【技术实现步骤摘要】
半导体激光器综合性能测试系统
本技术涉及半导体激光器检测技术,特别是涉及一种半导体激光器综合性能测试系统。
技术介绍
高功率半导体激光器由于其小体积、高效率、长寿命、大功率等诸多优点,被广泛应用于医疗、工业加工等许多领域。封装质量是半导体激光器质量的重要影响因素。芯片封装工艺作为激光器制作的重要工艺,是高功率半导体激光器应用的重要限制因素,其封装质量直接影响半导体激光器的功率、阈值电流、波长、和偏振态等输出特性,同时影响半导体激光器的可靠性和寿命。为确定半导体激光器芯片的封装质量,一般需要对半导体激光器芯片的输出特性进行测试;然而,现有的半导体激光器测试系统较为单一,只能对功率、波长、或偏振态进行单独测试,无法做到功率、波长、及偏振态的同时测试。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种可对半导体激光器输出的功率、波长、及偏振态同时测试的半导体激光器综合性能测试系统。一种半导体激光器综合性能测试系统,包括:测试平台、设置在所述测试平台上的光学模组、设置在所述测试平台上的功率检测组件、设置在所述测试平台上的光谱检测机构、及数据处理装置;所述光学模组包括设置在所述测试平台上的光学 ...
【技术保护点】
1.一种半导体激光器综合性能测试系统,其特征在于,包括:测试平台、设置在所述测试平台上的光学模组、设置在所述测试平台上的功率检测组件、设置在所述测试平台上的光谱检测机构、及数据处理装置;所述光学模组包括设置在所述测试平台上的光学整形透镜、及与所述光学整形透镜对应的偏振分光器件;所述功率检测组件包括与所述偏振分光器件对应的第一功率计、及与所述偏振分光器件对应的第二功率计;所述第一功率计、所述第二功率计的功率检测值输出至所述数据处理装置;所述光谱检测机构包括设置在所述测试平台上的支架、连接所述支架的测试光纤、及连接所述测试光纤的光谱采集器;所述光谱采集器转换产生的光谱数据输出至 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器综合性能测试系统,其特征在于,包括:测试平台、设置在所述测试平台上的光学模组、设置在所述测试平台上的功率检测组件、设置在所述测试平台上的光谱检测机构、及数据处理装置;所述光学模组包括设置在所述测试平台上的光学整形透镜、及与所述光学整形透镜对应的偏振分光器件;所述功率检测组件包括与所述偏振分光器件对应的第一功率计、及与所述偏振分光器件对应的第二功率计;所述第一功率计、所述第二功率计的功率检测值输出至所述数据处理装置;所述光谱检测机构包括设置在所述测试平台上的支架、连接所述支架的测试光纤、及连接所述测试光纤的光谱采集器;所述光谱采集器转换产生的光谱数据输出至所述数据处理装置;所述支架与所述光学模组对应设置。2.根据权利要求1所述的半导体激光器综合性能测试系统,其特征在于,还包括温控组件,所述温控组件包括TEC温控器、及连接所述TEC温控器的制冷片;所述制冷片设置在所述测试平台上。3.根据权利要求2所述的半导体激光器综合性能测试系统,其特征在于,还包括芯片夹持机构,所述芯片夹持机构包括安装在所述测试平台上的下压治具、安装在所述下压治具上的芯片压板、安装在所述测试平台上的冷却支柱、安装在所述冷却支柱上的放置板、及设置在所述放置板上的导热底座;所述芯片压板与所述放置板对应设置;所述制冷片设置在所述放置板下侧。4.根据权利要求3所...
【专利技术属性】
技术研发人员:文少剑,廖东升,
申请(专利权)人:深圳市杰普特光电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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