悬吊式晶圆盒定位装置制造方法及图纸

一种悬吊式晶圆盒定位装置，适用于安装在高架轨道上，并包含承载单元、固置单元、驱动单元、连动单元及锁扣单元。所述承载单元包括定位在所述高架轨道上的主载板，所述固置单元包括定位在所述主载板底侧的第一固定座及第二固定座，所述驱动单元包括定位于所述第一固定座的动力件，所述动力件具有驱动杆，所述连动单元包括被该驱动杆驱动的连杆，所述锁扣单元包括与所述第二固定座枢接并被所述连杆连动的枢转座，及自该枢转座延伸且相对该晶圆盒的定位板在一解锁位置与一锁扣位置之间移动的扣压块。借此可以提高所述晶圆盒在所述高架轨道上的稳固性以维持晶圆的质量。

Suspended Wafer Box Positioning Device

【技术实现步骤摘要】
悬吊式晶圆盒定位装置
本专利技术涉及一种半导体设备，特别是涉及一种悬吊式晶圆盒定位装置。
技术介绍
为了节省使用空间以及提高作业效率，晶圆厂主要通过高架轨道输送晶圆盒，因为晶圆盒只是暂时被放置在高架轨道上，整体稳固性较差，所以受外力碰撞或进行充填气体作业时，晶圆盒极易产生晃动，严重影响放置在晶圆盒内的晶圆的质量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可以提高晶圆盒在高架轨道上的稳固性，以维持晶圆盒内的晶圆质量的悬吊式晶圆盒定位装置。本专利技术悬吊式晶圆盒定位装置，适用于安装在高架轨道上，所述晶圆盒具有盒体及定位在所述盒体底部且彼此间隔的定位板，所述悬吊式晶圆盒定位装置包含承载单元、固置单元、驱动单元、连动单元及锁扣单元，其特征在于：所述承载单元包括固定在所述高架轨道上，并位于所述定位板底侧的主载板；所述固置单元包括沿左右方向排列固定在所述主载板底侧的第一固定座及第二固定座，所述第二固定座具有界定出朝向所述第一固定座开放的第一容纳空间的第一本体，及自所述第一本体沿左右方向朝远离所述第一固定座延伸的枢块；所述驱动单元包括固定于所述第一固定座的动力件，所述动力件具有位于所述第一容纳空间内并能沿左右方向线性移动的驱动杆；所述连动单元包括位于所述第二固定座的前侧、后侧，且被所述驱动杆驱动的连杆；所述锁扣单元包括与所述枢块枢接并被所述连杆连动的枢转座，及自所述枢转座朝向顶端弯折延伸，且相对所述定位板在一解锁位置与一锁扣位置之间移动的扣压块。本专利技术所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述连杆具有与所述驱动杆连接的被驱动段，及反向于所述被驱动段并邻近所述枢块的连动段。本专利技术所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述驱动单元还包括连接于所述驱动杆的万向接头，所述第二固定座还具有沿左右方向设置于所述第一本体并连通所述容纳空间的长条导孔，所述连动单元还包括沿前后方向穿置在所述连杆的被驱动段、所述长条导孔、所述万向接头之间的第一连接轴。本专利技术所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述枢转座具有能相对于所述枢块转动地套置在所述枢块外的第二本体，所述锁扣单元还包括沿前后方向穿置在所述第二本体与所述枢块之间的枢轴，所述连动单元还包括穿置在所述连杆的连动段与所述枢转座之间的第二连接轴。本专利技术所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述第二本体还具有贯穿该第二本体的穿孔及连通所述穿孔的螺孔，所述锁扣单元还包括锁入所述螺孔并抵置所述第二连接轴的定位螺丝。本专利技术所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述定位板具有沿左右方向设置的开槽，所述主载板具有对准所述开槽的开孔，所述扣压块穿过所述开孔与所述开槽，并在所述解锁位置与所述锁扣位置之间移动。本专利技术悬吊式晶圆盒定位装置，适用于安装在高架轨道上，所述晶圆盒具有盒体及固定在所述盒体底部且彼此间隔的定位板，所述悬吊式晶圆盒定位装置包含承载单元、固置单元、驱动单元、连动单元及锁扣单元，其特征在于：所述承载单元包括固定在所述高架轨道上，并位于所述定位板底侧的主载板；所述固置单元包括沿左右方向排列固定在所述主载板底侧的第一固定座及第三固定座，所述第三固定座具有朝向底侧延伸的枢块；所述驱动单元包括固定于所述第一固定座的动力件，所述动力件具有朝向所述第三固定座延伸，并能沿左右方向线性移动的驱动杆；所述连动单元包括位于所述第三固定座的前侧、后侧，且被所述驱动杆驱动的连杆；所述锁扣单元包括位于所述第三固定座之间并与所述枢块枢接且被所述连杆连动的枢转座，及自所述枢转座朝向顶端延伸弯折，且相对所述定位板在一解锁位置与一锁扣位置之间移动的扣压块。本专利技术所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述连杆具有与所述驱动杆连接的被驱动段，及反向于所述被驱动段并邻近所述枢转座的连动段，所述驱动单元还包括连接于所述驱动杆的万向接头，所述连动单元还包括沿前后方向穿置在所述连杆的被驱动段与所述万向接头之间的第一连接轴。本专利技术所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述锁扣单元还包括沿前后方向穿置在所述枢转座与所述枢块之间的枢轴，所述连动单元还包括沿前后方向穿置在所述连杆的连动段与所述枢转座之间的第二连接轴。本专利技术所述的悬吊式晶圆盒定位装置，所述第三固定座还具有设置于所述枢块并沿顶底方向延伸的长条导孔，所述枢轴穿置在所述长条导孔与所述枢转座之间。本专利技术的有益效果在于：通过所述扣压块对所述定位板进行锁扣，可以提高所述晶圆盒在所述高架轨道上的稳固效果，可以维持放置在所述晶圆盒的盒体内的晶圆的质量。附图说明图1是本专利技术悬吊式晶圆盒定位装置的第一实施例的一立体图，显示该第一实施例安装在一高架轨道上；图2是本专利技术该第一实施例的一不完整的局部组合仰视图；图3是本专利技术该第一实施例的一不完整的局部分解立体图，显示一晶圆盒具有一盒体、一定位板及数个充气嘴；图4是本专利技术该第一实施例的一不完整的局部分解立体图；图5是本专利技术该第一实施例的一组合立体图；图6是本专利技术该第一实施例的一分解立体图；图7是本专利技术该第一实施例的一不完整的剖视图，显示一锁扣单元的一扣压块相对于一定位板位于一解锁位置；图8是类似图7的视图，显示该扣压块相对于该定位板位于一锁扣位置；图9是一不完整的局部分解立体图，显示本专利技术悬吊式晶圆盒定位装置的第二实施例安装在一高架轨道上并位于一晶圆盒的底侧；图10是本专利技术该第二实施例的一组合立体图；图11是本专利技术该第二实施例的一分解立体图；图12是本专利技术该第二实施例的一不完整的剖视图，显示一锁扣单元的一扣压块相对于一定位板位于一解锁位置；图13是类似图12的视图，显示该扣压块相对于该定位板位于一锁扣位置。具体实施方式下面结合附图及实施例对本专利技术进行详细说明，在本专利技术被详细描述前，应当注意在以下的说明内容中所使用的相对位置用语，例如“前后方向X”、“左右方向Y”、“顶底方向Z”，是以各图所示方位暨正常使用方位为基准，且类似的元件以相同的编号来表示。参阅图1至图4，本专利技术悬吊式晶圆盒定位装置适用于安装在一高架轨道10上，晶圆盒20具有一盒体21，一固定在该盒体21底部且与该盒体21彼此间隔的定位板22，及数个安装在该盒体21内用于将氮气充填入该盒体21内的充气嘴23，该定位板22具有一朝向左侧开放的开槽221及数个定位孔222，本专利技术的第一实施例包含一承载单元30、一固置单元40、一驱动单元50、一连动单元60及一锁扣单元70。该承载单元30包括一固定在该高架轨道10上的副载板31，及一固定在该副载板31顶侧的主载板32，该主载板32位于该定位板22与该副载板31之间且三者彼此间隔，并具有一个对准该开槽221的开孔321。值得说明的是，本专利技术可以省略该副载板31，直接将该主载板32固定在该高架轨道10上。该副载板31上安装有数个减震件111及数个导正件112，所述减震件111除了可以提供减震功能，同时具备将该主载板32与该副载板31隔开的作用，所述导正件112穿出该主载板32供该定位板22的数个定位孔222套置，使该定位板22能获得精准定位。由于所述减震件111、所述导正件112的结构，为本专利技术所属
的技术人员所易于了解，且其并非本专利技术的特点所在，故在此不赘述其详细结构。参阅图3至图6，该固置单元40包括沿该左右方向Y排列锁结固定在该主载板32底侧的一个第一固定座41及一个第二固定座42，该第二固定座42具有界定出一朝向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种悬吊式晶圆盒定位装置，适用于安装在高架轨道上，所述晶圆盒具有盒体及定位在所述盒体底部且彼此间隔的定位板，所述悬吊式晶圆盒定位装置包含承载单元、固置单元、驱动单元、连动单元及锁扣单元，其特征在于：所述承载单元包括固定在所述高架轨道上，并位于所述定位板底侧的主载板；所述固置单元包括沿左右方向排列固定在所述主载板底侧的第一固定座及第二固定座，所述第二固定座具有界定出朝向所述第一固定座开放的第一容纳空间的第一本体，及自所述第一本体沿左右方向朝远离所述第一固定座延伸的枢块；所述驱动单元包括固定于所述第一固定座的动力件，所述动力件具有位于所述第一容纳空间内并能沿左右方向线性移动的驱动杆；所述连动单元包括位于所述第二固定座的前侧、后侧，且被所述驱动杆驱动的连杆；所述锁扣单元包括与所述枢块枢接并被所述连杆连动的枢转座，及自所述枢转座朝向顶端弯折延伸，且相对所述定位板在一解锁位置与一锁扣位置之间移动的扣压块。

【技术特征摘要】
1.一种悬吊式晶圆盒定位装置，适用于安装在高架轨道上，所述晶圆盒具有盒体及定位在所述盒体底部且彼此间隔的定位板，所述悬吊式晶圆盒定位装置包含承载单元、固置单元、驱动单元、连动单元及锁扣单元，其特征在于：所述承载单元包括固定在所述高架轨道上，并位于所述定位板底侧的主载板；所述固置单元包括沿左右方向排列固定在所述主载板底侧的第一固定座及第二固定座，所述第二固定座具有界定出朝向所述第一固定座开放的第一容纳空间的第一本体，及自所述第一本体沿左右方向朝远离所述第一固定座延伸的枢块；所述驱动单元包括固定于所述第一固定座的动力件，所述动力件具有位于所述第一容纳空间内并能沿左右方向线性移动的驱动杆；所述连动单元包括位于所述第二固定座的前侧、后侧，且被所述驱动杆驱动的连杆；所述锁扣单元包括与所述枢块枢接并被所述连杆连动的枢转座，及自所述枢转座朝向顶端弯折延伸，且相对所述定位板在一解锁位置与一锁扣位置之间移动的扣压块。2.根据权利要求1所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：所述连杆具有与所述驱动杆连接的被驱动段，及反向于所述被驱动段并邻近所述枢块的连动段。3.根据权利要求2所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：所述驱动单元还包括连接于所述驱动杆的万向接头，所述第二固定座还具有沿左右方向设置于所述第一本体并连通所述容纳空间的长条导孔，所述连动单元还包括沿前后方向穿置在所述连杆的被驱动段、所述长条导孔、所述万向接头之间的第一连接轴。4.根据权利要求3所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：所述枢转座具有能相对于所述枢块转动地套置在所述枢块外的第二本体，所述锁扣单元还包括沿前后方向穿置在所述第二本体与所述枢块之间的枢轴，所述连动单元还包括穿置在所述连杆的连动段与所述枢转座之间的第二连接轴。5.根据权利要求4所述的悬吊式晶圆盒定位装置，其特征在于：所述第二本体还具有贯穿该第二本体的穿孔及连通所述穿孔的螺孔，所述锁扣单元还包括锁...

【专利技术属性】
技术研发人员：周传华，卢德茂，
申请(专利权)人：圣凰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71