半导体激光器综合性能测试系统技术方案

技术编号:22349567 阅读:244 留言:0更新日期:2019-10-19 18:09
一种半导体激光器综合性能测试系统,包括测试平台、光学模组、设置在测试平台上的功率检测组件、设置在测试平台上的光谱检测机构、及数据处理装置;光学模组包括设置在测试平台上的光学整形透镜、及与光学整形透镜对应的偏振分光器件;功率检测组件包括与偏振分光器件对应的第一功率计、第二功率计;第一功率计、第二功率计的功率检测值输出至数据处理装置;光谱检测机构包括设置在测试平台上的支架、连接支架的测试光纤、及连接测试光纤的光谱采集器;光谱采集器转换产生的光谱数据输出至数据处理装置;支架与光学模组对应设置;数据处理装置同时根据光谱数据而分析得出半导体激光器的波长特性,从而提高了对半导体激光器的测试效率。

A test system for the comprehensive performance of semiconductor lasers

【技术实现步骤摘要】
半导体激光器综合性能测试系统
本技术涉及半导体激光器检测技术,特别是涉及一种半导体激光器综合性能测试系统。
技术介绍
高功率半导体激光器由于其小体积、高效率、长寿命、大功率等诸多优点,被广泛应用于医疗、工业加工等许多领域。封装质量是半导体激光器质量的重要影响因素。芯片封装工艺作为激光器制作的重要工艺,是高功率半导体激光器应用的重要限制因素,其封装质量直接影响半导体激光器的功率、阈值电流、波长、和偏振态等输出特性,同时影响半导体激光器的可靠性和寿命。为确定半导体激光器芯片的封装质量,一般需要对半导体激光器芯片的输出特性进行测试;然而,现有的半导体激光器测试系统较为单一,只能对功率、波长、或偏振态进行单独测试,无法做到功率、波长、及偏振态的同时测试。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种可对半导体激光器输出的功率、波长、及偏振态同时测试的半导体激光器综合性能测试系统。一种半导体激光器综合性能测试系统,包括:测试平台、设置在所述测试平台上的光学模组、设置在所述测试平台上的功率检测组件、设置在所述测试平台上的光谱检测机构、及数据处理装置;所述光学模组包括设置在所述测试平台上的光学整形透镜、及与所述光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体激光器综合性能测试系统,其特征在于,包括:测试平台、设置在所述测试平台上的光学模组、设置在所述测试平台上的功率检测组件、设置在所述测试平台上的光谱检测机构、及数据处理装置;所述光学模组包括设置在所述测试平台上的光学整形透镜、及与所述光学整形透镜对应的偏振分光器件;所述功率检测组件包括与所述偏振分光器件对应的第一功率计、及与所述偏振分光器件对应的第二功率计;所述第一功率计、所述第二功率计的功率检测值输出至所述数据处理装置;所述光谱检测机构包括设置在所述测试平台上的支架、连接所述支架的测试光纤、及连接所述测试光纤的光谱采集器;所述光谱采集器转换产生的光谱数据输出至所述数据处理装置;所...

【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器综合性能测试系统,其特征在于,包括:测试平台、设置在所述测试平台上的光学模组、设置在所述测试平台上的功率检测组件、设置在所述测试平台上的光谱检测机构、及数据处理装置;所述光学模组包括设置在所述测试平台上的光学整形透镜、及与所述光学整形透镜对应的偏振分光器件;所述功率检测组件包括与所述偏振分光器件对应的第一功率计、及与所述偏振分光器件对应的第二功率计;所述第一功率计、所述第二功率计的功率检测值输出至所述数据处理装置;所述光谱检测机构包括设置在所述测试平台上的支架、连接所述支架的测试光纤、及连接所述测试光纤的光谱采集器;所述光谱采集器转换产生的光谱数据输出至所述数据处理装置;所述支架与所述光学模组对应设置。2.根据权利要求1所述的半导体激光器综合性能测试系统,其特征在于,还包括温控组件,所述温控组件包括TEC温控器、及连接所述TEC温控器的制冷片;所述制冷片设置在所述测试平台上。3.根据权利要求2所述的半导体激光器综合性能测试系统,其特征在于,还包括芯片夹持机构,所述芯片夹持机构包括安装在所述测试平台上的下压治具、安装在所述下压治具上的芯片压板、安装在所述测试平台上的冷却支柱、安装在所述冷却支柱上的放置板、及设置在所述放置板上的导热底座;所述芯片压板与所述放置板对应设置;所述制冷片设置在所述放置板下侧。4.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员:文少剑廖东升
申请(专利权)人:深圳市杰普特光电股份有限公司
类型:新型
国别省市:广东,44

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