将液体注入管插入闭塞液盒的容器开口的弹性塞中的方法，以便将液体(喷射材料)注入容器中，液体从喷射头中喷射。在通过注入管将液体注入容器之后，将注入管从塞中拔出。近年来，设计用于使其上具有图案的模具与施加到基板上的压印材料接触并且因此将模具上的形状转印到压印材料上以在其上形成图案的压印装置已经实际应用于半导体器件等的制造工艺中。为了将压印材料施加到基板上，这种压印装置使用配置成将容纳在容器中的压印材料从喷射头喷射的喷射装置等。要作为喷射材料从喷射头喷射的压印材料需要具有高清洁度。日本专利No.5761334中描述的注入液体的方法具有这样的风险：当将注入管插入容器上的塞以及将注入管从塞中拔出时，允许在外部空间中漂浮的异物进入容器。此外，还存在由容器上的塞和注入管之间的摩擦产生的另一异物进入液体的风险。由于这些原因，通过日本专利No.5761334中描述的注入方法，无法将要求具有高清洁度的喷射材料(例如压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷射材料注入方法，将喷射材料注入喷射装置中的容器中，该喷射装置能够将所述容器中的喷射材料从喷射头喷射，该方法包括：连接步骤，其通过使用管将所述容器和构造成容纳喷射材料的储料箱彼此连接；注入步骤，其通过所述管将所述储料箱中的喷射材料注入所述容器中；闭塞步骤，其在所述注入步骤之后，在所述管连接在所述储料箱和所述容器之间的状态下闭塞所述管；以及截断步骤，其在所述闭塞步骤之后截断所述管，使得所述管分隔成连接到所述容器的第一部分和连接到所述储料箱的第二部分，并且所述管的在所述闭塞步骤中闭塞的被闭塞部分包括在所述第一部分中。

【技术特征摘要】
2018.04.11 JP 2018-076100;2018.12.25 JP 2018-241281.一种喷射材料注入方法，将喷射材料注入喷射装置中的容器中，该喷射装置能够将所述容器中的喷射材料从喷射头喷射，该方法包括：连接步骤，其通过使用管将所述容器和构造成容纳喷射材料的储料箱彼此连接；注入步骤，其通过所述管将所述储料箱中的喷射材料注入所述容器中；闭塞步骤，其在所述注入步骤之后，在所述管连接在所述储料箱和所述容器之间的状态下闭塞所述管；以及截断步骤，其在所述闭塞步骤之后截断所述管，使得所述管分隔成连接到所述容器的第一部分和连接到所述储料箱的第二部分，并且所述管的在所述闭塞步骤中闭塞的被闭塞部分包括在所述第一部分中。2.根据权利要求1所述的喷射材料注入方法，其中，在所述截断步骤中截断所述管，使得所述被闭塞部分也包括在所述第二部分中。3.根据权利要求1所述的喷射材料注入方法，其中，在所述闭塞步骤中，通过使所述管变形来稳定所述管的闭塞状态。4.根据权利要求3所述的喷射材料注入方法，其中，在所述闭塞步骤中，通过施加外力使所述管变形。5.根据权利要求3所述的喷射材料注入方法，其中，在所述闭塞步骤中通过加热使所述管变形。6.根据权利要求1所述的喷射材料注入方法，其中，所述闭塞步骤包括固化过程，该固化过程将所述管中的喷射材料固化从而闭塞所述管。7.根据权利要求1所述的喷射材料注入方法，其中，多个所述管包括：第一管，其将所述储料箱的第一连接端口连接到所述容器的第一被连接端口；以及第二管，其将所述储料箱的第二连接端口连接到所述容器的第二被连接端口，并且在所述注入步骤中，通过所述第一管将所述储料箱中的喷射材料引入所述容器中，并且通过所述第二管将所述容器中的气体抽入所述储料箱中。8.根据权利要求7所述的喷射材料注入方法，其中，在所述闭塞步骤中，闭塞所述第一管，然后闭塞所述第二管。9.根据权利要求7所述的喷射材料注入方法，还包括：循环步骤，其通过所述第一管和所述第二管使所述喷射材料在所述储料箱和所述容器之间循环。10.根据权利要求1所述的喷射材料注入方法，还包括：检测步骤，其检测在所述容器中的喷射材料和所述管中的喷射材料中的至少一个中容纳的异物的量，并且在所述检测步骤中检测到的异物的量下降到或低于预定量的条件下，在所述闭塞步骤中闭塞所述管...

【专利技术属性】
技术研发人员：三田裕，新井刚，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP